半導體車間如何實現無塵恒濕環境控制？

南京拓展科技有限公司2025-04-05

可以采用高精密的環境控制設備來對環境進行控制，達到精密溫控的效果。如蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內進行。潔凈室內的溫度波動可能會導致晶圓材料的物理性質發生變化，影響生產精度。例如，光刻工藝中，微小的溫度波動會導致曝光位置的漂移，進而影響線路的精確度。此外，晶圓在高溫環境下可能會因為熱膨脹而發生變形，影響成品率。因此，半導體潔凈室中通常溫度需要嚴格控制在20°C至25°C范圍內，且溫度波動不能超過±1°C（部分要求較高的工藝如光刻工藝，溫度波動不能超過±0.1°C）。所以我們可以采用極測（南京）高精密環境控制設備，該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環，控制系統對循環氣流的每個環節進行處理，從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度，可達到±0.002攝氏度。

本回答由 南京拓展科技有限公司 提供