石墨舟氮氣柜的功能是什么？

杭州宏譽智能科技有限公司2025-07-26

石墨舟氮氣柜專為保護石墨舟及敏感材料設計，主要應用于光伏電池片鍍膜、半導體晶圓加工等場景。其功能包括： 惰性氣體保護：通過持續注入高純度氮氣，將柜內氧氣濃度控制在0.1%以下，有效防止石墨舟與硅片在高溫工藝中發生氧化反應，延長設備使用壽命。 溫濕度調控：搭載智能恒溫系統，可將溫度穩定在±1℃范圍內，濕度控制在5%RH以下，確保材料存儲環境的一致性。 自動化存取管理：支持機械臂或軌道式傳輸系統，實現石墨舟的無人化存取，減少人工干預帶來的污染風險。

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