手套箱在半導(dǎo)體行業(yè)中有什么作用

米開羅那（上海）工業(yè)智能科技股份有限公司2024-11-19

在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，許多步驟對(duì)環(huán)境條件極為敏感，例如光刻、蝕刻和沉積等。手套箱提供了一個(gè)可控的、無(wú)水、無(wú)氧的環(huán)境，有助于防止材料氧化和水解，確保工藝的精確性和器件的性能。此外，手套箱還可以用于存儲(chǔ)敏感的半導(dǎo)體材料，保護(hù)它們免受環(huán)境因素的損害。在半導(dǎo)體行業(yè)中，手套箱的使用提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，是實(shí)現(xiàn)高精度制造的關(guān)鍵設(shè)備之一。

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