立式爐的爐腔清潔方式有哪些？是否支持在線清潔？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-03

支持離線清潔（拆卸吊籃后人工擦拭）和在線清潔（通水蒸氣 + 氣流吹掃），在線清潔周期可設(shè)定為每批次生產(chǎn)后自動(dòng)啟動(dòng)。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐采用鏡面不銹鋼內(nèi)壁，污漬附著力降低 50%，清潔效率提升 3 倍。

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