氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確；5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛(wèi)星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高，可精確定位。無損氦檢設備
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。自動氦檢儀原理氦質譜檢漏儀被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。
氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦質譜檢漏儀操作步驟：1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規(guī)開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦檢儀是根據(jù)質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦質譜檢漏儀的關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。國產氦氣檢測設備工作原理
氦檢儀能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。無損氦檢設備
氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個就是本底噪聲。實際上，目前通過對電子線路的改進，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經降到很低的一個程度，因此已經不是限制設備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2、氦氣在真空系統(tǒng)內的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應（被污染的情況下更為嚴重）；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。無損氦檢設備
上海妤林真空設備技術有限公司是一家從事氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀研發(fā)、生產、銷售及售后的生產型企業(yè)。公司坐落在上海市嘉定區(qū)徐行鎮(zhèn)新建一路2255號1幢104，成立于2020-06-11。公司通過創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念，以客戶滿意為重要標準。妤林目前推出了氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀等多款產品，已經和行業(yè)內多家企業(yè)建立合作伙伴關系，目前產品已經應用于多個領域。我們堅持技術創(chuàng)新，把握市場關鍵需求，以重心技術能力，助力儀器儀表發(fā)展。上海妤林真空設備技術有限公司每年將部分收入投入到氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀產品開發(fā)工作中，也為公司的技術創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動作用。公司在長期的生產運營中形成了一套完善的科技激勵政策，以激勵在技術研發(fā)、產品改進等。上海妤林真空設備技術有限公司以市場為導向，以創(chuàng)新為動力。不斷提升管理水平及氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀產品質量。本公司以良好的商品品質、誠信的經營理念期待您的到來！