氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。便攜式氦檢儀單位
氦質譜檢漏儀檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。氦檢機售后服務氦質譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。
氦質譜檢漏儀原理：氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統等先進方向發展。
氦質譜檢漏儀的保養注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質譜檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質譜檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦質譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。在結構組成上，大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統以及電氣系統3部分組成的；
氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。客制化氦氣檢測設備廠家推薦
氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。便攜式氦檢儀單位
氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發現有不同的叫法，這是根據不同的檢測方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。根據不同的檢漏目的，常用基礎的有3種檢漏方法。負壓法（噴氦法）。對被檢工件抽真空。可對被檢工件外可疑漏點噴氦，也可將工件罩起來對氦罩內噴氦。可根據工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵。可檢測工件的具體漏點和準確漏率。檢測精度高。適用行業：鍍膜行業，真空爐，真空配件，真空閥門，壓力容器，真空系統等。便攜式氦檢儀單位
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