選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果。舟山真空氦檢儀
氦檢儀應用領域：工業：真空爐、鍍膜系統、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源。科研領域：空間模擬系統、試驗裝置、微電子、表面分析系統。半導體及電子：工藝設備、氣路、氣路傳輸設備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發器、空調、管路。核工業：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。無損氦檢設備價錢氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用。
氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業用于電廠檢漏的氦檢儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦質譜檢漏儀操作步驟：1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器。
氦檢儀的型號較多，但基本結構大同小異。它主要由質譜室、真空系統及電氣部分組成。質譜室：不同類型的氦檢儀的質譜室結構大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質譜室外殼中。1）離子源。離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。2）分析器。分析器作用是使不同質荷比的離子按不同軌跡運動，從而將它們彼此分開，只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成，磁場方向與離子束入射方向垂直。3）收集極。收集極是對準出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器第1極輸入信號電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），第1級放大用的靜電計管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計管放在高真空的質譜室中。氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。無損氦檢設備費用
氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。舟山真空氦檢儀
氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應用類型：(例如：生產，維護等)-干式/傳統的油泵?性能：(進入檢漏模式所需要的時間，靈敏度，響應時間，恢復時間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進氣口壓力：(mbar)，進入檢測模式所需要的時間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應時間：(s)，恢復時間：(s)，初抽能力：將決定進入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進氣口壓力：〉將決定進入檢測模式所需要的時間。進入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。舟山真空氦檢儀
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