氦質譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?1.對氦質譜檢漏儀真空系統(tǒng)進行保養(yǎng)時,由于常見氦質譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成,因此在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空,當真空度達到規(guī)定壓力后,再進入真空系統(tǒng)部分;被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理,以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞。因此,對被檢件的前處理以及對設備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,此外質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養(yǎng)維護,避免因設備保養(yǎng)不及時導致設備使用壽命縮短。氦質譜檢漏儀的關鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。自動氦氣檢測機價錢
隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展,汽車空調行業(yè)對氦檢的需求越來越大,對氦檢的性能指標要求越來越高。氦檢儀在汽車空調蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點的同時,更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨有特點。對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產(chǎn)成本,所以電廠檢漏在實際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。臺式氦檢儀定制為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施。
氦質譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題?1、氦質譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低,一是由于所噴出的氦氣流是散開的,故摻有一定數(shù)量的空氣,使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向,此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序:從被檢件物體的上方至下方,由近處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補后再去找小漏孔。4、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時,應先把一個點蓋住,再對另一點進行噴氦。5、當噴在某一點時,如果,檢漏儀上的顯示有變化,其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。
氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。檢漏儀在使用過程中,往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進度,若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種,將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。氦檢儀的型號較多,但基本結構大同小異。
氦檢儀在真空度校驗中有什么應用?氦是一種惰性氣體,不會對設備產(chǎn)生腐蝕,不與真空器件起化學反應,無毒,也不會污染環(huán)境,因此使用起來也十分安全。對容器環(huán)境和質譜環(huán)境干擾較小,常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,分析儀就會發(fā)出響聲,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質譜檢測泄漏技術是真空檢測領域中不可缺少的一項技術,由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應靈敏、準確度高、不受其它氣體干擾等特點,在電阻爐檢測泄漏中被普遍應用。氦檢儀本底漏率值是什么?自動氦氣檢測機價錢
氦質譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。自動氦氣檢測機價錢
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因:1、半導體設備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質譜檢漏;3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。綜上所述,氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。自動氦氣檢測機價錢
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