氦質譜檢漏儀換燈絲步驟：當冷規指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1、停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲：關冷規，關抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應有變化，“發射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內有短路，應取下排除。將閥開關由“前置”轉向“粗抽”(注意：閥開關在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節流閥，等真空抽上后，關閉節流閥，將“粗抽”轉向“前置”，開抽速閥，開冷規，等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲，調氦峰。氦檢儀本底漏率值是什么？模塊式氦氣檢測儀
氦質譜檢漏儀的選擇要進行多家的貨物進行對比，將不同品牌的樣品放一起對比，這樣氦質譜檢漏儀儀質量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質量，建議用戶盡可能監督安裝的全過程，同時并索要樣品驗貨，在安裝完后，可以要求商家在再測試一遍。保持氦質譜檢漏儀的干燥，嚴禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴禁在高溫的環境中使用氦質譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會長久性的損壞傳感器。請參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質譜檢漏儀的應用范圍領域也不相同，例如工業用的氦質譜檢漏儀，需符合國家各項安全標準，使用起來也更復雜。國產氦氣檢測機哪家好氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。
氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數據精確；5.自動生成數據保存，可追溯數據來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。
氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質譜檢漏儀主要技術指標：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動時間：≤5min；4.響應時間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環境：5-35℃；8.相對濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環境：環境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz工作電流：10A。氦檢儀不只靈敏度高，而且操作方便；
氦檢儀在無源器件中的檢漏應用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分，也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點，替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據漏率大小設定。2.取出無源器件，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐，測試罐連接氦檢儀。4.啟動氦檢儀，開始檢漏。氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。模塊式氦氣檢測儀
氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。模塊式氦氣檢測儀
氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。模塊式氦氣檢測儀
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