氦質譜檢漏儀真空壓力法原理：采用真空壓力法檢漏時，需要將被檢產品整體放入真空密封室內，真空密封室與輔助抽空系統和檢漏儀相連，被檢產品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入真空密封室，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率的測量。真空壓力法的優點是檢測靈敏度高，能實現任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態。真空壓力法的檢測標準有GB/T15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應答機、整星產品等。氦質譜檢漏儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。蘇州推車式氦質譜檢漏儀技術指導
氦質譜檢漏儀的選擇：首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，選擇氦質譜檢漏儀時。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動方便。由于本機真空系統很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時就不得不靠較大輔助真空系統抽氣，由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時，一般選逆擴散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級與機械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時間要長。如果在流水線上測振儀可選用特定檢漏儀或作簡單工裝使用。若平時被檢件什么樣的都可能有，可以選用基本型氦質譜檢漏儀，以降低成本。溫州智能氦質譜檢漏儀特點氦質譜檢漏儀適用于元件精確檢漏的要求。
氦質譜檢漏儀在壓力容器中噴氦法檢漏應該注意以下幾個問題：1、實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于噴口所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴口噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由檢漏儀處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經修補后再去找小漏孔。4、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時，應先把一個點蓋住，在對另一點用較細的噴口進行噴氦。5、當噴口噴在某一點時，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩定表示鄰近其它地方有很大漏孔。6、檢出漏孔后，還應再做幾次復檢。7、檢漏場地要有良好的通風條件，但也不能太大，不應影響噴口噴出的氦氣氣流的方向。
氦質譜檢漏儀背壓法檢漏壓氦和清氦的說明：1.將工件放入壓氦罐內，確認罐內清潔干凈。2.待工件放置好后，將壓氦罐的蓋放置到壓氦罐上，用螺釘固定牢靠。3.再將壓氦罐球閥接口與氦氣瓶連接。4.確認連接OK后，先將壓氦罐的球閥打開，再開啟氦氣瓶的減壓閥，控制檢驗閥的出氣壓力，待壓氦罐上的壓力表指示到規定的壓力后，關閉壓氦罐的球閥，再關閉氦氣瓶的閥和減壓閥。5.斷開氣瓶與壓氦罐的管路，（注意：管路內還有壓力）將壓氦罐放置到安全區域保壓規定時間。6.保壓時間到后，將壓氦罐內地氦氣放至外界大氣中或使用氦氣袋回收。7.將固定壓氦罐蓋的螺釘拆卸下來，再將罐蓋打開。8.取出工件，使用空氣或氮氣將工件表面殘留的氦氣清理。9.放置好工件待用。氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置。
氦質譜檢漏儀的注意事項：1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上，由近而遠的順序進行。4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進人質譜檢漏儀，應立即移去吸口，防止因儀器長時間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質譜檢漏儀的特點：1.操作方便：體積小，重量輕，結構緊湊，操作面板簡單；2.性能高：采用了進口檢漏儀儀分了泵與高性能的質譜系統，靈敏度度高，響應時間快，檢測壓強高；3.功能強大：多種模自動切換，豐富的菜單選項，具有權限管理功能。氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。湖州國產氦質譜檢漏儀
具有性能穩定、靈敏度高等特點。蘇州推車式氦質譜檢漏儀技術指導
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