氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦質譜檢漏儀的電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同。推車式氦檢設備廠家推薦
氦質譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更好的監控，特別是在一些真空設備的質量檢驗之中，應用氦質譜檢漏儀已經成為了一種常見的事項。氦質譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設備的檢測準度，所以選擇合適的氦質譜檢漏儀很重要。氦質譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點不固定，需要經常搬運氦質譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮氦質譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。推車式氦檢設備廠家推薦噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優于200Pa時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。
氦質譜檢漏儀的的故障和處理：1、內部的泄漏，當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。2、本底信號不穩定，1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，氦質譜檢漏儀應有可靠的接地。氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理要求是什么？
氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。推車式氦檢設備廠家推薦
檢漏過程中，如發現大量氦氣進人氦質譜檢漏儀，應立即移去吸口。推車式氦檢設備廠家推薦
氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經降得很低，因此氦質譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產生主要是由于本底峰的不穩定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數不穩定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規，特別是磁放電真空規對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統中抽速不穩定和氦的反擴散。四、氦質譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規等。推車式氦檢設備廠家推薦
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