氦質譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應時間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設備受到損傷和污染;5、穩定性好,即可以在足夠長時間內靈敏度穩定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設備的數量和費用;8、檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。進口氦檢機廠家
氦質譜檢漏儀操作步驟:1、將總電源轉到“前級泵”,低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關,表頭示值也應能抽到原來位置,再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”,燈亮,擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴散泵排氣管應熱,開冷規開關,“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規,表頭指針應從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規,可等一會兒再開),當真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發射電流”有指示,開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達要求后關漏孔。紹興妤林氦氣檢測機大概多少錢所謂“動態檢漏”是指氦質譜檢漏儀本身的抽氣系統仍在正常抽氣。
氦質譜檢漏儀的日常維護:1.定期檢查機械泵的油位,如不足足應及時添加;如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道,這意味著油已經惡化了。此時,應釋放泵中的油,必要時,先用新油沖洗,然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴,可以從氦質譜泄漏檢測器中取出,然后清洗,然后用熱風吹干或自然晾干。使用氦質譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種,即噴氦法(負壓法),正壓法,氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言,噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時,也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。
影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么?穩定時間對檢測的影響,在充氣的時候,壓縮空氣會因為受壓狀態而進入一個密閉容器后,引起一系列的熱力學-動力學變化。即當一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后,其壓力會發生降低,若此時進行測量,則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化,影響測量結果的準確性。這種“沖氣效應”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當充氣壓力或測試容積增加時,這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩定時間來消除這種影響。氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?
選擇氦質譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據,由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現。為找到一個單個漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據具體被檢對象,所用方法簡便易行,經濟實用。為保證測試漏率真實有效:(1)標準漏孔每年送有專業資質計量單位計量;(2)使用兩年以上建議更換標準漏孔。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。無錫妤林氦氣檢測儀
氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。進口氦檢機廠家
氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面:(1)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。進口氦檢機廠家
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