革新潔凈環境控制：克力新一代超高精密潔凈室機組五大核he心技術

來源：發布時間：2025-07-23

革新潔凈環境控制：解析克力新一代超高精密潔凈室機組五大核he心技術

在半導體制造、生物醫藥、精密光學等高gao端產業中，潔凈室環境控制的精度直接決定產品質量與生產效率。傳統潔凈室系統常面臨能耗高、施工復雜、靈活性差等痛點，而克力新一代模塊化超高精密潔凈室機組，通過五大技術創新+三大自研技術，為行業提供了更穩定、更高效、更節能的解決方案。

一、行業規模持續擴大，驅動千億級潔凈室需求釋放

根據智研咨詢數據，2023年潔凈室工程市場規模已達2303.76億元，同比增長7.1%，預計2025年市場規模將突破千億級別，成為全球*大市場。2022年中國潔凈室市場規模已達2407.3億元，預計2026年將突破3500億元。2025年，中國潔凈行業在政策支持與市場需求的雙重驅動下保持高速增長。

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政策層面，國家“十四五”規劃明確將集成電路、生物醫藥列為戰略性產業，進一步引導企業突破核he心技術。

市場層面，作為高科技產業的核he心基礎設施，高精密潔凈室通過構建精密受控的生產環境，為高gao端制造產業提供關鍵保障。其核he心價值在于建立恒定的環境參數體系，有效屏蔽外界污染干擾，確保半導體、生物醫藥、精密電子等高gao端產品在制程中實現微米級精度控制與納米級結構完整性，從根本上保障產品良率、工藝穩定性和批次一致性。

以5納米制程芯片為例，濕度每增加10%，表面漏電流可能增加3%-5%。長期作用還會加速金屬互連層的電化學腐蝕，鋁導線在潮濕環境下腐蝕速率可達干燥環境的20倍以上。

盡管市場前景廣闊，但傳統潔凈室系統面臨兩大挑戰：

1、能耗過高：潔凈室能耗占半導體工廠總電耗的35%-50%，在“雙碳”背景下，企業亟需節能30%以上的革新性技術。

2、潔凈室標準與市場復雜：傳統中央空調廠商的節能性與控制精度不足；海外高gao端品牌在納米級潔凈室領域具有技術優勢，但價格高昂（同類產品溢價40%-60%）。

綜上，克力作為特種工藝空調制造商，自主研發超高精密潔凈室，通過“超低露點+無級熱回收”技術組合，在濕度控制與能耗指標上超越海外競品，同時以國產化價格實現進口設備80%的性能，填補中高gao端市場空白。

二、核he心技術解析，以精jin準與能效重構潔凈室標準

1. 冷凝熱無級熱回收技術：節能30%+的能源革ge命

傳統潔凈室空調系統在制冷過程中產生的冷凝熱通常被直接排放，造成能源浪費?？肆Τ呔軡崈羰彝ㄟ^無級回收冷凝熱實現制冷、再熱、能效優化的閉環運行，替代高耗能電再熱模塊，綜合節能30%+，適配制藥、醫療、實驗室、精密制造等溫濕度敏感場景。

無級調節：基于動態負荷需求，通過變頻控制實現熱量回收比例的無級調節，避免傳統分段式回收的效率波動。

節能實測：在半導體生產線實測中，綜合節能效率達32%，年運行成本降低超25%。

2、深度除濕低露點系統：-70℃露lu點的濕度控制

潔凈室對濕度敏感，尤其需要避免微電子元件氧化或生物樣本失活。機組通過多級直膨耦合冷凝熱回收解決超低露點與高能耗的矛盾，以動態算法+物聯預診斷實現工業級可靠性，在鋰電、半導體、生物制藥等場景中替代轉輪除濕機，降低50%運維成本。結合智能控制系統與先進傳感技術，通過AI算法、物聯網（IoT）及大數據分析實現以下功能：

低露點：直接蒸發系統**低露點可達-15℃，完成替代轉輪除濕；當系統露lu點低于-15℃時，可采用冷凝熱無級熱回收系統+轉輪除濕系統，**降低轉輪除濕系統能耗。

3、一體化節能解決方案：全直流變頻系統協同增效

整合全直流變頻壓縮機+EC風機，負荷匹配精度達±2%，實現10%-100%無級調節，真正實現需要多少，投入多少，精jin準匹配實際使用需求。

4、雙冷源系統：保障系統連續運行

常規方案中，冷源采用低溫冷凍水進行除濕降溫，再使用熱水或者高品位熱源再熱，能耗高。

克力雙冷源方案，冷源采用高溫冷凍水+直膨系統，空氣先經過冷水盤管進行預處理，再經過直膨盤管進行深度除濕，無需擔心水溫波動影響整體除濕效果。因為主機水溫每提高1℃，系統能效提高3~5%；15℃供水比原系統節能24%~40%

5、溫濕動態平衡系統，再攀節能新高度

冷源采用中溫冷凍水進行預降溫，再使用直膨機降溫除濕達到系統需求露lu點，再使用壓縮機冷凝熱進行系統再熱需求+二次回風+熱管技術，比原系統節能50%~75%。同時，在人員進出、設備啟停等擾動下，控制精度仍達±0.01℃/±1%RH。

三、克力超高精密傳感器、控制器、執行器，三大自研技術實現突破

在超高精密潔凈室環境控制領域，傳感器、控制器與執行器是決定系統性能的“鐵三角”。傳統方案多依賴進口部件，存在精度不足、響應遲滯、兼容性差等問題。而新一代超高精密潔凈室機組通過全棧自研三大核he心組件協同效應達成1+1+1＞3的技術跨越，實現了從感知、決策到執行的全鏈路閉環控制，將溫濕度穩定性與能效比推向行業新高度。

不僅打破了海外企業對高gao端潔凈室核he心部件的壟斷，更以“高精度+快響應”的技術標簽，推動中國精密制造向產業鏈頂端攀升。