湖北微納加工中心

     微納加工可以滿足高精度三維結構制備、多材料微納結構加工以及器件成型與集成的加工需求，因此，在各類微納結構化功能部件的研制中展現出了很大的技術優勢。目前，飛秒激光已經廣泛應用于多個前沿科學領域。利用飛秒激光可以制備各種微光學器件，如微透鏡陣列、仿生復眼、光波導和超表面等。吉林大學研究團隊利用雙光子聚合技術制備了一種基于仿生蛋白質的微透鏡，該透鏡在外界刺激下可動態調節焦距，同時具有獨特的伸縮性、良好的生物相容性和生物可降解性；進一步該團隊利用激光加工技術制備了可變焦的仿生復眼，實現了大視場變焦成像的功能，如圖1所示。利用其高精度、高分辨率和三維加工能力，飛秒激光加工技術成為制備三維微流控芯片的強大工具。應用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的，如硅晶圓、玻璃晶圓、塑料、還其他的材料。湖北微納加工中心

      光刻是微納加工技術中關鍵的工藝步驟，光刻的工藝水平決定產品的制程水平和性能水平。光刻的原理是在基底表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠，再用光線（一般是紫外光、深紫外光、極紫外光）透過光刻板照射在基底表面，被光線照射到的光刻膠會發生反應。此后用顯影液洗去被照射/未被照射的光刻膠， 就實現了圖形從光刻板到基底的轉移。光刻膠分為正性光刻和負性光刻兩種基本工藝，區別在于兩者使用的光刻膠的類型不同。負性光刻使用的光刻膠在曝光后會因為交聯而變得不可溶解，并會固化，不會被溶劑洗掉，從而該部分硅片不會在后續流程中被腐蝕掉，負性光刻光刻膠上的圖形與掩模版上圖形相反。臨沂電子微納加工新一代微納制造系統應滿足的要求：能生產多種多樣高度復雜的微納產品。

21世紀，人們仍會不斷追求條件更好且可負擔的醫療保健服務、更高的生活品質和質量更好的日用消費品，并盡力應對由能源成本上漲和資源枯竭所帶來的風險等“巨大挑戰”。它們也是采用創新體系的商品擴大市場的推動力。微納制造技術過去和現在一直都被認為在解決上述挑戰方面大有用武之地。環境——采用更少的能源與原材料。從短期來看，微納制造技術不會對環境和能源成本產生重大的影響。受到當前加工技術的限制，這些技術在早期的發展階段往往會有較高的能源成本。與此同時，微納制造一旦成熟，將會消耗更少的能源與資源，就此而言，微納制造無疑是一項令人振奮的技術。例如，與去除邊角料獲得較終產品不同的是，微納制造采用的積層法將會使得廢料更少。隨著創新型納米制造技術的發展，現在對化石燃料的依存度已經開始下降了，二氧化碳的排放也隨之降低，大氣中氮氧化物和硫氧化物的濃度也減少了。

“納米制造”路線圖強調了未來納米表面制造的發展。問卷調查探尋了納米表面制備所面臨的機遇。調查中提出的問題旨在獲取納米表面特征的相關信息：這種納米表面結構可以是形貌化、薄膜化的改良表面區域，也可以是具有相位調制或一定晶粒尺寸的涂層。這類結構構建于眾多固體材料表面，如金屬、陶瓷、玻璃、半導體和聚合物等。總結了調查結果與發現，并闡明了未來納米表面制造的前景。納米表面可產生自材料的消解、沉積、改性或形成過程。這導致制備出的納米表面帶有納米尺度所特有的新的化學、物理和生物特性（比如催化作用、磁性質、電性質、光學性質或抗細菌性）。在納米科學許多已有的和新興的子領域中，表面工程已經實現了從基礎科學向現實應用的轉變，比如材料科學、光學、微電子學、動力工程學、傳感系統和生物工程學等。微納加工包括光刻、磁控濺射、電子束蒸鍍、濕法腐蝕、干法腐蝕、表面形貌測量等。

      在微納加工過程中，薄膜的形成方法主要為物理沉積、化學沉積和混合方法沉積。蒸發沉積（熱蒸發、電子束蒸發）和濺射沉積是典型的物理方法，主要用于沉積金屬單質薄膜、合金薄膜、化合物等。熱蒸發是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度，使其蒸發至基底表面形成薄膜，而電子束蒸發為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空，在電場的作用下，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發生濺射并沉積于基底；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高、致密性好，熱蒸發主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜；化學氣相沉積（CVD）是典型的化學方法而等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）是物理與化學相結合的混合方法，CVD和PECVD主要用于生長氮化硅、氧化硅等介質膜。微納加工平臺，主要是兩個方面：微納加工、微納檢測。湖北微納加工中心

干法刻蝕能夠滿足亞微米/納米線寬制程技術的要求，且在微納加工技術中被大量使用。湖北微納加工中心

          美國在微納加工技術的發展中發揮著主導作用。由于電子技術、計算機技術、航空航天技術和激光技術的需要，美國于1962年開發了金剛石刀具超精細切割機床，解決了激光核聚變反射鏡、天體望遠鏡等光學部件和計算機磁盤加工，奠定了微加工技術的基礎，隨后西歐和日本微加工技術發展迅速。微納加工技術是一種新興的綜合加工技術。它整合了現代機械、光學、電子、計算機、測量和材料等先進技術成果，使加工精度從20世紀60年代初的微米水平提高到目前的10m水平，在幾十年內提高了1～2個數量級，很大程度提高了產品的性能和可靠性。目前，微納加工技術已成為國家科技發展水平的重要標志。隨著各種新型功能陶瓷材料的成功開發和以這些材料為關鍵部件的各種裝置的高性能，功能陶瓷元件的加工精度達到納米級甚至更高，有效地促進了微納加工技術的進步。近年來，納米技術的出現挑戰了微納加工的極限加工精度一一原子級加工。湖北微納加工中心

廣東省科學院半導體研究所正式組建于2016-04-07，將通過提供以微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等服務于于一體的組合服務。是具有一定實力的電子元器件企業之一，主要提供微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等領域內的產品或服務。同時，企業針對用戶，在微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等幾大領域，提供更多、更豐富的電子元器件產品，進一步為全國更多單位和企業提供更具針對性的電子元器件服務。廣東省半導體所始終保持在電子元器件領域優先的前提下，不斷優化業務結構。在微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等領域承攬了一大批高精尖項目，積極為更多電子元器件企業提供服務。