真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。 真空泵的特點： (1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速； (2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可較大降低驅動功率，從而可實現(xiàn)較高轉速； (3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染； (4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感； (5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差； (6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。真空泵的主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。浙江防爆旋片式真空泵生產廠家
真空泵的機械安裝： ⑴真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。 ⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩(wěn)，振動小。 ⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清理管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。） ⑷在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。北京電子真空泵氣體捕集泵是真空泵的一種。
真空泵的好壞決定于其機械結構和油的質量，使用真空泵時必須把它保護好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。 因此使用真空泵時必須注意下列幾點： 在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。 蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中有機溶劑的蒸氣。 如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質中含有揮發(fā)性物質，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。 減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
擴散泵是動量傳輸泵的一種，以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為： ① 自凈化擴散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質經(jīng)專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵 ② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。 （4） 擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。 （5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。變容真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。
分子真空泵的應用情況： 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。要正確地選擇真空泵的工作點，每種泵都有一定的工作壓強范圍。上海電子真空泵代理商
真空泵結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。浙江防爆旋片式真空泵生產廠家
真空泵的選型： 真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。 真空泵的影響因素： 它是決議產品的大小,抽氣量請求愈高,產品體積相對愈大,所需配用的電機功率亦會愈高。 它是決議產品采用何種構造,真空度是有表壓及壓力這兩種讀數(shù)。壓力表示讀數(shù)是值，即讀數(shù)愈靠近‘0\'，真空度愈高。但反觀表壓，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所請求的壓力（極限真空）是靠近‘0\'，那么只要真空泵才能夠滿足這個需求。浙江防爆旋片式真空泵生產廠家
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