動量傳輸泵可分為下述幾種類型: 1.擴散噴射泵:它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。 2.離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下,輸送到出口的一種動量傳輸泵。 真空泵的機械選擇: 1.真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 2.真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,較好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。 3.真空泵的價格、運轉及維修費用。真空泵轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。山東螺桿式真空泵維修
真空泵是一個量大面廣的產品,產量很大,產值不高,但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。在我國,真空泵是一個量大面廣的產品,但是雖然它的產量很大,但是產值卻不高。雖然真空泵是一個直接影響到真空成套設備性能質量必不可少的基礎產品,不過在真空泵產品的高級領域.,國產品牌真空泵并不多,大量的市場份額被進口企業所把持。真空泵的市場發展速度可以用日新月異來形容,幾乎每時每刻都在根據用戶需求的變動而動態變化著。真空泵市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展、真空泵技術不斷革新以及真空泵應用領域的日益擴大。上海環保型真空泵購買真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
粗真空系低溫真空泵是獲得粗真空的主要真空設備之一。普遍應用于化工、食品、建材等部門,特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。 無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品,是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置,實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離;加上活塞環使用了自潤滑材料,便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放,所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。
根據使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類: (1)一般水泵,壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。 (2)油泵,壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。 (3)擴散泵,壓強可達0.133Pa以下,(10-3mmHg)為"高"真空。 若要較低的壓力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。 在有機化學實驗室里常用的減壓泵有水泵和真空泵兩種,若不要求很低的壓力時,可用水泵,如果水泵的構造好且水壓又高,抽空效率可達1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵所能抽到的較低壓力理論上相當于當時水溫下的水蒸氣壓力。例如,水溫25℃、20℃、10℃時,水蒸氣的壓力分別為3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽氣時,應在水泵前裝上安全瓶,以防水壓下降,水流倒吸;停止抽氣前,應先放氣,然后關水泵。真空泵結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。
分子真空泵的應用情況: 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。焊接管路時應清理管道中焊渣,嚴禁焊渣進入真空泵腔。防爆旋片式真空泵使用方法
打開真空泵油箱上面的加油螺塞,將配好的真空泵油倒進泵內。山東螺桿式真空泵維修
目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響,一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求,因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產品已經出現更新換代的局面,大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點,但其制造技術為國外掌握,我國尚處于起步階段,市場對于干式真空泵有迫切的需求。 目前干式螺桿真空泵國內的研究還處在起始階段,很多技術難題還沒有解決。比如轉子涂層防腐蝕技術、降低排氣口溫度、增大轉子面積利用率等問題仍然很棘手,當抽取一些活潑氣體時,由于排氣溫度高,安全性也是需要設計中考慮的,用在需要控制音量的場合,如何降噪也要成為研究方向。但其優越的性能決定了它一定會在真空獲得設備行業占主導地位,就像現在螺桿壓縮機在行內的統治地位一樣。山東螺桿式真空泵維修
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