氣體捕集泵是真空泵的一種。 氣體捕集泵:這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵 吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。 吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。 (1)蒸發離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華(或蒸發)而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現抽氣的一種真空泵。 (2)濺射離子泵:泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上,以實現抽氣目的的一種真空泵。只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。福建單滑閥式真空泵
真空泵的機械安裝: ⑴真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養。 ⑵真空泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運轉平穩,振動小。 ⑶真空泵與系統的連接管道應密封可靠,對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應清理管道中焊渣,嚴禁焊渣進入真空泵腔。) ⑷在連接管路中,用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查真空泵的極限壓力。上海雙循環水真空泵廠家在有機化學實驗室里常用的減壓泵有水泵和真空泵兩種。
真空泵的噪音來源: 真空泵的噪音主要為運行時帶來的機械噪音,真空泵排氣是帶來的空氣性噪音,以及真空泵引起的管道振動。 解決方案: 隔音罩 對真空泵帶來的噪音主要還是以隔音防振為主。對真空泵機組安裝隔聲罩,隔聲罩大小是根據真空泵的尺寸大小設計,并且在真空泵隔聲罩上安裝消聲器。 減振器 針對真空泵噪聲結合現場實際情況,如果真空泵存在機房就應該對機房進行隔音處理,安裝隔音材料,在地面使用減震墊,在真空泵下安裝減震器。對真空泵和管道連接可以使用彈性支撐架,并且使用減振材料包扎整個管道用于降低整個設備帶來的振動影響。 隔音屏障 對真空泵機四周設置雙層吸隔聲屏障,并在隔音屏障上安裝隔音材料。 真空泵的噪聲是可以通過吸音隔音材、減振等材料進行綜合降噪,可以有效的降低噪音對周圍環境的影響。
粗真空系低溫真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。普遍用于食品、紡織、醫藥、化工等行業的真空蒸發、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單,使用方便、工作可靠、維護方便的特點。 主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被普遍應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業中。從大氣到極高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空泵能覆蓋這個范圍。
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。 立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。 臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。 泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。上海工業真空泵供應商
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分子真空泵的應用情況: 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。福建單滑閥式真空泵
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