真空泵的好壞決定于其機械結構和油的質量，使用真空泵時必須把它保護好。如果蒸餾揮發性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。 因此使用真空泵時必須注意下列幾點： 在蒸餾系統和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。 蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統中有機溶劑的蒸氣。 如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質中含有揮發性物質，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。 減壓系統必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。真空泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件。江西雙滑閥式真空泵維修
真空泵的機械選擇： 1.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。 2.真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 3.正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。北京電子真空泵廠商粗真空系低溫真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。
分子真空泵的應用情況： 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
真空泵相關的術語解釋： 1.流量 單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。 2.流導 表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U=Q/(P2- P1) 3.壓力或壓強 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。 4.標準大氣壓 壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。 5.極限真空 真空容器經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，較后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。有時選用一種真空泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。
真空泵的選型： 真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。 真空泵的影響因素： 它是決議產品的大小,抽氣量請求愈高,產品體積相對愈大,所需配用的電機功率亦會愈高。 它是決議產品采用何種構造,真空度是有表壓及壓力這兩種讀數。壓力表示讀數是值，即讀數愈靠近‘0\'，真空度愈高。但反觀表壓，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所請求的壓力（極限真空）是靠近‘0\'，那么只要真空泵才能夠滿足這個需求。真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。環保型真空泵維修
焊接管路時應清理管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。江西雙滑閥式真空泵維修
低溫泵是利用低溫表面捕集氣體的真空泵。按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。 真空泵的機械安裝： 1.按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。 2.真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向） 3.對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。 4.如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。 5.當真空泵排出氣體影響工作環境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。江西雙滑閥式真空泵維修
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