真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。 真空泵的特點： (1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速； (2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可較大降低驅動功率，從而可實現較高轉速； (3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染； (4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感； (5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差； (6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。要正確地選擇真空泵的工作點，每種泵都有一定的工作壓強范圍。杭州隔膜真空泵哪家好
真空泵的機械選擇： 1.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。 2.真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 3.正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。江西負壓羅茨真空泵購買打開真空泵油箱上面的加油螺塞，將配好的真空泵油倒進泵內。
分子真空泵的應用情況： 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
真空泵的測量方式： 1.熱偶真空計 利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。 2.電離真空計 由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。 3.復合真空計 由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。 4.冷陰極電離計 陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內形成潘寧放電產生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。 5.電阻真空計 利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。真空泵立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。
干式真空泵機組：由干式螺桿泵+羅茨泵+電控箱組成。 干式真空泵機組，應用普遍,高效.節能.環保,性能穩定，,極限真空，機組具備運轉平穩，噪音低、振動小、結構緊湊、占地面積小等優點。更適應化工制藥半導體等惡劣工況!維護方便,可替代多種傳統真空泵 優點：沒有污水和廢油排出。旋片真空機組：是以旋片真空泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優點。因為該機組的結構緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機械真空泵,因此旋片泵機組普遍地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業中抽除密閉容器中含氧不高的、無炸裂性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。真空泵在較寬的壓力范圍內有較大的抽速。江西負壓羅茨真空泵購買
由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油。杭州隔膜真空泵哪家好
真空泵使用方法和注意事項： 1.三相電機要注意電機旋轉方向應與泵支架上的箭頭方向一致。或在連接管道之前，先接線試車然后用手堵住進氣口，看是否有吸力，若是有吸力，則接線正確，不然調換任意的兩根接線即可以改變其轉向（注：對三相電機確定轉向時，必須在瞬間進行）； 2.檢查所有閥門開關是否處于關閉狀態，確認關閉后通電試車； 3.通電起動真空泵后，從真空泵較近的閥門開關開始，依次打開閥門開關； 4.真空泵的工作環境溫度：-50C—400C范圍內，相對濕度小于85%，進氣口壓力小于一個大氣壓力條件下工作。如果環境溫度過低于真空泵則難以起動、過高會影響真空度；如果相對濕度較高，可以考慮在進入真空泵之前使用干燥過濾器，以防止大量的水分進入真空泵，從而造成影響真空度； 5.真空泵抽氣口連續敞通大氣運轉，不得超過2分鐘（油泵潤滑除外）； 6.真空泵必須安裝在通風并且使泵體保持一定的水平，確保真空泵運轉平穩、振動小的位置； 7.在真空泵的排氣咀上，較好用皮管接到室外，以免油蒸汽污染環境，同時也可降低。杭州隔膜真空泵哪家好
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