FFU風機過濾單元在電子無塵凈化車間潔凈室的應用
隨著科學技術的日新月異,促使潔凈技術的發展也隨之突飛猛進。現代化工業生產和現代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。電子計算機就是微型化產品中代表性的產品之一,電子管到半導體分離器件到集成電路再到超大規模集成電路。特別是20世紀80年代大規模集成電路和超大集成電路的迅速發展,更是促進潔凈技術的發展。
一、概念及原理FanFilterUnit風機過濾單元機組簡稱FFU,是由高效過濾器(HEPA)、風機、殼體組合而成的凈化空調末端,其用于亂流及層流潔凈室內。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用,根據吊頂骨架的不同選擇與之對應的FFU。FFU可以實現潔凈度要求在ISO3∽ISO9(即1級∽100萬級)之間的潔凈室。
常見的潔凈室空氣處理方式有兩種,分別是MAU+AHU+HEPA(以下簡稱AHU系統)和MAU+FFU+DC干盤管(以下簡稱FFU系統)。通過對兩種方式的比較得出:FFU在凈化空調系統中充當了凈化循環機組,潔凈室的循環風量等于潔凈室內FFU的風量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進潔凈室內,并通過回風夾道將循環空氣再送回到天花夾層;循環空氣在通過回風夾道時與安裝在夾道中的DC干盤管進行熱量交換。 FFU風機凈化單元品牌-咨詢統鉅凈化設備成立近十五年,技術18年經驗,信用AAA級企業,通過ISO9001認證。半導體設備FFU哪家質量好
FFU系統控制在無塵室、潔凈室、凈化工程中的設計方式
無塵室、潔凈室、凈化工程由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成,由提供循環空氣的動力,將新風、循環風混合后通過高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負壓。FFU集成電路設計優點:潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等多數潔凈室要求環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統可以很好滿足這些要求。潔凈室按照回風特點分為三個系統:
1.FFU循環系統;
2.循環空調機配合高效送風口系統;
3.循環風機配合濕式密封系統和。
FFU集成電路系統的三種類型
1.適合半導體制造業。FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整,這些都能很好地滿足半導體制造的需求。
2.適合小規模潔凈室的FFU循環系統在小規模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用,對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
3.全能型FFU循環系統這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔凈室風速、風量調節困難,系統升級改造困難,因此操作靈活性很低。 304不銹鋼FFUFFU哪家好-咨詢上海統鉅凈化設備成立近十五年,技術18年經驗,信用AAA級企業,通過ISO9001認證。
FFU空氣凈化器濾網多久更換一次
FFU空氣凈化器濾網包括初效濾網-防塵罩,高效濾網-HEPA濾網,活性炭濾網,防塵罩不用更換,活性炭一般也不要更換,主要是高效濾網-HEPA濾網,高效濾網-HEPA濾網是FFU空氣凈化器里****的,簡單的說,HEPA就是一種高密度濾網。它屬于被動式空氣凈化器的一種,主要是通過風機、濾網,將空氣中大于2.5微米的顆粒物質、粉塵、細菌、病毒進行有效的攔截,HEPA濾網的優點在于過濾效果比較明顯,但是使用材質的損耗很大,需要及時的進行更換,如果沒有及時的更換,反倒會讓攔截在濾網上的細菌和病毒滋生,形成二次的污染。那么HEPA使用多久更換合適呢,有沒有大概的估計值呢?
關鍵根據使用頻率來的,FFU空氣凈化器家用,***正常開機按10小時計算,建議高效網可以2-3年更換一次,顆粒活性炭網一年更換一次,初效網清理清潔后重復使用,**是每1個月更換一次初效,這樣可以更好的保護后端的活性炭和高效過濾器,延長他們的使用壽命(重復使用但不建議重復使用超過2-3次后就要更換新的,因為每清潔一次,其纖維就會受損一次,密度梯度會改變,過濾會受影響)。像活性炭網可以一個月左右的時間放在太陽下面暴曬3-5小時,吸附甲醛、TVOC等效果會更好。
負壓稱量罩結構說明:負壓稱量室由機箱、送風高效過濾器、排氣高效過濾器、可變風量風機組、PLC控制系統和傳感系統等幾大部件組成。機箱采用拉絲無指紋不銹鋼SUS304制作,鈑金一體折彎制作而成,美觀潔凈,易于清潔消毒。負壓稱量罩采用了可調風量的風機系統和不銹鋼風速傳感器,通過調節風機的工作工況,可使潔凈工作區中的平均風速保持在設定0.45m/s的范圍內。負壓稱量罩氣流流形為垂直上送側回。空氣自上而下的流動經工作區,將工作中產生的飛揚粉塵壓迫至側下方的初效、中效和袋進袋出裝置中,空氣由風機抽至高效過濾器靜壓箱內,一部分通過高效過濾器送回室內工作區,另一部分通過排氣過濾器排至工作區外,內形成負壓。負壓稱量罩配有四個壓差傳感器:室內外負壓、袋進袋出阻力、送風高效阻力、排氣高效阻力,配有風速傳感器,采用西門子PLC控制器在線動態控制稱量室工作狀態,偏離設定工作狀態自動校正,校正仍然有偏離報警功能。DOP層流罩廠家-咨詢統鉅凈化設備成立近十五年,技術18年經驗,信用AAA級企業,通過ISO9001認證。
負壓稱量罩性能確認之風速及均勻度:
負壓稱量罩的保護作用是靠一定風速的良好氣流形成的,只有均勻的送、回風采能形成良好的氣流,且只有一定的風速才能達到遏制塵埃擴散的效果。A,送風使用經校準的風速儀在出風面正下方5-15cm處測量分別在每個均流膜面板取點測試。每個膜面取5點,并計算平均值及風量。判斷標準:送風風速0.36-0.54m/s,每個膜面的平均速度同樣在總平均速度10%誤差以內。另,任一點都沒有偏離其所屬膜面均值的12%。B,回風使用經過校準的風速儀在離回風格柵3-5cm處測量回風速度。每個回風格柵取5點,并計算平均值。判斷標準:每部分的平均速度在總平均值10%誤差范圍以內,并且任一個數據都沒有超過其所在格柵風速均值的12%。 風機過濾單元廠家-咨詢統鉅凈化設備成立近十五年,技術18年經驗,信用AAA級企業,通過ISO9001認證。304不銹鋼FFU
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潔凈棚里的FFU多久更換一次高效過濾器?
潔凈棚里面配置FFU使用的高效過濾器其實就裝在頂部的出風位置,也就是FFU自帶的高效過濾器,那么多久就要更換一次呢?對于潔凈棚里的FFU多久更換一次高效過濾器這個問題,大部分人也沒有一個統一的答案,大部分業內人士都是認為,潔凈棚里的FFU高效過濾器使用壽命和一般的潔凈室高效過濾器一樣,都是根據其自身的使用情況。現潔凈房根據業內數據分享一下統計結果:潔凈棚FFU高效過濾器一般在1-2年左右就要考慮更換;當然對于高等級的潔凈棚可能就要適當提前,一般在不超過一年就要考慮更換了。 半導體設備FFU哪家質量好