探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養不可一概而論,應區別對待。上海勤確科技有限公司終善的服務、及時的服務、正確的服務,服務到每一個客戶滿意。江蘇磁場探針臺供應
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優點之一是只需要很少的培訓,易于配置環境和轉換測試環境,并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。山西磁場探針臺哪家好半導體設備價值普遍較高,一條先進半導體生產線投資中,設備價值約占總投資規模的75%以上。
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調升降9mm,微調升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probe card測試;適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mm x 300mm;chuck粗調升降9mm,微調升降16mm,微調精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質:花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probe card測試;適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品。
相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性。探針臺主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。
半導體測試是半導體生產過程中的重要環節,其測試設備包括測試機、分選機、探針臺。其中,測試機是檢測芯片功能和性能的專業設備,分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來的專業設備,與測試機共同實現批量自動化測試。受益于國內封裝測試業產能擴張,半導體測試設備市場快速發展。作為半導體封測行業三大設備之一,探針臺主要應用于半導體行業以及光電行業的晶圓、芯片等器件的測試,研發難度大,國產化率低,進口依賴度高,它的品質和精度直接決定測試可靠性與否。上海勤確科技有限公司依托多年來完善的服務經驗。陜西溫控探針臺報價
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x-y工作臺的維護與保養:無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一一介紹。平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。江蘇磁場探針臺供應