研究背景近年來,隨著機器人技術的發展,應用高速度、高精度、 高負載自重比的機器人結構受到工業和航空航天領域的關注。由于運動過程中關節和連桿的柔性效應的增加,使結構發生變形從而使任務執行的精度降低。所以,機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮,實現柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統動力學特性。柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統,其動力學方程具有非線性, 強耦合, 實變等特點。而進行柔性臂動力學問題的研究,其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛柔耦合的非線性系統,而且也是系統動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統。動力學建模的目的是為控制系統描述及控制器設計提供依據。一般控制系統的描述( 包括時域的狀態空間描述和頻域的傳遞函數描述) 與傳感器/ 執行器的定位,從執行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關。各支承、連接件的剛性也要有一定的要求,以保證能承受所需要的驅動力。韶關新款晶圓運送機械吸臂賣價
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開,低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高,早間收盤全線收漲,午后在科技板塊的帶動下市場繼續震蕩走高,**終兩市**以中陽報收。
昨天談到農業、大消費和科技股目前呈現出蹺蹺板的態勢,果不其然***出現了此消彼長的情形。
盤面上看,市場***科技股再度走強,以大基金持有的科技股繼續**著相關題材概念和板塊進行做多,北上資金***依舊大幅凈流入,市場短期做多的因素和動能正在疊加。
盤后出了條消息,“中方不會坐視不理美科技霸凌主義”,先機哥由此猜測市場短期的反彈將還是延著科技股這條主線,畢竟帶動市場人氣方面沒有哪個板塊比科技股更適合。
昨晚提醒大家關注的科遠智慧,***低開高走收大陽,開盤后水下潛入的朋友也有7個點的收獲,該股短期有望突破創新高。
珠海進口晶圓運送機械吸臂廠家報價柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統,被用作多柔體系統的研究模型。
可選地,所述托板包括:
主板;
排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一側與所述主板固定連接;
所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。
可選地,所述表面為平面。
另外,本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,其包括上述任一所述的機械手臂。
在本實用新型的技術方案中,機械手臂傳送晶圓時,晶圓放置在托板的表面,并與絨毛墊接觸,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,晶圓被穩穩地附著在機械手臂上,不易發生平移,這樣不僅可以避免發生機械手臂碰傷,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產效率。
通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,本實用新型的其它特征、方面及其優點將會變得清楚。
可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列。
單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。
適用于300mm半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運。
機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP(210mm臂長)
或者3個FOUP(280mm臂長)雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式配備動作監視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化
能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質 主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復性高的動作。
整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現運動控制。2臺直驅電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制,1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數較少,但對控制的精度、平穩性和可靠性要求極高。整個控制架構基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求,Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅動器。Dual axis module同時驅動2臺直驅電機,Single axis module驅動1臺升降直流電機。雙軸模塊式驅動器使系統成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發且多點位置數據存儲客制化編碼器接口協議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內部專業的技術支持X移動,Y移動,Z移動組成,通過在執行終端加裝X轉動,Y轉動,Z轉動可以到達空間內的任何坐標點。廣州官方晶圓運送機械吸臂參考價
機械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。韶關新款晶圓運送機械吸臂賣價
機械及行業設備行業,顧名思義就是與機械有關的行業,在很大程度上影響國民經濟大發展,機械制造業也在一定程度上體現了經濟建設水平。隨著經濟的飛速發展,我國機械行業發展迅速,制造水平明顯提升。機械企業常常利用虛擬制造技術來提升反應能力,而虛擬制造技術也是機械制造領域中**重點的技術。對現代化有限責任公司企業來說,具備敏捷的反應能力是未來努力的方向。氧化鋁陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機械手產業的再制造已經成為其產業鏈中的重要一環。它不僅為客戶提供降低產品全生命周期成本的極優方式,也支持了我國提倡的發展綠色循環經濟的號召,成為工程機械行業未來發展的重要方向。行業內生產型企業普遍通過增加科技加入、提高產品科技含量的方式提升產品性能和質量,擺脫同質化困境,以期在日益激烈的市場競爭中占據主動。這一情況客觀推動了我國工程機械技術水平的提升,自主品牌企業競爭力得到增強。韶關新款晶圓運送機械吸臂賣價
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