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探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、 高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外,晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī),測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能,探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接,通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用,可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試,可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺(tái)的建設(shè)和發(fā)展需要長(zhǎng)期的投入和堅(jiān)定的信心。天津半自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)商
GBITEST+MPI 半自動(dòng)探針臺(tái)。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)需要使用測(cè)試儀和探針臺(tái),測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能,探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接,通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試,可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺(tái)的分類探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來(lái)劃分,也可以按照操作方式來(lái)劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。海南探針臺(tái)生產(chǎn)廠家探針臺(tái)為研究宇宙現(xiàn)象、探索太空、保護(hù)地球和人類生命提供了豐厚的數(shù)據(jù)資源。
探針臺(tái)在使用過(guò)程中,不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。工作環(huán)境。探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,較好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在高溫,潮濕激烈震動(dòng),陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
探針臺(tái)由哪些部分組成?1.樣品臺(tái)(載物臺(tái)),載物臺(tái)是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。克洛諾斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,重復(fù)定位精度達(dá)±50納米,可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時(shí)間內(nèi)完美定位,完成晶圓在量測(cè)端的極精密的檢測(cè)。2.光學(xué)元件,這個(gè)部件的作用是能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物,以便精確地將探針先進(jìn)對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/ 芯片的測(cè)量點(diǎn)上。3.卡盤,有一個(gè)非常平坦的金屬表面,卡盤用夾具來(lái)固定待測(cè)物,或使用真空來(lái)吸附晶圓。探針臺(tái)需要高度的保密性和安全措施。
探針臺(tái)-芯片測(cè)試必備設(shè)備,芯片測(cè)試必備設(shè)備之手動(dòng)探針臺(tái),集成單筒顯微鏡帶高清1080PCCD相機(jī),較大變焦后可清晰觀看1微米光刻晶圓ID號(hào)。配置三維磁吸探針座,1微米移動(dòng)。加載同軸LED光源,實(shí)現(xiàn)高清芯片內(nèi)部電路圖像對(duì)比度,可觀察芯片之美。探針針尖可小于1微米對(duì)芯片電極扎針接觸,連接電源等儀器就可以對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試?yán)病0雽?dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。探針臺(tái)能夠觀測(cè)到宇宙的細(xì)微之處,為人類探索宇宙提供了重要的線索。海南探針臺(tái)生產(chǎn)廠家
探針臺(tái)的研究成果對(duì)人類探索宇宙和了解宇宙具有重要意義。天津半自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)商
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類,縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國(guó)EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。天津半自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)商