晶圓加工的工序包括以下步驟:融化(Melt Down):將塊狀的高純度復晶硅置于石英坩鍋內(nèi),加熱到其熔點1420°C以上,使其完全融化。頸部成長(Neck Growth):待硅融漿的溫度穩(wěn)定之后,將〈1.0.0〉方向的晶種慢慢插入其中,接著將晶種慢慢往上提升,使其直徑縮小到一定尺寸(一般約6mm左右),維持此直徑并拉長100-200mm,以消除晶種內(nèi)的晶粒排列取向差異。晶體成長(Body Growth):不斷調(diào)整提升速度和融煉溫度,維持固定的晶棒直徑,直到晶棒長度達到預定值。尾部成長(Tail Growth):當晶棒長度達到預定值后再逐漸加快提升速度并提高融煉溫度,使晶棒直徑逐漸變小,以避免因熱應力造成排差和滑移等現(xiàn)象產(chǎn)生,使晶棒與液面完全分離。至此即得到一根完整的晶棒。研磨(Lapping):研磨的目的在于去掉切割時在晶片表面產(chǎn)生的鋸痕和破損,使晶片表面達到所要求的光潔度。切割硅片:將硅片切割成晶圓的過程。切割硅片需要使用切割機器,將硅片切割成圓形。切割硅片的精度非常高,一般要求誤差在幾微米以內(nèi)。研磨硅片:將硅片表面進行研磨的過程。研磨硅片需要使用研磨機器,將硅片表面進行研磨,使其表面光滑平整。研磨硅片的精度也非常高,一般要求誤差在幾微米以內(nèi)。在進行晶圓研磨前,制造商需要將晶圓ID寫在晶圓正面,以確保研磨后晶圓ID不丟失。高速晶圓讀碼器市場
在晶圓研磨過程中,晶圓ID的讀碼也是一個重要的環(huán)節(jié)。在研磨過程中,晶圓ID的讀碼通常采用光學識別技術(shù),通過特定的光學鏡頭和圖像處理算法,將晶圓上的標識信息轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號。讀碼操作通常由自動化設(shè)備或機器人完成,以避免人為錯誤和保證高精度。讀取的晶圓ID信息可以與生產(chǎn)控制系統(tǒng)相連接,實現(xiàn)對生產(chǎn)過程的精確控制和數(shù)據(jù)統(tǒng)計。例如,通過讀取晶圓ID,可以獲取晶圓的加工歷史記錄、質(zhì)量控制信息等,從而更好地了解晶圓的生產(chǎn)過程和質(zhì)量狀況。同時,在研磨過程中,晶圓ID的讀碼還可以用于對研磨過程中的數(shù)據(jù)進行記錄和分析,以提供對研磨過程的監(jiān)控和管理。例如,通過讀取晶圓ID,可以獲取晶圓的研磨時間、研磨速度、研磨壓力等參數(shù),從而實現(xiàn)對研磨過程的精確控制和優(yōu)化。購買晶圓讀碼器是什么高速晶圓 ID 讀碼器 - WID120,易于設(shè)置的圖形用戶界面。
晶圓ID在半導體制造中起著重要的作用。它不僅有助于生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制和產(chǎn)品追溯,還可以為研發(fā)和工藝改進提供有價值的數(shù)據(jù)。在進行晶圓研磨前,制造商需要將晶圓ID寫在晶圓正面,以確保研磨后晶圓ID不丟失。這樣做是為了在貼片時,通過晶圓ID讀取晶圓圖(wafermap),從而區(qū)分晶圓測試為良品或不良品。通過這樣的方式,制造商可以更好地控制生產(chǎn)過程,提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。產(chǎn)品追溯與質(zhì)量控制:在半導體制造中,每個晶圓都有一個身份的ID。這個ID與晶圓的生產(chǎn)批次、生產(chǎn)廠家、生產(chǎn)日期等信息相關(guān)聯(lián)。通過讀取晶圓ID,制造商可以追蹤晶圓在整個生產(chǎn)過程中的狀態(tài),確保每個環(huán)節(jié)都符合質(zhì)量要求。如果在生產(chǎn)過程中出現(xiàn)任何問題或異常,晶圓ID可以幫助制造商快速定位問題來源,及時采取糾正措施,避免批量不良品的出現(xiàn)。
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