合肥國產異質結鍍膜設備

高效異質結電池整線解決方案，TCO的作用：在形成a-Si:H/c-Si異質結后，電池被用一個~80納米的透明導電氧化物接觸。~80納米薄的透明導電氧化物（TCO）層和前面的金屬網格。透明導電氧化物通常是摻有Sn的InO（ITO）或摻有Al的ZnO。通常，TCO也被用來在電池的背面形成一個介電鏡。因此，為了理解和優化整個a-Si:H/c-Si太陽能電池，還必須考慮TCO對電池光電性能的影響。由于其高摻雜度，TCO的電子行為就像一個電荷載流子遷移率相當低的金屬，而TCO/a-Si:H結的電子行為通常被假定為類似于金屬-半導體結。  TCO的功函數對TCO/a-Si:H/c-Si結構中的帶狀排列以及電荷載流子在異質結上的傳輸起著重要作用。此外，TCO在大約10納米薄的a-Si:H上的沉積通常采用濺射工藝；在此，應該考慮到在該濺射工藝中損壞脆弱的a-Si:H/c-Si界面的可能性，并且在工藝優化中必須考慮到。光伏異質結是一種高效太陽能電池，具有雙面發電和低光衰減等優點。合肥國產異質結鍍膜設備

太陽能異質結是一種利用半導體材料制成的太陽能電池，其應用領域非常廣闊。以下是幾個主要的應用領域：1.太陽能發電：太陽能異質結可以將太陽能轉化為電能，用于發電。這種太陽能電池可以廣泛應用于家庭、工業和商業領域，為人們提供清潔、可再生的能源。2.光伏發電：太陽能異質結可以用于光伏發電，將太陽能轉化為電能。這種發電方式可以廣泛應用于建筑物、道路、車輛等各種場所，為人們提供清潔、可再生的能源。3.太陽能熱水器：太陽能異質結可以用于太陽能熱水器，將太陽能轉化為熱能，用于加熱水。這種太陽能熱水器可以廣泛應用于家庭、工業和商業領域，為人們提供清潔、可再生的熱能。4.太陽能空調：太陽能異質結可以用于太陽能空調，將太陽能轉化為電能，用于驅動空調。這種太陽能空調可以廣泛應用于家庭、工業和商業領域，為人們提供清潔、可再生的能源。總之，太陽能異質結的應用領域非常廣闊，可以為人們提供清潔、可再生的能源，有著非常重要的意義。南京釜川異質結薄膜釜川高效異質結電池濕法制絨設備全線采用臭氧工藝，降低了運營材料成本。

異質結電池整線生產設備，l在擴散的過程中，pn結p區一側出現負電荷區，n區一側出現正電荷區，其形成空間電荷區，在空間內部形成內建電場，載流子做漂移運動，阻礙電子與空穴的擴散，達到平衡，能帶停止相對移動，p區能帶相對于n區上移，n區能帶相對于p區下移，pn結的費米能級處處相等，即載流子的擴散電流和漂移電流相互抵消；pn結勢壘區存在較強的內建電場（自n區指向p區），則p區的電子進入n區，n區的空穴進入p區，使p端電勢升高，n端電勢降低，在pn結兩端產生光生電動勢，即為PN結的光生伏特效應。同理，由于光照在PN結兩端產生光生電動勢，即在PN結兩端加上正向偏壓V，則產生正向電流IF，在PN結開路時，光生電流等于正向電流，PN結兩端建立起穩定的電勢差VOC，即光電池的開路電壓，這就是光電池的基本原理。

HJT電池所有制程的加工溫度均低于250，避免了生產效率低而成本高的高溫擴散制結的過程，而且低溫工藝使得a-Si薄膜的光學帶隙、沉積速率、吸收系數以及氫含量得到較精確的控制，也可避免因高溫導致的熱應力等不良影響。HJT電池轉換效率高，拓展潛力大，工藝簡單并且降本路線清晰，契合了光伏產業發展的規律，是有潛力的下一代電池技術。HJT電池為對稱的雙面結構，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場作用。零界高效異質結電池整線設備導入銅制程電池等多項技術，降低非硅成本。

異質結電池的優勢有，優勢一：工藝流程短HJT電池主工藝有4道：制絨、非晶硅沉積、TCO沉積、絲網印刷；遠少于PERC（10個）和TOPCON（12-13個）；其中，非晶硅沉積主要使用PECVD方法。TCO薄膜主要有兩種方法：RPD(反應等離子沉積)和PVD。優勢二：轉換效率高得益于N型硅襯底以及非晶硅對基底表面缺陷的雙重鈍化作用。目前量產效率普遍已在25%以上；更高的轉化效率需要在前后表面使用摻雜納米晶硅、摻雜微晶硅、摻雜微晶氧化硅、摻雜微晶碳化硅取代現有的摻雜。HJT效率潛力超28%，遠高PERC電池。優勢三：無LID&PID，低衰減無LID與PID：由于HJT電池襯底通常為N型單晶硅，而N型單晶硅為磷摻雜，不存在P型晶硅中的硼氧復合、硼鐵復合等，所以HJT電池對于LID效應是免疫的。HJT電池的表面沉積有TCO薄膜，無絕緣層，因此無表面層帶電的機會，從結構上避免PID發生。低衰減：HJT電池首年衰減1-2%，此后每年衰減0.25%，遠低于PERC電池摻鎵片的衰減情況（首年衰減2%，此后每年衰減0.45%)，因此HJT電池全生命周期每W發電量高出雙面PERC電池約1.9%-2.9%。異質結電池能夠充分利用太陽能資源，為人類創造更多的清潔能源和經濟效益。四川太陽能異質結制絨設備

光伏異質結結合了晶體硅和非晶硅的優點，實現了低成本、高效率的太陽能轉換。合肥國產異質結鍍膜設備

高效光伏異質結電池整線設備，HWCVD 1、熱絲化學氣相沉積(HotWireCVD，HWCVD)是利用高溫熱絲催化作用使SiH4分解來制備非晶硅薄膜，對襯底無損傷，且成膜質量非常好，但鍍膜均勻性較差，且熱絲作為耗材，成本較高；2、HWCVD一般分為三個階段，一是反應氣體在熱絲處的分解反應，二是基元向襯底運輸過程中的氣相反應，第三是生長薄膜的表面反應。PECVD鍍膜均勻性較高，工藝窗口寬，對襯底損傷較大。HWCVD是利用高溫熱絲催化作用使SiH4分解來成膜，對襯底無損傷，且成膜質量好，但鍍膜均勻性較差且成本較高。合肥國產異質結鍍膜設備

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