而CMP工藝離不開研磨料的發展,那么對于磨料的顆粒粒度表征就顯得尤為重要了。CMP就是用化學腐蝕和機械力對加工過程中的硅晶圓或其它襯底材料進行平滑處理。將硅片固定在拋光頭的較下面,將拋光墊放置在研磨盤上,拋光時,旋轉的拋光頭以一定的壓力壓在旋轉的拋光墊上,由亞微米或納米磨粒和化學溶液組成的研磨液在硅片表面和拋光墊之間流動,然后研磨液在拋光墊的傳輸和離心力的作用下,均勻分布其上,在硅片和拋光墊之間形成一層研磨液液體薄膜。山東馳光機電科技有限公司以創百年企業、樹百年品牌為使命,傾力為客戶創造更大利益!吉林粒度分析儀廠家
磨料的粒度測量:以上我們了解到磨料在CMP工藝中起到了關鍵性的作用,CMP磨料顆粒的典型尺寸范圍是50-250納米,典型的過大聚集體為1-10微米,并出現在ppm范圍內。顆粒表征的挑戰來自于精確確定納米級顆粒尺寸,同時還識別出相對較少的微米級聚集體。CPS納米粒度分析儀表征磨料顆粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的顆粒,提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。較小峰值寬度可小至峰值直徑的2%,粒徑差別在大于3%的窄峰可以被完全分辨出來。陜西病毒顆粒分析儀哪家好馳光機電科技銳意進取,持續創新為各行各業提供專業化服務。
符合多項油品S元素分析國際和國家標準,例如ASTM D4294,ASTM D7212,GB/T 17040,GB/T 17606等。X射線管能耗低、只15W,使用壽命長達數十年。低背景硅“漂移”檢測器保證高分辨率,檢測限高達0.1ppm。除了標配的Windows操作系統,還提供了備選的Linux操作系統,保證儀器的安全性(中美貿易戰下的新形勢要求)。中國PTA行業競爭格局分析,從我國PTA產能分布來看,產能占比較大的廠家是恒力石化,2020年占比20%;產能占比排第二的是逸盛大化,產能占比為10%,其次是逸盛石化,產能占比9%;國內前面十PTA廠家產能合計占比77%。全球PTA計劃投產產能趨勢。
氧化鋅可以應用于病毒載體制劑,并且病毒顆粒大小和病毒聚集對基于病毒的生物制品的下游加工、配方和混合有著巨大的影響此款設備在有關工藝優化和產品質量等重要問題上有重要的參考價值。CPS納米粒度分析儀可以直觀準確的表征病毒顆粒的團聚情況。CPS納米粒度分析儀測定不同處理方式下病毒顆粒的團聚情況的結果,儀器使用轉速為24,000轉/分。可以明顯看到病毒顆粒是否發生團聚現象,儀器分辨率很好。CPS利用差速離心沉降法的原理表征不同處理方式下病毒顆粒的沉降時間,以及病毒顆粒的團聚情況。馳光機電科技有限公司不斷提高產品的質量。
為了提高粒徑的測量精度,需要較高的圓盤轉速,目前市面上常見的運行速度較高在15000RPM,而國內在1500RPM,無法滿足CPM化學機械拋光的需求。CPS-24000納米粒度儀的最高轉速為24000轉,測試范圍在5nm-75um,每次加樣只需要0.1ml,降低樣液的測試成本,可連續測量多達40個樣品。CPS納米粒度分析儀的使用方法已經列入國標,包括《金屬粉末粒度分布的測量-重力沉淀光透法》、《煤礦粉塵粒度分布測定方法》、《橡膠配合劑-炭黑-聚集體尺寸的測定-使用光跟蹤盤式離心沉淀儀法》等。馳光機電科技始終以適應和促進發展為宗旨。重慶高精度納米粒度分析儀價格
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