在能夠以這種方式執行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發明旨在提供能夠利用少量的組件來執行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現上述目的,根據本發明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響,提高測量精度。泰州防水光譜共焦位移傳感器
3.根據權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述半透半反光學鏡包括有上三棱鏡,與上三棱鏡膠合的下三棱鏡,膠合面鍍有半透半反膜,所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置,所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據權利要求3所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面。5.根據權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,所述色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,所述準直鏡組設置在多色光光源的一側,用于多色光光源的準直;所述色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側,用于將多色光分別聚焦,并產生軸向色散。徐州光譜共焦位移傳感器推薦光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的振動頻率和振動幅度的測量,對于研究材料的振動特性具有重要意義。
本發明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點的位置
易于想到的是,發光件還可設置為發射多色光,如當被測物體放置在efficient測量區域但不是best位置時,發光件發出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設置有導光光纖,導光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導光光纖的入光端正對發光件的發光面,探頭殼體上開設有插槽,導光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側壁上,導光光纖用于將光源耦合器中的發光件發出的光傳導到探頭殼體的側壁,從而實現提示光從探頭殼體的側壁上發出,當手握探頭殼體進行位置測量時,方便人眼獲取探頭殼體上發出的指示光,通過指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。
本實用新型解決的技術問題在于,針對現有技術的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光;它可以實現對材料的變形過程進行精確測量,對于研究材料的變形行為具有重要意義。深圳光譜共焦位移傳感器供應鏈
它可以測量物體的微小位移,精度可以達到亞微米級別。泰州防水光譜共焦位移傳感器
根據權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統的情況下的光軸相對應。泰州防水光譜共焦位移傳感器