遠距離測量:可遠離被測物體進行掃描測量。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進行逐點測量,可高速掃描測量。測量精度高:光斑可聚焦到很小,進而可探測一般機械測頭難以探測的部位。 其中,光學測量以三角測量法應用broadest。而根據三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,但使用激光進行三角測量時,照射到物體表面的激光會呈現顆粒狀的散斑,而且被測物體的顏色、材質和放置的角度會影響的光斑的分布,從而確定像點的質心位置變得異常困難,導致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯,為了更加精細、更加穩定的測量位移,需要采用新型位移測量技術。因此,現有技術還有待于改進和發展。該傳感器利用光學共焦原理,通過測量材料表面的光譜變化來確定位移大小。湖北光譜共焦位移傳感器性價比高
本實用新型的工作原理如下:1)鹵素燈光源發出的光,通過Y型光纖后,一端經光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y型光纖的另一端,單色光到達共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進入光譜儀,采集光譜信息;并通過調整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進行光強的歸一化處理,并對原始的光譜數據進行去噪平滑等預處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法來進行峰譜定位,高斯函數的峰值位置為其一階導數的零點,可以認為找到了高斯函數的一階導數零點就找到了高斯函數的峰譜位置。4)利用超精密的運動控制臺,來標定不同位置對應的光譜譜峰值,找出一一對應關系;標定完成后,通過讀取軟件上峰譜值的大小,就可以測出被測物離光源的精確位置。以上only為本實用新型的具體實施例,但本實用新型的技術特征并不局限于此。任何以本實用新型為基礎,為實現基本相同的技術效果,所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等。浦東新區光譜共焦位移傳感器品牌企業傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。
入射光纖,接收光纖,多個導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖,接收光纖,多個導光光纖形成通過光源耦合器產生多色光,多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產生對應關系;被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;
這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,具有較小的光能量損失。光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、生物醫學、納米技術等多個領域。
當光線射到半透半反膜上時,一部分光線進行透射到下三棱鏡上,一部分光線進行反射,反射到背向所述反光鏡的一面,在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進行涂黑處理從而成為啞光面,當光被半透半反光學鏡反射到啞光面上時,被啞光面吸收,因此可以減少整個系統的雜散光,提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小,因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小,因此可認為,多色光從下三棱鏡射出時,基本不發生位置偏移,從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實現所有多色光的波長共光軸,而且不發生光軸偏移,有利于后續對多色光進行色散和聚焦。它可以測量物體的微小位移,精度可以達到亞微米級別。大連光譜共焦位移傳感器制造廠家
光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響,提高了測量精度。湖北光譜共焦位移傳感器性價比高
被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰反推出被測物體的位移,實現利用光譜共焦原理測量位移的過程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。湖北光譜共焦位移傳感器性價比高