杭州光電光譜共焦位移傳感器

來源: 發布時間:2024-06-21

1.光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內,且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面側朝內對稱設置。4.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,具有亞微米級的高精度。杭州光電光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。 光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區域就能夠沿原路返回,可以解決傳統的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。揚州光譜共焦位移傳感器生產廠家哪家好該傳感器可應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。

分光器包括線傳感器和光學系統。光學系統包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數量的情況下,利用少量的組件來執行多點測量

光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應當理解的是,本實用新型的應用不限于上述的舉例,對本領域普通技術人員來說,可以根據上述說明加以改進或變換,所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。一條連接結構,實現便于裝配的同時,對入射光纖,接收光纖,多個導光光纖進行保護。創視智能嗯該傳感器的優點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。

線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以向線傳感器的不同受光區域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區域。該傳感器適用于高分辨率成像系統,如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。河北光譜共焦位移傳感器制造公司

它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,能夠達到亞微米級的高精度。杭州光電光譜共焦位移傳感器

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優先采用圓柱形殼體,用于對探頭內的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護,易于想到的是,探頭殼體可設置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內固定設置有半透半反光學鏡,半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現一半透射而一半反射,而當透射的光線經過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上,半透半反光學鏡對反射光進行一半透射,一半反射;杭州光電光譜共焦位移傳感器

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