可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。 適用于300mm半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運。 機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手...
確定性主要分為兩種主要類型:結構(structured)不確定性和非結構(unstructured)不確定性,非結構不確定性主要是由于測量噪聲、外界干擾及計算中的采樣時滯和舍入誤差等非被控對象自身因素所引起的不確定性。結構不確定性和建模模型本身有關...
離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽離子與銨鹽陽離子將自發地進行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結構會因銨鹽的引入而發生彎曲變形,彎曲的片層之間發生縮聚,將有機物包圍在片層當中,經高溫燒結除去有機物,...
本發明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術: 在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨...
多功能一體化機械臂,包括機械臂主體,所述機械臂主體由設置在該機械臂主體底部的底座、設置在底座頂部的后臂及設置在后臂頂部的前臂構成的,該種多功能一體化機械臂,改進了原有產品的缺點,本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅動充足的特點,本機械...
微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分,開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用,而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...
氧化鋁耐磨陶瓷襯在礦渣微粉生產線的網管里,微粉比表面積為420~450m2,濃度在350g/Nm3,速度在28~30m/s,沖刷角度為30℃的情況下,20mm的耐磨陶瓷襯片可以使用8~10年。生料磨和熟料磨粉磨的物料比礦渣容易磨,相同厚度的耐磨陶瓷襯片,使用壽...
3、四方氧化鋯多晶體陶瓷 四方氧化鋯多晶體陶瓷的晶粒很小,為了使亞穩的四方相保留下來,必須采用超細、高純的氧化鋯粉體,且要準確控制氧化釔的含量,燒結工藝中要采用低的溫度(1400℃)。 四方氧化鋯陶瓷通過相變增韌具有很高的強度和斷裂韌性,但在中...
氧化鋯材料有多種優異性能,特別是具有增韌的作用,因而被作為韌性陶瓷***地應用的。它具有高的韌性、高的抗彎強度、高的硬度和耐磨性等特點,更顯示出應用的***性。它在機械、電子、石油、化工、航天、紡織、精密測量儀器、精密機床、生物工程和醫療器械等行業...
3)整體性好。由于耐磨可塑料采取了雙重補強措施,有的甚至采取了多種補強措施,有效地改善了材料性能,使其體積穩定,不可能產生裂縫,因而整體性好,另外施工為整體施工,無接縫出現,因而整體性進一步提高。 (4)環境相容性好。由于采用了耐酸和耐堿...
半導體行業,尤其是集成電路領域,晶圓的身影隨處可見。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結構,使之成為有特定電性功能的集成電路產品。 眼前這密密麻麻的元器件,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上...
本發明針對現有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設備要求,...
有用于輸送半導體晶圓的機械手。具體地,該機械手將半導體晶圓插入到處理室(process chamber),或者將半導體晶圓從處理室中取出。傳送室(transfer chamber)連結于處理室。機械手配置在該傳送室內。利用機械手使半導體晶圓在傳送室與處理室之間...
年來全球硅晶圓供給不足,導致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底。目前國內多個硅晶圓項目已經開始籌備,期望有朝一日能夠打破進口依賴,并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可...
機械臂是指高精度,多輸入多輸出、高度非線性、強耦合的復雜系統。因其獨特的操作靈活性, 已在工業裝配, 安全防爆等領域得到廣泛應用。機械臂是一個復雜系統, 存在著參數攝動、外界干擾及未建模動態等不確定性。因而機械臂的建模模型也存在著不確定性,對于不同的任務, 需...
混料機耐磨陶瓷襯板特點:具有耐磨、抗沖擊、耐腐蝕、耐高溫、施工方便等特點,是電力、冶金、煤炭、石 油、水泥、化工、機械等行業物料(如灰渣、煤粉、礦精粉、尾礦、水泥等)輸送設備表面耐磨的理想材料,在高溫腐蝕、高溫磨損或高溫熔蝕的場合下使用非常安 全可靠。 混料機...
微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...
精密結構陶瓷,又稱為陶瓷基復合材料或新型陶瓷,是一種基于陶瓷材料的高性能、高精度的先進材料。這種材料具有出色的耐高溫性能、抗腐蝕性、高硬度、低密度、 度、高韌性等特點,因此被廣泛應用于 、航天、汽車、電子、生物醫學等領域。精密結構陶瓷的制造過程需要經過精細的配...
4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用**多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后,在Ar氣條件下進行反應,反應溫度一般為1300~1500 ℃ ,反應時間為2~4h,制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...
2.噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產線上,重復位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅動或交流伺服電機驅動。3.焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂,它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負荷大基本介紹當提到機械人時,許多人會想到有手,有腳的人型...
一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺呈環形,所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺內的偽絕緣凸臺,所述偽絕緣凸...
**耐磨陶瓷料現在大家對環保越來越重視了低碳綠色已經成為世界發展的首要趨勢,隨著人們生活水平和經濟水平的不時提高。社會各界人士也將綠色低碳轉化為自己的一種生活態度。耐磨行業也不甘落后,刮起這股清新之風,綠色之風將會帶動整個行業的科技創新邁向一個全新的領域,上升...
2、工藝要精湛 只有現成的設備還不足以***保證氧化鋯陶瓷的產品質量,還應該擁有配套的生產工藝,所以氧化鋯陶瓷生產工藝是否精湛就是企業選擇生產廠家時需要注意的另一個重點。只有工藝好,才能讓生產出來的產品在耐磨、耐腐蝕、耐高溫、耐酸堿度等方面表現更好,...
一、成型氧化鋯結構陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種:熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對于氧化鋯結構陶瓷小型產品或形狀復雜的產品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡單,特別適宜于生產批量大或形狀復雜的中小型產品。但氧化鋯熱壓鑄...
高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用***用于平坦,無孔...
工業機械臂定義為“其操作機是自動控制的,可重復編程、多用途,并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體...
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開,低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高,早間收盤全線收漲,午后在科技板塊的帶動下市場繼續震蕩走高,**終兩市**以中陽報收。 昨天談到農業、大消費和科技股目前呈現出蹺蹺板的態勢...
由于氧化鋯陶瓷零件強度極高,而且韌性好也是這一陶瓷制品的明顯優點。故而憑借這兩個優點氧化鋯陶瓷零部件被應用在汽車配件領域中,通常在發動機的相關構件中諸如連桿以及活塞帽等部件都可以使用氧化鋯陶瓷制品,這將極大增加陶瓷零件的市場需要。 市場的總是會選擇高...
區熔法分為兩種:水平區熔法和立式懸浮區熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長;后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏?這是由于硅的熔點高,化學性能活潑,容易受到異物的玷污,所以難以找到適合的器皿來盛方,自然水平區熔法不能用在硅的...
有機泡沫浸漬工藝 有機泡沫浸漬法是用有機泡沫浸漬陶瓷漿料,干燥后燒掉有機泡沫,獲得多孔陶瓷的一種方發泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。 溶膠-凝膠工藝 溶膠- 凝膠工藝主...