C.1.3已裝過濾系統其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目，對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調試過程中承建商的檢測已獲得業主認可，在緊接著的潔凈度項目檢測過程中，可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時，宜將過濾系統安裝調試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統檢漏合并；過濾系統檢漏費時、費人力，整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數器（DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質量濃度，而離散粒子計數器是測量空氣中懸浮粒子的數量和粒徑，2種方法獲得的結果不能進行直接比較。潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理...

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區）內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。正壓潔凈室聯鎖程...

4.2.2因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內已建成的潔凈廠房調研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經濟比較，...

4.2.2因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內已建成的潔凈廠房調研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經濟比較，...

D.3.7噪聲檢測，應符合下列規定：1潔凈室（區）內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分，宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試，應符合下列規定：1潔凈室(區）內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室（區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25m2設一個測點。定期檢測潔凈度，確保空氣質量的穩定。浙江電子廠房環境潔凈室檢測范...

4.1.2潔凈廠房內當布置有精密設備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設。周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結果。這種疊加，目前還沒有系統的參考數據及實用的計算方法。因此，應立足于實測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測，建成后發現對精密設備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的。非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風。安徽純化水...

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測規范性強15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區)，其建筑結構的微振動控制設計，應...

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質。工業管道...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理...

10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定：1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；4應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測范圍D.3.10自凈時間檢測，應符合下列規定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的...

4.2.2因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內已建成的潔凈廠房調研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經濟比較，...

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協調，使投資長期發揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會破壞建筑裝修的完整性及圍護結構的氣密性，故須對主體結構采取相應措施。5.1.5對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構造處理時，應合理組織人流、物流運輸及消防疏散線路，避免一般生產對潔凈生產帶來不利的影響。當防火方面與潔凈生產要求有***時，應采取措施，在確保消防疏散的前提下，減少對潔凈生產的不利影響。...

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1...

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區）內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。潔凈室要達到潔凈...

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室。浙江過濾器潔凈室檢測認真負責C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢...

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區）內工藝設備發熱相差懸殊；5凈化空調系統與一般空調系統，6系統風量過大的凈化空調系統。一般情況下，凈化空調系統的能耗比一般空調系統的能耗大的多。北京實驗室潔凈室檢測規范性強隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了...

5.2.2人員進出、材料出入、產品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發生混雜、降低生產效率，并可能會使潔凈室(區)的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應充分考慮人員、物料設備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據潔凈室(區）的空氣潔凈度等級、人員數量、未來發展需求等確定。物料凈化設施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據物料種類、包裝方式和潔凈室（區）的空氣潔凈度等級等確定。凈化空調系統設計應合理利用回風。上海電子廠房環境潔凈室檢測服務至上B.1自凈檢測是測定潔凈室設施...

9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調速裝置后，送風量的調節變得十分容易，送風壓力穩定。同時潔凈室凈化空調系統的送風機采用變頻調速后節能十分***。9.4.3為避免凈化空調系統因風機停轉無風或超溫時，電加熱器繼續送電加熱會造成設備損壞甚至發生火災，本條強制性規定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新...

C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合，上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規定的掃描速度，移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當使用3cm×3...

5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設計，應符合下列要求：1在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；2吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；3單人空氣吹淋室，應按比較大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；4空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；5空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室（區)，宜設氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內逐步潔凈，室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區）的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服...

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫藥工業中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網設計是保證使用點水質的關鍵。實踐證明，采用循環供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內的流速和盡量減少不循環段的死水區，以減少純水在管道內的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質量比較好的管道也會有微量物質溶出)對超純水水質的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。一般情況下...

5.2.2人員進出、材料出入、產品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發生混雜、降低生產效率，并可能會使潔凈室(區)的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應充分考慮人員、物料設備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據潔凈室(區）的空氣潔凈度等級、人員數量、未來發展需求等確定。物料凈化設施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據物料種類、包裝方式和潔凈室（區）的空氣潔凈度等級等確定。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海實驗室環境潔凈室檢測認真負責C.1.1檢測目的檢測...

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故，本條規定應設置備用照明，以防止上述事故和情況發生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置，節省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣...

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端；5同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應相近；6同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區)，在凈化空調系統中應根據環境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈度等級...

近年來，國內外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發生，造成了較大的經濟損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護系統失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設計中也很重要。從工藝性質來看，潔凈廠房內一般從事精密視覺工作，需要高照度高質量照明。為了獲得良好和穩定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩定性。........工業潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。安徽潔凈室檢測評估空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故，本條規定應設置備用照明，以防止上述事故和情況發生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置，節省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。江蘇...

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層...