甩干機的結構通常包括以下幾個關鍵部件：旋轉機構：包括旋轉軸、旋轉盤和夾具等。旋轉軸是晶圓甩干機的重要部件之一，它支撐著晶圓并帶動其高速旋轉。旋轉盤通常與旋轉軸相連，用于放置晶圓。夾具則用于固定晶圓，確保其在旋轉過程中的穩定性。排水系統：排水系統負責將被甩離的水分和化學溶液等迅速排出設備外部。排水系統通常包括排水口、排水管道和排水泵等部件。排水口位于甩干機的內壁或底部，用于收集被甩離的水分和化學溶液。排水管道則將這些液體引導至設備外部。排水泵則提供必要的動力，確保排水的順暢和高效。控制系統：控制系統用于控制晶圓甩干機的運轉及參數調整。它通常包括觸摸屏、PLC控制器、傳感器等部件。觸摸屏用于顯...

臥式甩干機基于離心力原理工作。當裝有晶圓的轉鼓開始高速旋轉時，晶圓表面殘留的液體（如清洗液、刻蝕液等）在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉鼓轉速和晶圓到旋轉中心的距離決定，根據公式2（其中是離心力，是液體質量，是角速度，是旋轉半徑），通過精確控制轉鼓轉速，可以產生足夠強大的離心力，使液體沿轉鼓切線方向甩出。在甩干過程中，除了離心力的直接作用，設備內部的通風系統也發揮關鍵作用。清潔、干燥的空氣被引入轉鼓內部，在晶圓表面形成氣流，加速液體的蒸發。同時，由于不同液體的揮發性不同，在離心力和氣流的共同作用下，揮發性較強的成分會更快地揮發，使晶圓表面達到高度干燥狀態。多模式適配：預設多種甩干程...

晶圓甩干機的結構組成： 旋轉機構：包括電機、轉軸、轉子等部件，電機提供動力，通過轉軸帶動轉子高速旋轉，轉子用于固定和承載晶圓，確保晶圓在旋轉過程中保持穩定。 腔室：是晶圓甩干機的工作空間，通常由不銹鋼或其他耐腐蝕、耐磨損的材料制成，腔室的密封性良好，能夠防止液體和雜質進入，同時也能保證內部氣流的穩定。 噴淋系統：在漂洗過程中，噴淋系統將去離子水或其他清洗液均勻地噴灑在晶圓表面，以沖洗掉晶圓上的雜質和殘留化學物質。 氮氣供應系統：包括氮氣瓶、減壓閥、流量計、加熱器等部件，用于向腔室內提供加熱的氮氣，以輔助晶圓干燥。 控制系統：一般采用可編程邏輯控制器（PLC）或...

控制系統是立式甩干機的“大腦”，它由先進的可編程邏輯控制器（PLC）或工業計算機作為主要控制單元，搭配各類高精度的傳感器和執行器組成。傳感器包括轉速傳感器，用于實時監測轉臺的旋轉速度；液位傳感器，安裝在液體收集槽內，監測廢液液位高度；壓力傳感器，檢測腔體內的氣壓變化；溫度傳感器和濕度傳感器，監控腔體內的環境參數等。執行器則包括電機驅動器，根據控制器的指令精確調節電機的轉速和轉向；閥門驅動器，控制液體排放閥門和氣體流量閥門的開閉程度；加熱元件（部分甩干機為加速干燥或維持特定環境溫度而配備）的功率控制器等。控制系統通過預設的控制算法，對這些傳感器和執行器進行實時監控和協調管理，實現對甩干機整個工作...

晶圓甩干機，是半導體制造工藝中負責晶圓干燥處理的關鍵設備，對提升芯片制造質量起著舉足輕重的作用。該設備的工作原理建立在離心力的基礎之上。當晶圓被準確放置在甩干機的旋轉托盤上，電機驅動托盤飛速轉動。在高速旋轉產生的離心力影響下，晶圓表面的液體因受力不均，從中心向邊緣快速移動，并被甩出晶圓表面，實現干燥效果。晶圓甩干機的結構設計充分考慮了半導體制造的高精度需求。旋轉系統采用高精度的軸承和平衡裝置，確保在高速運轉時晶圓始終保持平穩，防止因振動產生的晶圓損傷。驅動系統配備高性能電機，能夠精 zhun 控制轉速，滿足不同類型晶圓和工藝的干燥要求。此外，還有先進的控制系統，操作人員可通過它輕松設置干燥時間...

甩干機干燥方式及配套系統離心式為主的甩干機：大多數晶圓甩干機采用離心式干燥原理，通過高速旋轉產生離心力去除晶圓表面水分。一些先進的離心式甩干機還配備了良好的通風系統、加熱系統等輔助干燥裝置。如在甩干過程中通入加熱的氮氣，不僅可以加速水分蒸發，還能防止晶圓表面氧化和污染，使晶圓干燥得更徹底、更均勻，進一步提高了工作效率和產品質量.其他干燥方式：除離心式外，還有氣流式、真空式等干燥方式的晶圓甩干機。氣流式甩干機通過強制氣流將水分吹離晶圓表面，其優點是對晶圓表面損傷較小，但甩干效果相對離心式稍弱，工作效率也略低；真空式甩干機則通過真空吸附將水分甩出，在甩干效果和損傷程度上較為均衡，不過其設備結構相對...

在半導體芯片制造中，晶圓甩干機是保障芯片性能的關鍵干燥設備。它利用離心力原理，將晶圓表面的液體快速去除。當晶圓在甩干機內高速旋轉時，液體在離心力作用下從晶圓表面甩出。該設備的旋轉平臺經過精心設計，具備高精度和高穩定性，保證晶圓在旋轉過程中受力均勻。驅動電機動力強勁且調速精 zhun ，能滿足不同工藝對甩干速度和時間的要求。控制系統智能化程度高，可實現對甩干過程的精 zhun 控制和實時監控。在芯片制造流程中，清洗后的晶圓經甩干機處理，去除殘留液體，防止液體殘留對后續光刻、蝕刻等工藝造成影響，如導致電路短路或開路，從而保障芯片的性能。晶圓甩干機還具備自動檢測功能，可實時監測甩干狀態，確保甩干質量...

臥式甩干機與立式甩干機對比：一、空間利用與布局臥式晶圓甩干機在水平方向上占用空間較大，但高度相對較低，這使得它在一些生產車間的布局中更容易與其他水平傳輸的設備進行連接和集成，方便晶圓在不同設備之間的流轉。二、晶圓裝卸便利性對于一些較大尺寸或較重的晶圓，臥式晶圓甩干機在裝卸過程中可能相對更方便。操作人員可以在水平方向上更輕松地將晶圓放置到轉鼓內的卡槽或托盤上，而立式甩干機可能需要在垂直方向上進行操作，相對更復雜一些。三、干燥均勻性差異兩種甩干機在干燥均勻性方面各有特點。臥式晶圓甩干機通過合理設計轉鼓內部的晶圓固定方式和通風系統，能夠確保晶圓在水平旋轉過程中受到均勻的離心力和氣流作用，實現良好的干...

在刻蝕過程中，無論是濕法刻蝕還是干法刻蝕，都會在晶圓表面留下不同形式的殘留物。對于濕法刻蝕，大量的刻蝕液需要被去除干凈，否則會繼續對晶圓表面已刻蝕出的微觀結構造成腐蝕破壞，改變刻蝕的形狀和尺寸精度，影響芯片的性能和功能。在干法刻蝕后，雖然沒有大量的液態殘留，但可能會存在一些氣態反應產物在晶圓表面凝結成的微小液滴或固體顆粒等雜質，這些雜質同樣會對芯片質量產生負面影響，如導致接觸不良、增加漏電流等。立式甩干機通過其強大的離心力和精細的干燥處理能力，能夠有效地去除這些刻蝕后的殘留物，確保晶圓表面的微觀結構完整、清潔，為后續的工藝步驟（如清洗、光刻等）創造良好的條件，從而保障刻蝕工藝所形成的芯片電路結...

在智能化時代，臥式晶圓甩干機緊跟時代步伐，采用智能操控系統，為企業提升生產效率。操作人員只需通過觸摸屏輸入甩干參數，設備即可自動完成甩干操作，操作簡單便捷。智能記憶功能可保存多種甩干方案，方便下次調用，減少了參數設置的時間和誤差。遠程監控功能是智能操控系統的一大特色。通過網絡連接，管理人員可隨時隨地了解設備的運行狀態，包括轉速、溫度、甩干時間等參數，還能實時查看設備的運行日志。一旦設備出現異常，可及時遠程診斷和處理，da da 提高了設備的管理效率和響應速度，讓生產更加智能化、高效化。汽修行業：零部件清洗后甩干，快速去除油污與水分，加快維修進度。四川雙工位甩干機源頭廠家對于半導體制造企業來說，...

我們的設備能夠同時處理多個晶圓，有效提高了生產效率。而且，我們還提供了不同尺寸的甩干機，以滿足不同規格晶圓的處理需求。無論是小尺寸的晶圓還是大尺寸的晶圓，我們都能夠為客戶提供更適合的解決方案。此外，我們的甩干機還具有良好的安全性能和維護性。我們嚴格按照相關標準設計和制造設備，在保證高效處理的同時，很大程度地減少了操作過程中的安全風險。同時，我們的設備維護簡便，易于清潔和保養，能夠幫助客戶降低維護成本，提高設備的可靠性和使用壽命。，我們公司一直秉承著“以質量為根本，以客戶為中心”的經營理念，致力于為客戶提供品質的產品和質優的服務。我們的晶圓甩干機經過嚴格的測試和質量控制，確保每一臺設備都能夠穩定...

在半導體制造過程中，臥式晶圓甩干機的高效穩定性能至關重要。高效的甩干能力，能快速去除晶圓表面的液體，縮短生產周期，提高生產效率。穩定的運行則保證了甩干過程的一致性和可靠性，確保每一片晶圓都能得到高質量的處理。臥式晶圓甩干機的高效穩定得益于其先進的設計和you 質的零部件。高精度的旋轉軸和平衡系統，使設備在高速旋轉時保持穩定，減少了振動和噪音。高性能的電機和先進的控制系統，確保了設備的高效運行和精 zhun控制。選擇臥式晶圓甩干機，為半導體制造提供高效穩定的保障，成就gao 品質的芯片制造。工業級雙腔甩干機可處理大件紡織品，如床單、窗簾等。福建SIC甩干機半導體制造工藝不斷發展，晶圓尺寸也在逐步...

臥式甩干機基于離心力原理工作。當裝有晶圓的轉鼓開始高速旋轉時，晶圓表面殘留的液體（如清洗液、刻蝕液等）在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉鼓轉速和晶圓到旋轉中心的距離決定，根據公式2（其中是離心力，是液體質量，是角速度，是旋轉半徑），通過精確控制轉鼓轉速，可以產生足夠強大的離心力，使液體沿轉鼓切線方向甩出。在甩干過程中，除了離心力的直接作用，設備內部的通風系統也發揮關鍵作用。清潔、干燥的空氣被引入轉鼓內部，在晶圓表面形成氣流，加速液體的蒸發。同時，由于不同液體的揮發性不同，在離心力和氣流的共同作用下，揮發性較強的成分會更快地揮發，使晶圓表面達到高度干燥狀態。對于一些對晶圓表面清潔度要...

對于半導體制造企業來說，設備的穩定高效運行是企業發展的關鍵。臥式晶圓甩干機以其穩定的性能和高效的甩干能力，為企業的發展提供了有力支持。穩定的運行意味著設備的故障率低，減少了因設備故障導致的生產中斷，提高了生產效率和產品質量。高效的甩干能力則縮短了生產周期，提高了企業的產能。臥式晶圓甩干機的高速旋轉轉鼓和精 zhun的控制系統，能在短時間內將晶圓表面的液體徹底qing 除，滿足企業大規模生產的需求。同時，設備的節能設計和低維護成本，也為企業降低了運營成本，增強了企業的市場競爭力，助力企業不斷發展壯大。無論是大規模集成電路生產還是芯片制造，晶圓甩干機都發揮著重要作用。雙腔甩干機生產廠家智能化時代，...

高效穩定的晶圓處理利器晶圓甩干機作為半導體行業中不可或缺的設備之一，以其高效、穩定的特點，成為了晶圓處理中的重要環節。作為我公司的重心產品，我們的晶圓甩干機經過多年的研發和優化，以滿足客戶在晶圓處理過程中的需求。首先，我們的晶圓甩干機采用了先進的技術，確保了其高效穩定的運行。我們引入了較新的離心甩干技術，通過 gao 速旋轉的離心力將水分從晶圓表面甩干，使得晶圓在處理過程中更加干燥。同時，我們的晶圓甩干機還配備了智能控制系統，能夠根據不同的晶圓尺寸和處理要求進行自動調節，確保每一次處理的效果穩定可靠。其次，我們的晶圓甩干機擁有較大的處理能力和靈活的適配性。當晶圓在甩干機中高速旋轉時，液體受到離...

干機在芯片制造過程中有著不可或缺的用途。在晶圓清洗環節之后，它能迅速且gaoxiao地去除晶圓表面殘留的大量清洗液，避免液體殘留對后續工藝產生不良影響，如防止在光刻時因清洗液殘留導致光刻膠涂布不均，進而影響芯片電路圖案的jingzhun度。于刻蝕工藝完成后，無論是濕法刻蝕產生的大量刻蝕液，還是干法刻蝕后晶圓表面可能凝結的氣態反應產物液滴及雜質，甩干機都可將其徹底qingchu，確保刻蝕出的微觀結構完整、jingzhun，維持芯片的電學性能與結構穩定性。在化學機械拋光階段結束，它能夠去除晶圓表面殘留的拋光液以及研磨碎屑等，保證晶圓表面的平整度與潔凈度，使后續的檢測、多層布線等工序得以順利開展，有...

科技的不斷進步推動著半導體制造行業的發展 ，凡華半導體生產的晶圓甩干機憑借創新科技，yin ling 著干燥技術的新潮流。它采用獨特的氣流輔助離心技術，在離心甩干的基礎上，引入氣流加速液體蒸發，進一步提升甩干效果。智能感應系統可實時監測晶圓表面的干燥程度，自動調整甩干參數，實現精 zhun 甩干。而且，設備還具備節能環保設計，采用低能耗電機，降低能源消耗，符合可持續發展理念。凡華半導體生產的晶圓甩干機，以創新科技為he xin ，為半導體制造帶來更高效、更智能的干燥解決方案。晶圓甩干機基于離心力的原理，通過高速旋轉使附著在晶圓表面的液體迅速甩離。江蘇硅片甩干機報價隨著智能化技術的不斷發展，臥式...

臥式甩干機與立式甩干機對比：一、空間利用與布局臥式晶圓甩干機在水平方向上占用空間較大，但高度相對較低，這使得它在一些生產車間的布局中更容易與其他水平傳輸的設備進行連接和集成，方便晶圓在不同設備之間的流轉。二、晶圓裝卸便利性對于一些較大尺寸或較重的晶圓，臥式晶圓甩干機在裝卸過程中可能相對更方便。操作人員可以在水平方向上更輕松地將晶圓放置到轉鼓內的卡槽或托盤上，而立式甩干機可能需要在垂直方向上進行操作，相對更復雜一些。三、干燥均勻性差異兩種甩干機在干燥均勻性方面各有特點。臥式晶圓甩干機通過合理設計轉鼓內部的晶圓固定方式和通風系統，能夠確保晶圓在水平旋轉過程中受到均勻的離心力和氣流作用，實現良好的干...

高效穩定的晶圓處理利器晶圓甩干機作為半導體行業中不可或缺的設備之一，以其高效、穩定的特點，成為了晶圓處理中的重要環節。作為我公司的重心產品，我們的晶圓甩干機經過多年的研發和優化，以滿足客戶在晶圓處理過程中的需求。首先，我們的晶圓甩干機采用了先進的技術，確保了其高效穩定的運行。我們引入了較新的離心甩干技術，通過 gao 速旋轉的離心力將水分從晶圓表面甩干，使得晶圓在處理過程中更加干燥。同時，我們的晶圓甩干機還配備了智能控制系統，能夠根據不同的晶圓尺寸和處理要求進行自動調節，確保每一次處理的效果穩定可靠。其次，我們的晶圓甩干機擁有較大的處理能力和靈活的適配性。在晶圓清洗工藝后，甩干機能夠快速將晶圓...

在半導體制造過程中，臥式晶圓甩干機的高效穩定性能至關重要。高效的甩干能力，能快速去除晶圓表面的液體，縮短生產周期，提高生產效率。穩定的運行則保證了甩干過程的一致性和可靠性，確保每一片晶圓都能得到高質量的處理。臥式晶圓甩干機的高效穩定得益于其先進的設計和you 質的零部件。高精度的旋轉軸和平衡系統，使設備在高速旋轉時保持穩定，減少了振動和噪音。高性能的電機和先進的控制系統，確保了設備的高效運行和精 zhun控制。選擇臥式晶圓甩干機，為半導體制造提供高效穩定的保障，成就gao 品質的芯片制造。晶圓甩干機基于離心力的原理，通過高速旋轉使附著在晶圓表面的液體迅速甩離。福建晶圓甩干機價格在芯片制造過程中...

在半導體芯片制造中，晶圓甩干機是保障芯片性能的關鍵干燥設備。它利用離心力原理，將晶圓表面的液體快速去除。當晶圓在甩干機內高速旋轉時，液體在離心力作用下從晶圓表面甩出。該設備的旋轉平臺經過精心設計，具備高精度和高穩定性，保證晶圓在旋轉過程中受力均勻。驅動電機動力強勁且調速精 zhun ，能滿足不同工藝對甩干速度和時間的要求。控制系統智能化程度高，可實現對甩干過程的精 zhun 控制和實時監控。在芯片制造流程中，清洗后的晶圓經甩干機處理，去除殘留液體，防止液體殘留對后續光刻、蝕刻等工藝造成影響，如導致電路短路或開路，從而保障芯片的性能。隨著半導體技術的不斷發展，晶圓甩干機將在更多先進工藝中展現出其...

半導體設備晶圓甩干機在設計上注重操作的簡便性和安全性。操作界面通常采用直觀、易懂的人機交互方式，如觸摸屏、控制面板等，用戶只需通過簡單的操作即可完成設備的啟動、停止、參數設置等功能，無需專業的技術培訓。同時，甩干機配備了完善的安全保護裝置，如門蓋聯鎖裝置、過載保護裝置、緊急制動裝置等，確保操作人員的人身安全和設備的正常運行。門蓋聯鎖裝置可以防止在甩干機運行過程中門蓋意外打開，避免物料和水分濺出對操作人員造成傷害；過載保護裝置能夠在設備負載過大時自動切斷電源，保護電機和其他部件免受損壞；緊急制動裝置則可以在突發情況下迅速使轉子停止旋轉，確保設備和人員的安全。這些安全保護裝置的存在使得 SRD 甩...

甩干機在設計上注重操作的簡便性和安全性。操作界面通常采用直觀、易懂的人機交互方式，如觸摸屏、控制面板等，用戶只需通過簡單的操作即可完成設備的啟動、停止、參數設置等功能，無需專業的技術培訓。同時，甩干機配備了完善的安全保護裝置，如門蓋聯鎖裝置、過載保護裝置、緊急制動裝置等，確保操作人員的人身安全和設備的正常運行。門蓋聯鎖裝置可以防止在甩干機運行過程中門蓋意外打開，避免物料和水分濺出對操作人員造成傷害；過載保護裝置能夠在設備負載過大時自動切斷電源，保護電機和其他部件免受損壞；緊急制動裝置則可以在突發情況下迅速使轉鼓停止旋轉，確保設備和人員的安全。這些安全保護裝置的存在使得SRD甩干機在操作過程中具...

在智能化時代，臥式晶圓甩干機緊跟時代步伐，采用智能操控系統，為企業提升生產效率。操作人員只需通過觸摸屏輸入甩干參數，設備即可自動完成甩干操作，操作簡單便捷。智能記憶功能可保存多種甩干方案，方便下次調用，減少了參數設置的時間和誤差。遠程監控功能是智能操控系統的一大特色。通過網絡連接，管理人員可隨時隨地了解設備的運行狀態，包括轉速、溫度、甩干時間等參數，還能實時查看設備的運行日志。一旦設備出現異常，可及時遠程診斷和處理，da da 提高了設備的管理效率和響應速度，讓生產更加智能化、高效化。雙腔甩干機采用防纏繞技術，避免衣物變形或損傷。浙江水平甩干機批發晶圓甩干機的控制系統是現代 SRD 甩干機實現...

甩干機在設計上注重操作的簡便性和安全性。操作界面通常采用直觀、易懂的人機交互方式，如觸摸屏、控制面板等，用戶只需通過簡單的操作即可完成設備的啟動、停止、參數設置等功能，無需專業的技術培訓。同時，甩干機配備了完善的安全保護裝置，如門蓋聯鎖裝置、過載保護裝置、緊急制動裝置等，確保操作人員的人身安全和設備的正常運行。門蓋聯鎖裝置可以防止在甩干機運行過程中門蓋意外打開，避免物料和水分濺出對操作人員造成傷害；過載保護裝置能夠在設備負載過大時自動切斷電源，保護電機和其他部件免受損壞；緊急制動裝置則可以在突發情況下迅速使轉鼓停止旋轉，確保設備和人員的安全。這些安全保護裝置的存在使得SRD甩干機在操作過程中具...

在線式甩干機是半導體芯片制造領域的關鍵設備。它無縫集成于芯片制造生產線，確保晶圓在各工序間的高效流轉與jingzhun處理。該甩干機采用先進的離心技術，高速旋轉的轉臺能產生強大且穩定的離心力，有效去除晶圓表面在清洗、刻蝕等工藝后殘留的液體，如化學溶液、顆粒雜質與水分，使晶圓達到極高的潔凈度與干燥度標準，滿足后續如光刻、鍍膜等工序對晶圓表面質量的嚴苛要求。其具備高度自動化與智能化控制系統，可依據不同的晶圓尺寸、材質及工藝要求，自動jingzhun調節轉速、甩干時間與氣流參數等，且能實時監測設備運行狀態，實現故障自動預警與診斷，確保生產過程的連續性與穩定性。同時，在線式晶圓甩干機擁有zhuoyue...

晶圓甩干機的定期保養： 一、深度清潔 拆卸部件清潔：將可拆解的部件，如甩干桶、導流板等取下，使用超聲波清洗設備進行深度清洗，去除長期積累的污垢。清洗后要用高純度氮氣吹干，并檢查部件有無損壞。 腔體quan 面清潔：用zhuan 用的清潔液對設備腔體進行quan 面擦拭，包括腔壁、底部等各個角落，去除殘留的化學物質和雜質。清潔完成后，用去離子水沖洗多次，確保無清潔液殘留，再用氮氣吹干。 二、性能檢測與校準 轉速檢測校準：使用專業的轉速測量儀器檢測甩干機的轉速，確保其在設備規定的轉速范圍內運行。若轉速偏差超出允許范圍，需對電機控制系統進行調整或維修。 平衡檢...

甩干機工作原理一、離心力作用原理晶圓甩干機的he心工作原理是離心力。當設備的轉子高速旋轉時，放置在轉子內的晶圓隨之做圓周運動。根據離心力公式2（其中為離心力，是液體質量，是角速度，是旋轉半徑），液體在強大離心力的作用下，克服與晶圓表面的附著力以及自身的表面張力，沿著轉子壁的切線方向被甩出。為了產生足夠的離心力，電機驅動轉子以較高的轉速旋轉。不同型號的晶圓甩干機轉速不同，但一般都能達到數千轉每分鐘甚至更高，以確保有效去除晶圓表面的各種液體。二、輔助干燥機制除了離心力甩干，許多晶圓甩干機還配備了通風系統。在甩干過程中，清潔、干燥的空氣被引入轉子內部。一方面，氣流可以幫助帶走被離心力甩出的液體；另一...

臥式晶圓甩干機在半導體制造中扮演著關鍵角色。其he xin優勢在于高效與精 zhun ，基于先進的離心力原理運作。電機驅動高速旋轉的轉鼓，使晶圓在水平方向穩定轉動，強大的離心力迅速將晶圓表面的液體甩出。這種臥式結構設計，有效降低了設備運行時的振動，確保晶圓在甩干過程中平穩無晃動，極大地減少了因震動可能導致的晶圓損傷。獨特的轉鼓設計，不僅提高了離心力的利用效率，還保證了甩干的均勻性。高精度的轉速控制系統，能根據不同的晶圓材質和工藝要求，精 zhun 調節轉速，實現比較好的甩干效果。無論是大規模生產的晶圓制造企業，還是專注于科研的實驗室，都能從臥式晶圓甩干機的高效精 zhun 中受益，為后續的芯片...

甩干機工作原理一、離心力作用原理晶圓甩干機的he心工作原理是離心力。當設備的轉子高速旋轉時，放置在轉子內的晶圓隨之做圓周運動。根據離心力公式2（其中為離心力，是液體質量，是角速度，是旋轉半徑），液體在強大離心力的作用下，克服與晶圓表面的附著力以及自身的表面張力，沿著轉子壁的切線方向被甩出。為了產生足夠的離心力，電機驅動轉子以較高的轉速旋轉。不同型號的晶圓甩干機轉速不同，但一般都能達到數千轉每分鐘甚至更高，以確保有效去除晶圓表面的各種液體。二、輔助干燥機制除了離心力甩干，許多晶圓甩干機還配備了通風系統。在甩干過程中，清潔、干燥的空氣被引入轉子內部。一方面，氣流可以幫助帶走被離心力甩出的液體；另一...