晶圓甩干機的結構組成: 旋轉機構:包括電機、轉軸、轉子等部件,電機提供動力,通過轉軸帶動轉子高速旋轉,轉子用于固定和承載晶圓,確保晶圓在旋轉過程中保持穩定。 腔室:是晶圓甩干機的工作空間,通常由不銹鋼或其他耐腐蝕、耐磨損的材料制成,腔室的密封性...
立式晶圓甩干機主要基于離心力原理實現晶圓的干燥。當晶圓被放置在高速旋轉的轉臺或轉籃上時,隨著轉速的迅速提升,晶圓表面殘留的液體(如清洗液、刻蝕液等)在強大離心力的作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小與轉臺的轉速以及晶圓到旋轉中心的距離密切相關,根據公式2(其中為...
晶圓甩干機在納米技術研究領域的應用 一、納米材料制備:在納米材料的制備過程中,如納米薄膜的生長、納米顆粒的合成等,常常需要使用到化學溶液法或濕化學工藝。晶圓晶圓甩干機可用于去除制備過程中殘留在基底或反應容器表面的液體,為納米材料的生長和形成提供良好的...