真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器,主要應用于高真空環境中的設備和系統的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進行壓力測量。常見的真空計包括熱導式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細壓力計等。熱導式真空計通過測量氣體傳熱的方式來測量壓力,熱陰極離子化真空計則利用氣體分子的離子化電流來測量壓力,而毛細壓力計則利用毛細管的表面張力和氣體壓力之間的關系來測量壓力。真空計在科學研究、電子制造、航空航天等領域都有較廣的應用。如果懷疑電容真空計出現故障,應及時進行檢修或更換。上海金屬電容薄膜真空計設備供應商真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以...
電容薄膜真空計:屬彈性元件真空計,其結構和電路原理是一彈性薄膜將規管真空室分為兩個小室,即參考壓強室和測量室。測量低壓強(P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應改變,通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應壓強值。電容薄膜真空計可直接測量氣體或蒸氣的壓強,測量值與氣體種類無關、結構牢固、可經受烘烤,如對不同壓強范圍采用不同規頭,可得到較高精度。它可用于高純氣體監測、低真空精密測量和壓強控制,也可用作低真空測量的副標準。皮拉尼真空計如何校準?河南皮拉尼真空計公司 安裝步...
金屬薄膜真空計性能特點高靈敏度:金屬薄膜真空計通常具有較高的靈敏度,能夠準確測量微小的壓力變化。寬測量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質和厚度,但金屬薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環境。穩定性好:在適當的維護下,金屬薄膜真空計具有良好的穩定性,能夠長時間保持測量精度。抗污染能力強:相對于某些其他類型的真空計,金屬薄膜真空計對污染的敏感性較低,能夠在一定程度上抵抗污染物的干擾。選擇真空計時需要綜合考慮多個因素。天津高質量真空計生產企業真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電...
金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構成。當真空度發生變化時,薄膜電容會發生相應的變化,從而導致電容的大小變化。電子測量電路負責測量這個電容的變化,并將之轉換為電信號輸出。具體來說,施加到電容薄膜上的壓力變化會導致膜片間距離變化,進而引起電容的變化。通過測量電容的變化,并將其轉換為電流或電壓的變化,就可以作為輸出的信號來測量真空度。高精度:金屬電容薄膜真空計的測量精度較高,部分產品的精度可達0.01%,可以滿足各種精度要求的實驗和生產需求。高靈敏度:由于金屬薄膜的厚度只有幾個納米,因此該真空計能夠對微小的壓力變化做出反應,具有高靈敏度。長壽命:金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性,使得金屬電容薄...
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、穩定性好。缺點:成本較高。應用:高精度真空測量。皮拉尼真空計的主要結構包括哪些部分?江蘇...
真空技術在生活中有著廣泛的應用,它極大地改善了我們的生活質量,提高了生產效率,隨著科技的進步和創新,真空技術的應用領域還將不斷拓展和深化,并在多個領域發揮著不可替代的作用。醫療器械與醫療環境真空包裝醫療器械:注射器、輸液袋等醫療器械需要在無菌條件下使用,通過真空包裝可以避免外界細菌的污染,確保使用時的安全性。醫用真空負壓機:在醫療環境中,醫用真空負壓機通過真空泵抽吸,使系統管路產生醫用負壓,用于傷口護理、手術室和隔離病房的潔凈維護、液體輸送以及實驗室應用等。電力與能源真空斷路器:電力系統中常見的一種開關裝置,用于在電流過大或故障發生時切斷電路。其基本原理是利用真空環境中的高絕緣性,避免電弧的形...
真空計是用于測量真空系統中壓力的儀器,具有多種特點,使其在不同應用中表現出色。以下是真空計的主要特點:1. 寬量程適用:真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精度精確測量:現代真空計具有高精度,能提供準確的真空度測量。高分辨率:能夠檢測到微小的壓力變化。3. 快速響應實時監測:真空計對壓力變化反應迅速,適合需要實時監測的應用。動態測量:在快速變化的環境中,真空計能提供穩定的測量結果。4. 環境適應性耐高溫:部分真空計能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環境,選擇耐腐蝕材料制成的真空計...
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、穩定性好。缺點:成本較高。應用:高精度真空測量。皮拉尼真空計在哪些領域有應用?河北高精度...
熱傳導真空計:利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數,故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴大測量范圍。不過,熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關,而且易受熱絲表面污染、環境溫度等因素影響,故準確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計:利用在真空中轉動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發生運動衰減的現象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉子真空...
3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。(1)熱陰極電離真空計原理:利用熱陰極發射電子電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr。優點:精度高、測量范圍廣。缺點:熱陰極易損壞,需要較高維護。應用:高真空和超高真空系統。(2)冷陰極電離真空計原理:利用冷陰極放電電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?12 Torr 到 10?3 Torr。優點:無需熱陰極,壽命長。缺點:啟動時間較長,穩定性稍差。應用:高真空和超高真空系統。電離真空計的校準的注意事項有哪些?重慶金屬電容薄膜真空計生產廠家真空測量...
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發明。皮拉尼曾在從事真空燈行業的西門子和哈爾斯克公司工作,當時需要高真空環境來制造燈絲,而生產環境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數,...
辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計的影響?無錫皮拉尼真空計生產廠家 常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓...
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發明。皮拉尼曾在從事真空燈行業的西門子和哈爾斯克公司工作,當時需要高真空環境來制造燈絲,而生產環境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數,...
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。主要特點耐高溫:陶瓷材料能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環境。絕緣性能:良好的電絕緣性,適合高電壓環境。高精度:提供精確的真空度測量。陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導或壓力效應來確定真空度,常見類型包括:熱電偶真空計:利用氣體熱傳導變化測量壓力。皮拉尼真空計:基于氣體熱傳導與壓力的關系。電容式真空計:通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應用領域電容真空計通常適用于中低真空范圍的測量,如從大氣壓到幾千帕甚至更低。河北電容...
安裝步驟準備工作:確保安裝區域清潔,準備好所需工具和材料。安裝真空計:將真空計對準安裝位置,確保密封面平整。按說明書安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固。連接管路與電氣:連接真空管路,確保密封良好。按標記重新連接電氣線路。檢查與測試:檢查所有連接是否牢固,密封是否良好。進行初步測試,確保真空計正常工作。注意事項安全操作:確保系統斷電和泄壓后再操作。佩戴防護裝備,如手套和護目鏡。避免污染:保持工作區域清潔,避免灰塵和雜質進入系統。正確使用工具:使用合適工具,避免損壞真空計和連接部件。遵循說明書:嚴格按說明書操作,確保正確安裝和拆卸。定期維護:定期檢查和校準真空計,確保其長期穩定運行。總結真空計的拆...
選擇適合的真空計對確保測量精度和系統穩定運行至關重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據應用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選擇滿足精度要求的真空計,高精度應用需選擇高精度型號。分辨率:確保分辨率足夠高,能檢測到微小壓力變化。3. 響應時間快速響應:對壓力變化敏感的應用需選擇響應時間短的真空計。穩定性:在快速變化環境中,選擇穩定性好的真空計。4. 環境適應性溫度范圍:確保真空計能在工作溫度范圍內正常運行。耐腐蝕性:在腐蝕性氣體環境中,選擇耐腐蝕材料制成的真空計。...
3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。(1)熱陰極電離真空計原理:利用熱陰極發射電子電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr。優點:精度高、測量范圍廣。缺點:熱陰極易損壞,需要較高維護。應用:高真空和超高真空系統。(2)冷陰極電離真空計原理:利用冷陰極放電電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?12 Torr 到 10?3 Torr。優點:無需熱陰極,壽命長。缺點:啟動時間較長,穩定性稍差。應用:高真空和超高真空系統。真空計的適用壓力范圍是?南京高質量真空計供應商真空計的工作原理基于氣體分...
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導:金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子傳導。壓力變化:氣體壓力越高,分子越多,熱傳導越強,金屬絲溫度下降。電阻變化:金屬絲溫度變化導致電阻變化,通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程:適用于低真空到中真空范圍(通常為10^-1 Pa到10^5 Pa)。快速響應:對壓力變化反應迅速。結構簡單:易于制造和維護。成本較低:相比其他真空計,價格較為經濟。真空計的讀數通常是不變的...
應用領域工業真空系統:用于監測真空泵和真空腔室的壓力。實驗室研究:用于各種真空實驗。真空鍍膜:確保鍍膜過程在所需真空度下進行。食品包裝:用于真空包裝機的壓力監測。選型與使用量程選擇:根據測量需求選擇合適的量程。環境適應性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護:正確安裝并定期校準和維護。常見問題零點漂移:定期校準以減少誤差。污染影響:保持傳感器清潔,避免污染。溫度影響:注意環境溫度變化對測量的影響。總結皮拉尼真空計以其寬量程、快速響應和低成本等優點,在多個領域有廣泛應用。正確選型和使用能確保其長期穩定運行。電離真空計的校準的注意事項有哪些?廣東mems真空計公司金屬薄膜真空計性能特點高靈敏度:金...
由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環真空泵、往復式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干...
(1)利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態或動力學效應來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規。a)皮拉尼電阻規利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發生變化時,熱絲的熱傳導性能會受到影響,進而導致電阻發生變化。通過測量電阻的變化,可以推算出真空度的數值。皮拉尼電阻規具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b)熱電偶規利用熱電效應進行真空度測量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢也會相應改變,從而提供關于真空度的信息。熱電偶規具有結構簡單、操作便捷等特點。直空計使用過程中需要注意的事項?蘇...
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等,這類真空計所測量的物理參數與氣體成分無關,測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下,直接進行測量是極其困難的。相對真空計:通過測量與壓強有關的物理量,并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等,它的特點是測量的準確度略差,而且和氣體的種類有關。在實際生產中,除真空校準外,大都使用相對真空計。真空計...
選擇適合的真空計對確保測量精度和系統穩定運行至關重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據應用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選擇滿足精度要求的真空計,高精度應用需選擇高精度型號。分辨率:確保分辨率足夠高,能檢測到微小壓力變化。3. 響應時間快速響應:對壓力變化敏感的應用需選擇響應時間短的真空計。穩定性:在快速變化環境中,選擇穩定性好的真空計。4. 環境適應性溫度范圍:確保真空計能在工作溫度范圍內正常運行。耐腐蝕性:在腐蝕性氣體環境中,選擇耐腐蝕材料制成的真空計。...
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算,必須進行校準才能。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管(或規頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多,如熱傳導真空計和電離真空計等。皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統中的壓力。杭州mems真空計皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的...
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標準大氣壓,壓強的單位之一。當溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產生的壓強為1標準大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標準大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg...
真空計的主要特點:1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如,有些真空計的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時能夠方便地更換新的傳感器,從而延長真空計的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發展,真空計正朝著小型化和集成化的方向發展。小型化的真空計更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計則能夠與其他設備或系統進行集成,實現更加智能化的監測和控制。然而,真空計也存在一些局限性,如某些類型的真空計易被污染、測量范圍相對較窄等。因此,在選擇和使...
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。直空計使用過程中需要注意的事項?浙江陶瓷真空計生產廠家陶...
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。選型與使用量程選擇:根據測量需求選擇合適的量程。環境適應性:考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護:正確安裝并定期校準和維護。常見問題零點漂移:定期校準以減少誤差。污染影響:保持傳感器清潔,避免污染。溫度影響:注意環境溫度變化對測量的影響。總結陶瓷真空計憑借其耐高溫、耐腐蝕和高精度等特性,在多個領域有廣泛應用。正確選型和使用能確保其長期穩定運行。皮拉尼真空計的測量范圍取決于所使用的具體型號和規格。河北高純度真空計供應商2. 熱傳導真空計熱傳導...
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算,必須進行校準才能。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管(或規頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多,如熱傳導真空計和電離真空計等。電容真空計通過測量電容變化來推算真空度,而熱傳導式真空計則利用氣體分子的熱傳導性質來測量。河南mems電容真空計設備公司真空計是用于測量真空系統中壓力的儀器,...
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。根據測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當真空壓力改變時,燈絲的溫度會發生變化,從而導致燈絲的電阻值發生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量,并轉換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當真空壓力變化時,燈絲的溫度和電阻值也會相應變化。通過測量通過燈絲的電流變化,可以間接測量真空壓力。電容真空計是一種利用電容變化來測...