磁控濺射,即受磁場控制的濺射,是一種高速低溫的濺射技術。它利用磁場束縛和延長電子的運動路徑,改變電子的運動方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。在高真空的條件下充入適量的氬氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁)之間施加直流電壓,在鍍膜室內產生...
膜體材料的釋放:在真空環境中,膜體材料通過加熱蒸發或濺射的方式被釋放出來。蒸發過程是通過加熱蒸發源,使膜體材料蒸發成氣態分子;濺射過程則是利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。分子的沉積:蒸發或濺射出的膜體分子在真空室內自由飛行,并終沉積...
精確的厚度控制:真空鍍膜設備可以通過精確控制鍍膜時間、蒸發速率、氣體流量等參數,實現對膜層厚度的精確控制,能夠滿足不同應用場景對膜層厚度的嚴格要求。比如在電子芯片制造中,需要在芯片表面鍍上厚度精確的金屬膜或介質膜來實現特定的電學性能,真空鍍膜設備可以將膜層厚度...
真空系統操作啟動真空泵時,要按照規定的順序進行操作。一般先啟動前級泵,待前級泵達到一定的抽氣能力后,再啟動主泵。在抽氣過程中,要密切關注真空度的變化,通過真空計等儀表實時監測真空度。如果真空度上升緩慢或無法達到設定值,應立即停止抽氣,檢查設備是否存在泄漏或其他...
汽車行業汽車燈具鍍膜案例:汽車大燈制造商如歐司朗、海拉等會使用真空鍍膜設備對大燈燈罩進行鍍膜。通過 PVD 的濺射鍍膜技術,在燈罩表面沉積二氧化硅(SiO?)或氧化鋁(Al?O?)等材料的薄膜,這些薄膜可以提高燈罩的抗劃傷能力、抗紫外線能力和耐候性,防止燈...
適用基體多樣金屬基體:各種金屬制品,如汽車零部件、五金工具、電子產品外殼等,都可以通過真空鍍膜來提高其表面性能和裝飾效果。例如汽車輪轂通過真空鍍膜可以獲得美觀的外觀和良好的耐腐蝕性。 塑料基體:對于塑料材質的產品,如手機外殼、家電面板等,真空鍍膜可以...
真空鍍膜設備種類繁多,根據鍍膜工藝和要求的不同,可以分為多種類型。以下是一些常見的真空鍍膜設備及其特點:蒸發鍍膜設備:原理:通過加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并沉降在基片表面形成薄膜。應用:廣泛應用于裝飾性鍍膜,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、...
鍍膜材料的汽化或離化: 根據鍍膜工藝的不同,主要有以下兩種方式使鍍膜材料轉化為可沉積的粒子: 蒸發鍍膜(物理的氣相沉積 PVD 的一種)原理:通過加熱鍍膜材料(如金屬、合金、氧化物等),使其從固態直接汽化或升華為氣態原子 / 分子。 加熱...
真空鍍膜設備是在真空環境下,通過物理或化學方法將金屬、合金、半導體或化合物等材料沉積在基體表面形成薄膜的設備,膜層性能優越: 高純度:在真空環境下進行鍍膜,可有效減少雜質氣體的混入,能獲得高純度的膜層。例如在光學鍍膜中,高純度的膜層可以減少光的散射和...
真空鍍膜機市場的發展趨勢隨著新能源汽車、半導體、消費電子等行業的快速發展,這些領域對鍍膜技術的要求不斷提高,推動了真空鍍膜市場的不斷擴大。全球真空鍍膜設備市場正迎來前所未有的發展機遇,預計未來幾年將以穩定的年復合增長率持續擴大。技術創新:納米技術、激光技術等先...
真空鍍膜設備在多個領域有多樣應用,包括但不限于:汽車、摩托車燈具:通過蒸鍍金屬薄膜,獲得光亮、美觀的外觀。工藝美術、裝潢裝飾:用于各種裝飾品的表面金屬化處理。手機、電子產品:在手機外殼、中框及配件上采用真空鍍膜技術,增強耐磨硬度和顏色多樣性。模具、刀具:通過P...
化學氣相沉積(CVD)鍍膜設備等離子增強化學氣相沉積(PECVD):利用等離子體反應氣體,實現低溫沉積,適用于半導體、柔性電子領域。金屬有機化學氣相沉積(MOCVD):通過金屬有機物熱解沉積薄膜,廣泛應用于化合物半導體(如GaN、InP)。分子束外延(MBE)...
鍍膜過程特點氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)方式并存PVD 特點:蒸發鍍膜:在 PVD 蒸發鍍膜過程中,材料的蒸發源是關鍵。常見的有電阻加熱蒸發源和電子束加熱蒸發源。電阻加熱蒸發源結構簡單,成本較低,通過電流加熱使鍍膜材料蒸發。例如,在鍍金屬薄膜時,...
汽車行業汽車燈具鍍膜案例:汽車大燈制造商如歐司朗、海拉等會使用真空鍍膜設備對大燈燈罩進行鍍膜。通過 PVD 的濺射鍍膜技術,在燈罩表面沉積二氧化硅(SiO?)或氧化鋁(Al?O?)等材料的薄膜,這些薄膜可以提高燈罩的抗劃傷能力、抗紫外線能力和耐候性,防止燈...
電子束蒸發鍍膜設備:原理:利用電子束直接加熱靶材,使其蒸發并沉積在基片上。應用:主要用于鍍制多層精密光學膜,如AR膜、長波通、短波通等,廣泛應用于玻璃蓋板、攝像頭、眼鏡片、光學鏡頭等產品。離子鍍真空鍍膜設備:原理:通過離子轟擊靶材或基片,促進靶材物質的濺射和基...
工具與機械行業 切削工具涂層 應用場景:鉆頭、銑刀的TiN、TiAlN硬質涂層。 技術需求:高硬度、低摩擦的薄膜,需多弧離子鍍或磁控濺射。 模具與零部件 應用場景:注塑模具的DLC(類金剛石)涂層、汽車零部件的耐磨涂層。 ...
真空鍍膜設備是一種在真空環境下,通過物理或化學方法將材料(如金屬、化合物等)沉積到基材表面,形成薄膜的設備。其原理是利用真空環境消除氣體分子干擾,使鍍膜材料以原子或分子狀態均勻沉積,從而獲得高純度、高性能的薄膜。主要組成部分真空腔體:提供鍍膜所需的真空環境,通...
適用基體多樣金屬基體:各種金屬制品,如汽車零部件、五金工具、電子產品外殼等,都可以通過真空鍍膜來提高其表面性能和裝飾效果。例如汽車輪轂通過真空鍍膜可以獲得美觀的外觀和良好的耐腐蝕性。 塑料基體:對于塑料材質的產品,如手機外殼、家電面板等,真空鍍膜可以...
膜層性能優異光學性能好:通過真空鍍膜技術可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學儀器、太陽能電池等領域有著廣泛的應用。例如,在相機鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
膜層質量好厚度均勻:在真空環境中,鍍膜材料的原子或分子能夠均勻地分布在基底表面,從而獲得厚度均勻的薄膜。例如,在光學鏡片鍍膜中,均勻的膜層厚度可以保證鏡片在不同區域的光學性能一致。純度高:真空鍍膜設備內部的高真空環境有效減少了雜質氣體的存在,降低了鍍膜過程中雜...
真空系統操作啟動真空泵時,要按照規定的順序進行操作。一般先啟動前級泵,待前級泵達到一定的抽氣能力后,再啟動主泵。在抽氣過程中,要密切關注真空度的變化,通過真空計等儀表實時監測真空度。如果真空度上升緩慢或無法達到設定值,應立即停止抽氣,檢查設備是否存在泄漏或其他...
真空鍍膜機涵蓋多種技術,如真空電阻加熱蒸發、電子槍加熱蒸發、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積、離子束濺射等。這些技術可以根據不同的需求和材料特性,在各種領域中發揮重要作用。蒸發鍍膜機:通過加熱靶材使其表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并沉降在...
鍍膜材料的汽化或離化: 根據鍍膜工藝的不同,主要有以下兩種方式使鍍膜材料轉化為可沉積的粒子: 蒸發鍍膜(物理的氣相沉積 PVD 的一種)原理:通過加熱鍍膜材料(如金屬、合金、氧化物等),使其從固態直接汽化或升華為氣態原子 / 分子。 加熱...
設備檢查在啟動真空鍍膜機之前,操作人員必須對設備進行檢查。查看真空泵的油位是否處于正常范圍,油質有無污染或乳化現象。若油位過低,會影響真空泵的抽氣性能,導致真空度無法達到要求;而油質變差則可能損壞真空泵的內部零件。此外,還要檢查真空管道是否有泄漏,可通過涂抹肥...
磁控濺射,即受磁場控制的濺射,是一種高速低溫的濺射技術。它利用磁場束縛和延長電子的運動路徑,改變電子的運動方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。在高真空的條件下充入適量的氬氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁)之間施加直流電壓,在鍍膜室內產生...
電子行業半導體器件制造案例:英特爾、臺積電等半導體制造企業在芯片制造過程中大量使用真空鍍膜設備。在芯片的電極形成過程中,通過 PVD 的濺射鍍膜技術,以銅(Cu)或鋁(Al)為靶材,在硅片(Si)基底上濺射沉積金屬薄膜作為電極。同時,利用 CVD 技術,如等離...
真空鍍膜機的操作與維護真空鍍膜機的操作需要嚴格按照設備說明書進行,以確保鍍膜質量和設備安全。一般來說,操作過程包括設備檢查、送電、抽真空、鍍膜及冷卻等步驟。同時,設備的維護保養也至關重要,這不僅可以延長設備的使用壽命,還可以確保鍍膜質量的穩定性。 定...
光學與光電子行業: 光學鏡頭與濾光片 應用場景:相機鏡頭增透膜、激光器高反射膜、分光鏡濾光膜。 技術需求:精確控制膜層厚度和折射率,需光學鍍膜設備(如離子輔助沉積)。 太陽能電池 應用場景:晶體硅電池的氮化硅減反射膜、異質結電...
高精度的薄膜控制:真空鍍膜設備能夠精確控制薄膜的各種參數。在厚度控制方面,通過監測系統(如石英晶體微天平監測蒸發鍍膜厚度、光學監測儀用于濺射鍍膜等)實時監控薄膜厚度。同時,還可以控制鍍膜的速率,例如在蒸發鍍膜中,通過調節加熱功率控制材料的蒸發速率,在濺射鍍膜中...
真空鍍膜機涵蓋多種技術,如真空電阻加熱蒸發、電子槍加熱蒸發、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積、離子束濺射等。這些技術可以根據不同的需求和材料特性,在各種領域中發揮重要作用。蒸發鍍膜機:通過加熱靶材使其表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并沉降在...