工藝靈活性與定制化能力強 多材料兼容性:支持金屬(鋁、銅)、陶瓷(氮化硅、氧化鋁)、化合物(ITO、ZnO)等多種材料鍍膜,滿足不同行業需求。 膜層厚度可控:通過調節工藝參數(如功率、時間、氣壓),膜層厚度精度可達±1 nm,適用于精密光學、半...
真空腔室材質:不銹鋼(耐腐蝕、易清潔),內壁拋光以減少薄膜沉積死角。配置: 靶材組件:多個電弧靶(可旋轉或固定),靶材材質根據膜層需求選擇(如鈦、鉻、鋯、不銹鋼等)。 工件架:可旋轉或行星運動,確保工件表面均勻受鍍(公轉 + 自轉)。 進...
提高導電性和導熱性:對于一些需要良好導電或導熱性能的材料,鍍膜機可以在其表面鍍上金屬膜層,從而提高其導電性和導熱性能。這一功能在電子器件和散熱器等領域有著廣泛應用。增加美觀性:鍍膜處理還可以使產品表面呈現出金屬質感或豐富的顏色效果,提升產品的觀賞性和裝飾效果。...
電子領域: 半導體器件制造在半導體芯片制造過程中,鍍膜機用于沉積各種薄膜。例如,沉積金屬薄膜作為電極,如鋁、銅等金屬薄膜可以通過氣相沉積(PVD)或化學氣相沉積(CVD)的方式在硅片等半導體襯底上形成。還會沉積絕緣薄膜,如二氧化硅薄膜,用于隔離不同的...
精確控制膜層:現代鍍膜機配備了先進的控制系統,可以精確控制鍍膜的厚度、成分、均勻性等參數,確保每一批產品的鍍膜質量穩定一致。以半導體芯片制造為例,需要精確控制鍍膜厚度在納米級別,鍍膜機能夠滿足這種高精度的要求,保證芯片的性能和可靠性。適應多種材料:鍍膜機可以在...
電子行業半導體器件制造案例:英特爾、臺積電等半導體制造企業在芯片制造過程中大量使用真空鍍膜設備。在芯片的電極形成過程中,通過 PVD 的濺射鍍膜技術,以銅(Cu)或鋁(Al)為靶材,在硅片(Si)基底上濺射沉積金屬薄膜作為電極。同時,利用 CVD 技術,如等離...
膜層性能優異光學性能好:通過真空鍍膜技術可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學儀器、太陽能電池等領域有著廣泛的應用。例如,在相機鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
五金裝飾行業: 五金件表面鍍膜案例:在五金裝飾領域,真空鍍膜設備用于對各種五金制品進行裝飾和防護鍍膜。例如,對門把手、水龍頭等進行鍍膜。通過 PVD 的蒸發鍍膜或濺射鍍膜技術,在五金件表面鍍上各種顏色的金屬膜或陶瓷膜。如鍍氮化鈦(TiN)可以得到金黃...
鍍膜材料的汽化或離化: 根據鍍膜工藝的不同,主要有以下兩種方式使鍍膜材料轉化為可沉積的粒子: 蒸發鍍膜(物理的氣相沉積 PVD 的一種)原理:通過加熱鍍膜材料(如金屬、合金、氧化物等),使其從固態直接汽化或升華為氣態原子 / 分子。 加熱...
化學氣相沉積(CVD)原理:利用氣態的化學物質在高溫、催化劑等條件下發生化學反應,生成固態的薄膜物質,并沉積在基底表面。反應過程中,氣態反應物通過擴散或氣流輸送到基底表面,在表面發生吸附、反應和脫附等過程,終形成薄膜。反應類型:常見的反應類型有熱分解反應、化學...
膜體材料的釋放:在真空環境中,膜體材料通過加熱蒸發或濺射的方式被釋放出來。蒸發過程是通過加熱蒸發源,使膜體材料蒸發成氣態分子;濺射過程則是利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。分子的沉積:蒸發或濺射出的膜體分子在真空室內自由飛行,并終沉積...
真空鍍膜設備包括多種類型,如蒸發鍍膜機、濺射鍍膜機、離子鍍膜機等,它們的主要工作原理可以概括為以下幾個步驟:真空環境的創建:在真空室內創建高真空環境,以減少空氣分子對蒸發的膜體分子的碰撞,使結晶體細密光亮。膜體材料的釋放:通過加熱蒸發或濺射的方式,將膜體材料(...
電子束蒸發鍍膜設備:原理:利用電子束直接加熱靶材,使其蒸發并沉積在基片上。應用:主要用于鍍制多層精密光學膜,如AR膜、長波通、短波通等,廣泛應用于玻璃蓋板、攝像頭、眼鏡片、光學鏡頭等產品。離子鍍真空鍍膜設備:原理:通過離子轟擊靶材或基片,促進靶材物質的濺射和基...
精確的厚度控制:真空鍍膜設備可以通過精確控制鍍膜時間、蒸發速率、氣體流量等參數,實現對膜層厚度的精確控制,能夠滿足不同應用場景對膜層厚度的嚴格要求。比如在電子芯片制造中,需要在芯片表面鍍上厚度精確的金屬膜或介質膜來實現特定的電學性能,真空鍍膜設備可以將膜層厚度...
化學氣相沉積(CVD)設備: 常壓CVD(APCVD):在大氣壓下進行化學氣相沉積,可以適用于大面積基材的鍍膜,如太陽能電池的減反射膜。 低壓CVD(LPCVD):在低壓環境下進行沉積,膜層的質量較高,適用于半導體器件的制造。 等離子增強...
技術優勢高純度:真空環境避免雜質摻入。均勻性:精確控制膜厚和成分。附著力強:離子轟擊可改善薄膜與基材的結合。多功能性:可制備金屬、氧化物、氮化物等多種薄膜。常見類型蒸發鍍膜機:適用于金屬、合金薄膜。磁控濺射鍍膜機:適用于高硬度、耐磨損涂層。離子鍍膜機:結合...
真空系統操作啟動真空泵時,要按照規定的順序進行操作。一般先啟動前級泵,待前級泵達到一定的抽氣能力后,再啟動主泵。在抽氣過程中,要密切關注真空度的變化,通過真空計等儀表實時監測真空度。如果真空度上升緩慢或無法達到設定值,應立即停止抽氣,檢查設備是否存在泄漏或其他...
設備檢查在啟動真空鍍膜機之前,操作人員必須對設備進行檢查。查看真空泵的油位是否處于正常范圍,油質有無污染或乳化現象。若油位過低,會影響真空泵的抽氣性能,導致真空度無法達到要求;而油質變差則可能損壞真空泵的內部零件。此外,還要檢查真空管道是否有泄漏,可通過涂抹肥...
膜層性能優異光學性能好:通過真空鍍膜技術可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學儀器、太陽能電池等領域有著廣泛的應用。例如,在相機鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
汽車行業汽車燈具鍍膜案例:汽車大燈制造商如歐司朗、海拉等會使用真空鍍膜設備對大燈燈罩進行鍍膜。通過 PVD 的濺射鍍膜技術,在燈罩表面沉積二氧化硅(SiO?)或氧化鋁(Al?O?)等材料的薄膜,這些薄膜可以提高燈罩的抗劃傷能力、抗紫外線能力和耐候性,防止燈...
電子信息行業: 半導體與集成電路: 應用場景:芯片制造中的金屬互連層(如鋁、銅)、阻擋層(如氮化鈦)及鈍化保護層。 技術需求:高純度、低缺陷的薄膜沉積,需采用PVD(如磁控濺射)或ALD技術,確保導電性和穩定性。 平板顯示與觸摸屏:...
精確的厚度控制:真空鍍膜設備可以通過精確控制鍍膜時間、蒸發速率、氣體流量等參數,實現對膜層厚度的精確控制,能夠滿足不同應用場景對膜層厚度的嚴格要求。比如在電子芯片制造中,需要在芯片表面鍍上厚度精確的金屬膜或介質膜來實現特定的電學性能,真空鍍膜設備可以將膜層厚度...
適用基體多樣金屬基體:各種金屬制品,如汽車零部件、五金工具、電子產品外殼等,都可以通過真空鍍膜來提高其表面性能和裝飾效果。例如汽車輪轂通過真空鍍膜可以獲得美觀的外觀和良好的耐腐蝕性。 塑料基體:對于塑料材質的產品,如手機外殼、家電面板等,真空鍍膜可以...
膜層性能優異光學性能好:通過真空鍍膜技術可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學儀器、太陽能電池等領域有著廣泛的應用。例如,在相機鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
真空系統操作啟動真空泵時,要按順序操作,先啟動前級泵,再啟動主泵。抽氣過程中,通過真空計監測真空度,若真空度上升緩慢或不達標,應立即停止抽氣,檢查設備是否泄漏或存在其他故障。鍍膜時,要保持真空環境穩定,減少人員在設備周圍走動,防止氣流干擾。鍍膜參數設置根據待鍍...
真空鍍膜設備種類繁多,根據鍍膜工藝和要求的不同,可以分為多種類型。以下是一些常見的真空鍍膜設備及其特點:蒸發鍍膜設備:原理:通過加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并沉降在基片表面形成薄膜。應用:廣泛應用于裝飾性鍍膜,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、...
環保與節能低污染:與一些傳統的鍍膜工藝相比,真空鍍膜設備在鍍膜過程中不使用大量的化學溶劑和電鍍液,減少了廢水、廢氣和廢渣的排放,對環境的污染較小。例如傳統的電鍍工藝會產生含有重金屬離子的廢水,處理難度大且成本高,而真空鍍膜則基本不存在此類問題。節能高效:真空鍍...
真空鍍膜設備是一種通過在真空環境中使鍍膜材料汽化或離化,然后沉積到工件表面形成薄膜的設備,其工作原理涉及真空環境營造、鍍膜材料汽化或離化、粒子遷移以及薄膜沉積等關鍵環節。 真空環境的營造: 目的:減少空氣中氣體分子(如氧氣、氮氣)對鍍膜過程的干...
鍍膜材料的汽化或離化: 根據鍍膜工藝的不同,主要有以下兩種方式使鍍膜材料轉化為可沉積的粒子: 蒸發鍍膜(物理的氣相沉積 PVD 的一種)原理:通過加熱鍍膜材料(如金屬、合金、氧化物等),使其從固態直接汽化或升華為氣態原子 / 分子。 加熱...
膜層質量好厚度均勻:在真空環境中,鍍膜材料的原子或分子能夠均勻地分布在基底表面,從而獲得厚度均勻的薄膜。例如,在光學鏡片鍍膜中,均勻的膜層厚度可以保證鏡片在不同區域的光學性能一致。純度高:真空鍍膜設備內部的高真空環境有效減少了雜質氣體的存在,降低了鍍膜過程中雜...