光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來的技術，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，因此可以大幅提高測量速度。基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高，因此迅速成為工業測量的熱門傳感器，大量應用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領域。本文介紹了光譜共焦技術的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用。同時，對共焦技術在未來精密測量的進一步應用進行了探討，并展望了其發展前景。光譜共焦技術可以解決以往傳感器和測量系...

我們智能能設備的進化日新月異，人們的追求越來越個性化。愈發復雜的形狀意味著，對點膠設備提出更高的要求，需要應對更高的點膠精度!更靈活的點膠角度!目前手機中板和屏幕模組貼合時，需要在中板上面點一圈透明的UV膠，這種膠由于白色反光的原因，只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量，由于光譜共焦傳感器的復合光特性，可以完美的高速測量膠水的高度和寬度。由于膠水自身特性：液體，成型特性：帶有弧形，材料特性：透明或半透明。光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設計是一項重要的研究內容。國內光譜共焦應用光譜共焦成像技術比激光成像具有更高的精度,而且能夠降低功耗和成本。但現有的光譜共焦檢測設備大都是靜態檢測，檢測效率...

因為共焦測量方法具有高精度的三維成像能力，所以它已被用于表面輪廓和三維結構的精密測量。本文分析了白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內表面圓周輪廓測量校準模型，并基于白光共焦光譜和精密旋轉軸系，開發了透明靶丸內、外表面圓周輪廓的納米級精度測量系統和靶丸圓心精密位置確定方法。使用白光共焦光譜測量靶丸殼層內表面輪廓數據時，其測量精度受到多個因素的影響，如白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率和靶丸內外表面輪廓的直接測量數據。該技術可以采集樣品不同深度處的光譜信息進行測量。光譜共焦性價比高光譜共焦傳感器使用復色光作為光源，可以達到微米級精度，并具備對漫反射或鏡反射被測物體的測...

光譜共焦傳感器在數碼相機中的應用包括相位測距，可大幅提高相機的對焦精度和成像質量，并通過檢測相機的微小振動，實現圖像的防抖和抗震功能。同時，光譜共焦傳感器還可用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現對硬盤存儲數據的穩定性和可靠性的實時監控。在硬盤的生產過程中，光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結構件的位移、振動和形變測試。在3C電子行業中，光譜共焦傳感器的應用領域非常廣，可用于各種管控和檢測環節，在實現高精度和高可靠性的測量和檢測方面發揮著重要作用。光譜共焦技術可以在工業生產中發揮重要作用。新型光譜共焦按需定制光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、快速測量方式、實時性高、對...

光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、快速測量方式、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優勢，迅速成為工業測量的熱門傳感器，在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領域得到大量應用。本次測量場景使用的是創視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度， 30kHz的采樣速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。連續光譜位置測...

在容器玻璃生產過程中，圓度和壁厚是重要的質量特征，需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產品并返回到玻璃熔體中。為了實現快速的非接觸式測量，并確保不損壞瓶子，需要高處理速度。對于這種測量任務，光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統在兩個點上同步測量并通過EtherCAT接口實時輸出數據，厚度校準功能允許在傳感器的整個測量范圍內進行精確的厚度測量。此外，自動曝光控制可以實現對不同玻璃顏色的測量的穩定性。光譜共焦技術的發展將促進相關產業的發展。國內光譜共焦詳情光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌的高精度傳感器。在手機制造過程中，段差是一個重要的參數，它決定了手機鏡頭的質量和性能。...

光譜共焦傳感器使用復色光作為光源，可以實現微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外，光譜共焦位移傳感器還可以實現對透明物體的單向厚度測量，其光源和接收光鏡為同軸結構，避免光路遮擋，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內部結構測量。在測量透明物體的位移時，由于被測物體的上下兩個表面都會反射，傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的，可能會引起一定誤差。本文分析了平行平板位移測量誤差的來源和影響因素。光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設計是一項重要的研究內容。原裝光譜共焦應用這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭，它具有0.4436的圖像室內空間NA和0.991的...

在電化學領域，電極片的厚度是一個重要的參數，直接影響著電化學反應的效率和穩定性，我們將介紹光譜共焦位移傳感器對射測量電極片厚度的具體方法。首先，我們需要準備一塊待測電極片和光譜共焦位移傳感器。將電極片放置在測量平臺上，并調整傳感器的位置，使其與電極片表面保持垂直。接下來，通過軟件控制傳感器進行掃描，獲取電極片表面的光譜信息。光譜共焦位移傳感器可以實現納米級的分辨率，因此可以準確地測量電極片表面的高度變化。在獲取了電極片表面的光譜信息后，我們可以利用反射光譜的特性來計算電極片的厚度。通過分析反射光譜的強度和波長分布，我們可以得到電極片表面的高度信息。同時，還可以利用光譜共焦位移傳感器的對射測量功...

光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器，其測量精度可達到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器，它在偏移測量方面具有更加明顯的優勢。由于它的高精度特性，光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應用，如漫反射光和平面反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜和透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等。在偏移測量方面，光譜共焦傳感器的主要功能就是測量偏移。研究人員對光譜共焦傳感器的散射目鏡進行了分析，并制定了相應的構造來提高其各項特性；也有研究人員利用光譜共焦傳感器對飛機發動機電機轉子葉片空隙進行了高精度和高效率的測量。在平整度測量方面，研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測誤差，并...

光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學系統將多色白光聚焦到目標表面上來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。每個波長都有一定的偏差（特定距離）進行工廠校準。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。經過共焦孔徑從目標表面反射回來的光進入光譜儀進行檢測和處理。在整個傳感器的測量范圍內，實現了一個非常小的、恒定的光斑尺寸，通常小于10微米。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內壁面，以及測量窄孔、小間隙和空腔。光譜共焦技術有著較大的應用前景。點光譜共焦企業本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成在線測量方法，適用于一種特殊材料異型結構零件內曲面的...

本文通過對比測試方法，考核了基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測量曲線，二者低階輪廓整體相似性高，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對較低，只適合測量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線，發現兩種方法在模數低于100的功率譜范圍內測量結果一致性較好，但當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于共焦光譜檢測數據受多種因素影響，...

在操作高精度光譜共焦傳感器時，有一些重要的注意事項需要遵守。首先，需要確保設備處于穩定的環境中，避免外部振動或干擾對傳感器的影響。其次，在使用過程中要注意保持設備的清潔和維護，避免灰塵或污垢影響傳感器的準確性。另外，操作人員需要嚴格按照設備說明書中的操作步驟進行，避免誤操作導致設備損壞或數據錯誤。定期對設備進行校準和檢測，確保其性能和準確度符合要求。通過遵守這些注意事項，可以保證高精度光譜共焦傳感器的正常運行和準確性。光譜共焦技術的發展將促進相關產業的發展。點光譜共焦設備實際中，光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨特的光譜共焦測量原理，利用單探頭可以實現對玻璃等透明材料的單向精確厚度測量...

客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況，每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查，耗時太久。因此，客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準檢查所需的時間。現在，我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現已經通過測試和驗證。光譜共焦技術可以對生物和材料的物理、化學、生物學等多個方面進行分析。非接觸式光譜共焦常見問題光譜共焦傳感器可以用于數碼相機的相位測距，可大幅提高相機的對焦精度和成像質量。同時，還可以通過...

光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示，燈源發出光經過光纖，再通過超色差鏡片，超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上，產生一系列可見光聚焦點。這種可見光聚焦點是連續的，不重合的。當待測物放置檢測范圍內時，只有一種光波長能夠聚焦在待測物表層并反射面，依據激光光路的可逆回到光譜儀，產生波峰焊。全部別的波長也將失去焦點。運用單頻干涉儀的校準信息計算待測物體的部位，創建光譜峰處波長偏移的編號。該超色差鏡片通過提升，具備比較大的縱向色差，用以在徑向分離出來電子光學信號的光譜成份。因而，超...

光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現代技術，在工業 4.0 的高要求下，這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業 4.0 的世界中，傳感器必須進行高速測量并提供高精度結果，以確保可靠的質量保證。由于光學測量技術是非接觸式的，它們在生產和檢測過程中變得越來越重要，可以單獨應用于目標材料分開和表面特性。這是在“實時”生產過程中的一個主要優勢，尤其是當目標位于難以接近的區域時，觸覺測量技術正在發揮其極限。共焦色差測量技術提供突破性的技術，高精度和高速度，并且可以用于距離測量、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內的測量。測量過程是無磨損的、非接觸式的，并且實際上與表面特性無關。由于...

光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下，產生一系列連續而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內時，只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來，產生波峰信號。其他波長將失去對焦。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置，并創建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差，可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分，因此是傳感器的關鍵部件，其設計方案非常重要。光譜共焦技術可以對材料表面和內部進行非接觸式的檢測和分析。高精度光譜共焦源頭直供廠家采用...

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核。為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。在模數低于100的功率譜范圍內，兩種方法的測量結果一致性較好，當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這也反應了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級，同時，受環境振動、光譜儀...

光譜共焦傳感器可以用于數碼相機的相位測距，可大幅提高相機的對焦精度和成像質量。同時，還可以通過檢測相機的微小振動，實現圖像的防抖和抗震功能。光譜共焦傳感器可以用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現對硬盤存儲數據的穩定性和可靠性的實時監控。在硬盤的生產過程中，光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結構件的位移、振動和形變測試。光譜共焦傳感器在3C電子行業中的應用領域極其大量，可用于各種控制和檢測環節，實現高精度、高可靠性、高速的測量與檢測。光譜共焦技術在材料科學領域可以用于材料表面和內部的成像和分析。小型光譜共焦產品基本性能要求光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合。白色光源和光譜儀可以完成一...

光譜共焦傳感器是一種高精度位移傳感器，綜合了光學成像和光譜分析技術，廣泛應用于3C(計算機、通信和消費電子)電子行業。在智能手機中，光譜共焦傳感器可用于線性馬達的位移測量，通過實時監控和控制線性馬達的位移，可大幅提高智能手機的定位功能和相機的成像精度。同時，還可以測量手機屏幕的曲面角度和厚度等參數。在生產平板電腦過程中，光譜共焦傳感器還可用于各種移動結構部件的位移和振動檢測。通過對平板電腦內的各種移動機構、控制元件進行精密位移、振動、形變和應力等參數的測量，實現對其制造精度和運行狀態的實時監控。連續光譜位置測量方法可以實現光譜的位置測量。國產光譜共焦制作廠家在電化學領域，電極片的厚度是一個重要...

本文通過對比測試方法，考核了基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測量曲線，二者低階輪廓整體相似性高，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對較低，只適合測量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線，發現兩種方法在模數低于100的功率譜范圍內測量結果一致性較好，但當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于共焦光譜檢測數據受多種因素影響，...

背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光，得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率，同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光，得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率，同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術已經廣泛應用于醫學、材料分析、工業探測及計量等各種不同的領域之中。現有的光...

在實踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光，通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量。可以使傳感器完成對被測表面的精確掃描，實現納米級的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向對試劑瓶的壁厚進行測量,而且對瓶壁沒有壓力。可通過設計轉向反射鏡實現孔壁的結構檢測及凹槽深度的測盤。（創視智能已推出了90°側向出光版本探頭，可以直接進行深孔和凹槽的測量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度。光譜共焦技術...

本文通過對比測試方法，考核了基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測量曲線，二者低階輪廓整體相似性高，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對較低，只適合測量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線，發現兩種方法在模數低于100的功率譜范圍內測量結果一致性較好，但當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于共焦光譜檢測數據受多種因素影響，...

光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來的技術，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，因此可以大幅提高測量速度。基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高，因此迅速成為工業測量的熱門傳感器，大量應用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領域。本文介紹了光譜共焦技術的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用。同時，對共焦技術在未來精密測量的進一步應用進行了探討，并展望了其發展前景。光譜共焦位移傳感器可以實現對不同材料的...

光譜共焦位移傳感器在金屬內壁輪廓掃描測量中具有大量的應用，以下是幾種典型應用：尺寸測量利用光譜共焦位移傳感器可以精確地測量金屬內壁的尺寸，如直徑、圓度等。通過測量內壁不同位置的直徑，可以評估內壁的形變和扭曲程度，進而評估加工質量。表面形貌測量光譜共焦位移傳感器可以高精度地測量金屬內壁的表面形貌，如粗糙度、峰谷分布等。通過對表面形貌數據進行處理和分析，可以評估加工表面的質量，進而優化加工參數和提高加工效率。 光譜共焦技術可以實現對樣品的三維成像和分析。品牌光譜共焦的用途和特點光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來的技術，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，因此可以...

光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌和位移的先進傳感器技術。它能夠通過光譜共焦原理實現高精度的位移測量，廣泛應用于工業制造、科學研究和醫療診斷等領域。本文將介紹光譜共焦位移傳感器的工作原理、測試場景和解決方案。光譜共焦位移傳感器的工作原理是基于光學共焦原理。當激光光束照射到物體表面時，光束會在物體表面反射并聚焦到傳感器的探測器上。通過分析反射光的光譜信息，傳感器可以精確計算出物體表面的形貌和位移信息。光譜共焦位移傳感器具有高分辨率、高靈敏度和無接觸測量等優點，能夠實現微納米級的位移測量，適用于各種復雜表面的測量需求。在工業制造領域，光譜共焦位移傳感器被廣泛應用于精密加工、三維打印、自動...

隨著汽車行業的迅速發展，汽車零部件的加工質量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求，高精度光譜共焦傳感器成為了一種可靠的解決方案。本文將探討高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工方面的應用，并提出相應的解決方案。首先，高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工中的應用主要體現在其精確的測量能力上。傳統的測量方法往往需要接觸式測量，容易受到人為因素的影響，而且測量精度有限。而高精度光譜共焦傳感器采用了非接觸式測量技術，能夠實現對零部件尺寸、形狀和表面質量的精確測量，極大提高了加工質量和精度。其次，高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工中的應用還體現在其迅速測量和數據處理能力上。傳統的測量方法需要耗費大量的...

在硅片柵線的厚度測量過程中，創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度，±0.02%的線性精度，10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網和模擬量數據傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時，使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得，通過將需要掃描測量的硅片標記三個區域并使用光譜共焦C1200單探頭單側測量來完成測量。由于柵線不是平整面，并且有一定的曲率，因此對于測量區域的選擇具有較大的隨...

該研究主要針對光譜共焦傳感器在校準時產生的誤差進行了研究。研究者使用激光干涉儀和高精度測長機分別對光譜共焦傳感器進行了測量，并使用球面測頭來保證光譜共焦傳感器的光路位于測頭中心，以確保安裝精度。然后更換平面側頭進行校準，并利用小二乘法對測量數據進行處理，得出測量數據的非線性誤差。研究結果表明：高精度測長機校準時的非線性誤差為0.030%，激光干涉儀校準時的分析線性誤差為0.038%。利用小二乘法處理數據及計算非線性誤差，可以減小校準時產生的同軸度誤差和光譜共焦傳感器的系統誤差，提高對光譜共焦傳感器的校準精度。光譜共焦技術在生物醫學、材料科學、環境監測等領域有著廣泛的應用。怎樣選擇光譜共焦位移計...

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由于...