當(dāng)匯聚光束的角度與自由曲面樣品11在測量點m的法線方向不一致時，返回光束經(jīng)過分光鏡4反射在四象限探測器13的光斑不會處于四象限探測器13的中心，因此，法向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca17根據(jù)四象限探測器13的探測信號對x電機5和y電機7進行伺服控制，使得返回光的光束中心位置始終處于四象限探測器13的中心，即說明實現(xiàn)了對自由曲面樣品11的法向跟蹤；由于已經(jīng)實現(xiàn)了對自由曲面樣品11的法向跟蹤，因此探測光束沿原光路返回進入共焦探測模塊，軸向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca18控制物鏡驅(qū)動器9進行軸向掃描獲得共焦軸向強度曲線20，共焦軸向強度曲線20...

2)利用共焦探測技術(shù)對自由曲面樣品進行非接觸測量，并通過60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca保持對樣品的法向跟蹤和軸向焦點的峰值提取，具備較高的測量效率和納米級測量精度。附圖說明圖1為本公司方法示意圖；圖2為本公司方法光路部分示意圖；圖3為本公司方法控制框圖；圖4為本公司方法掃描路徑示意圖；圖5為本公司方法共焦軸向強度示意圖；圖6為本公司方法光束離軸示意圖。圖中：1-激光二極管光源、2-準直鏡、3-a分光鏡、4-b分光鏡、5-x電機、6-x光學(xué)平板、7-y電機、8-y光學(xué)平板、9-物鏡驅(qū)動器、10-物鏡、11-自由曲面樣品、12-二維精密位移臺、13-四象限探測器、14...

屬于不合格產(chǎn)品。本實施例中，在步驟1)與步驟2)之間，還包括步驟1a)：對各汽車玻璃圖像進行預(yù)處理，預(yù)處理包括sigma濾波、中值濾波和圖像增強；其中sigma濾波處理為：用一個n×n(n＝3，5，7，…，)的窗口在圖像上滑動濾波，首先計算濾波窗口中所有像素灰度值的標準差σ，設(shè)中心點像素灰度值為p，根據(jù)v＝[p-2σ，p+2σ]計算置信區(qū)間范圍，選擇所有在置信區(qū)間范圍內(nèi)的窗口像素的灰度值用于計算其平均值，得到的平均值作為窗口中心點像素灰度值的濾波值。如果沒有像素點的灰度值在置信區(qū)間內(nèi)，則中心點像素的灰度值保持不變。中值濾波處理為：用一個n×n(n＝3，5，7，…，)的窗口在圖像上滑動濾...

)分別用高閾值th和低閾值tl對步驟)中提取到的所有潛在邊緣點進行判斷，將得到的邊緣點進行連接，得到目標圖像的像素級邊緣。作為上述技術(shù)方案的進一步改進，在步驟)中，一階偏導(dǎo)表達式如下：梯度幅值的計算公式為：梯度方向的計算公式為：作為上述技術(shù)方案的進一步改進，在步驟)中，潛在邊緣點的判斷方法為：點(x，y)處的梯度幅值為p(x，y)，若p(x，y)>th，則該點一定是邊緣點，且是強邊緣點；若p(x，y)作為上述技術(shù)方案的進一步改進，在步驟3)中，采用雙線性插值的方法對步驟2)得到的像素級邊緣輪廓進行亞像素定位，具體為：選取點p(x，y)為插值點，以插值點位中心，選取四個相鄰像素點p11(...