微型真空泵被作為動力裝置,普遍用于氣體采樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合,在醫療、衛生、科研、環保等領域得到了普遍的應用。輸入壓縮空氣,如果只是用微型氣泵輸出壓縮空氣。簡單地說,就是只用它來打氣、充氣,泵的抽氣口基本不用。這種情況比較簡單,按輸出壓力從大到小依次可選:PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。當然還要參考流量指標等相關技術參數。如果是用微型泵抽氣,情況稍微復雜些。判斷微型泵抽氣端工況,用于抽氣的微型泵分為兩類:氣體采樣泵和微型真空泵。如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,需要加液態水過濾器和冷凝器,起...
真空泵在工作第1個月內,經100小時更換潤滑油,以后每個500小時,換油一次。經常調整填料壓蓋,保證填料室內的滴漏情況正常(以成滴漏出為宜)。定期檢查軸套的磨損情況,磨損較大后應及時更換。真空泵在寒冬季節使用時,停車后,需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。真空泵長期停用,需將泵全部拆開,擦干水分,將轉動部位及結合處涂以油脂裝好,妥善保管。對于真空泵的維護保養一定要做好,不然真空泵的使用效果會減少。微型真空泵的介質溫度問題。根據通過泵的介質氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。爪型真空泵多少錢水環真空泵用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮...
羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。耐腐真空泵采購在實際應用中,微型真空泵面臨的...
干式螺桿真空泵由于其優越的性能,在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉子,通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉,在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機,用聯軸器與轉子連接,極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。汽車真空泵制作費用在實際應用中,微型真空泵面臨的排氣狀況是不一...
在現代設計制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區別對待。“排氣口允許較大阻力Por值”這一參數就是標定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴格的技術手段確定選型是否恰當。簡單地說,對于排氣阻力大的系統,我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對于排氣阻力小的系統,選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根據我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了。對于質量欠佳的產品盡量不要選用。真空泵泵腔內無壓縮,無排氣閥。手動真空泵制造商往復真空泵活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥關閉。氣缸內的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮,當氣缸內...
抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來表示。是彌補漏氣率的參數。不難理解,理論下抽一個相同體積的容器,為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度,而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度? 因為管路或者容器始終不可能做到不漏氣,而抽氣量大的彌補了漏氣所帶來的真空度下降的因素,所以,大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議,在計算出理論抽氣量的情況下,我們盡量選擇高一級的抽氣量的真空泵。真空泵在工作第1個月內,經100小時更換潤滑油,以后每個500小時,換油一次。水環式真空泵定制廠家羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式...
低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整的系列,并研究開發出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。干式螺桿真空泵由于其優越的性能,在歐美目前已經成為微電子、半導體等行業選擇真空獲得設備。真空泵濾芯規格如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,需要加液態水過濾器和冷凝器,起到一個過濾的作用。我們在...
真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等,這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來, 伴隨著我國經濟持續高速發展,真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭,同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下,我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。真空干燥箱對于所烘的物料是有要求的,其一是不能含有大量的水,其二是不能含有有機化合物;二者在抽真空的同時會被泵抽進體內,從而產生一系列的不良反應,影響泵的使用壽命。微型真空泵的介質溫度問題。根據通過泵的介質氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。爪式真空泵定制廠家干式螺桿真空泵由于其優越的...
臥式往復真空泵一般為有油式,立式多為無油式。羅茨泵在泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。水環真空泵能獲得的極限真空為2000~4000Pa。水噴射真空泵機組哪家好噴嘴是影響真空泵性能的重要部件,存在的問題有:噴嘴裝錯、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏,不管采取何種...
為了使國產滑閥真空泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大,直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關,價格又遠比國外的泵便宜,所以國產泵仍然有競爭優勢,關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題,確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠,同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢,直通大氣;另一類是排氣阻力較大。小型醫用...
在真空泵中,相對壓強即所測內部壓強比“大氣壓”低多少壓強,表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值。由于容器內部空氣被抽,因此,內部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當用相對壓強或者表壓強表示的時候,數值前面必須帶負號,表示容器內部壓強比外部壓強低。極限壓強,壓強即所測內部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態的真空壓強值。由于工藝所限,我們無論如何都不能將內部壓強抽到真空0Pa這個數值,因此,真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當用真空表示時,數值前面無負號。真空泵結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。VP0925A真空泵價格爪形真空泵...
對真空泵的工作蒸汽及其干度的研究:蒸汽壓力偏低及壓力波動均對真空泵的能力有較大影響,因此蒸汽壓力不應低于要求的工作壓力,但所用真空泵結構設計已定型,過多提高蒸汽壓力并不會增加抽氣量及真空度。另外,要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩定,建議用一臺鍋爐專門給蒸汽噴射泵提供工作蒸汽,這樣蒸汽壓力就不會出現波動,真空泵性能穩定。對循環冷卻水要求的研究:冷卻水供量不足,冷凝器會發熱,氣流聲音變大,真空度迅速下降,甚至蒸汽會返入抽氣管。真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。醫療器械真空泵現價判定真空泵中被抽物體的成分,被抽物體是氣體、液體還是顆粒,如果被抽氣體中含有水汽或少量顆粒性和粉塵等雜質,...
真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求,選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數量級。(如:真空工藝要求100pa(壓力)的真空度,選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強高于3300Pa,則優先選擇水環式真空泵作為真空裝置,如果壓強要求低于3300Pa,則不能選擇水環式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下,排出氣體、液體,固體的能力),一般單位:m3/h,L/S,m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然,真空泵的選型是一個綜合過程,涉及到相關經驗等因素。當真空泵中的...
真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。我國生產真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年),只相當于美國公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎,國產真泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證,有些泵還出口國外,得到國外用戶的認可并受到好評,應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。真空泵的轉...
往復真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞,活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉時,在電動機的驅動下,通過曲柄連桿機構的作用,使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時,由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內氣體的密度減小,而形成抽氣過程,此時被抽容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到右位置時,氣缸左腔內就完全充滿了氣體。折疊液環泵屬于粗真空泵的一種類型。AC線性驅動活塞真空泵廠家直銷高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作...
在實際應用中,微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢,直通大氣;另一類是排氣阻力較大,比如在排氣管路上有閥、細小彎管、大阻尼傳感器、非專門用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現代設計制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區別對待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數就是標定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴格的技術手段確定選型是否恰當。簡單地說,對于排氣阻力大的系統,我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對于排氣阻力小的系統,選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。噴嘴是影響真空泵性能的重...
水環真空泵(簡稱水環泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯大氣噴射器可達270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機,稱為水環式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環泵開始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環泵得到普遍的應用。由于真空應用技術的飛躍發展,水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。往復真空泵活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥關閉。小型醫用真空泵供應費用由于水環真空泵中氣體壓縮...
螺桿真空泵是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備,它是油封式真空泵的更新換代產品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,在國內各大制藥和化工企業得到普遍應用。優點是壽命長、能耗低、無油污染。兩螺桿經精細動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時,相互之間無磨擦,運轉平穩,噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節能,免維修等優點。它是油封式真空泵的更新換代產品。由于真空泵的重心較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。實驗室隔膜真空泵...
如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,需要加液態水過濾器和冷凝器,起到一個過濾的作用。我們在使用真空干燥箱的同時, 也一定要加強對于真空泵的維護,及時給真空泵換油,延長它的使用壽命。干式真空泵目前在國內仍處于起步階段,國產替代進口將會成為日后的趨勢。干式真空泵對于制程的良率會產生較大的效果。干泵替代現有的水泵、油泵也是一個趨勢。1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。水環真空泵能獲得的極限真空為2000~4000Pa。吸氣真空泵制作企業真空泵達到一定臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量...
低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整的系列,并研究開發出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。水環真空泵串聯大氣噴射器可達270~670Pa。化工防腐真空泵擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內保持不變,但在壓強較高或很低時,抽速下降很快。當泵入口壓強很低時,氣體從前級通過射流的反擴散會增加,同時...
為了使國產真空滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。折疊直聯旋片泵,隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大,直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關,價格又遠比國外的泵便宜,所以國產泵仍然有競爭優勢,關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題,確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠,同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。水環真空泵開始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食...
臥式往復真空泵一般為有油式,立式多為無油式。羅茨泵在泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。干式螺桿真空泵由于其優越的性能,在歐美目前已經成為微電子、半導體等行業選擇真空獲得設備。干式真空泵定制價格真空泵整體結構不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。折疊液環泵,...
水環真空泵(簡稱水環泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯大氣噴射器可達270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機,稱為水環式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環泵開始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環泵得到普遍的應用。由于真空應用技術的飛躍發展,水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。真空泵市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。不銹鋼...
臥式往復真空泵一般為有油式,立式多為無油式。羅茨泵在泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。折疊液環泵屬于粗真空泵的一種類型。隔膜式真空泵多少錢水環真空泵用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔...
如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,需要加液態水過濾器和冷凝器,起到一個過濾的作用。我們在使用真空干燥箱的同時, 也一定要加強對于真空泵的維護,及時給真空泵換油,延長它的使用壽命。干式真空泵目前在國內仍處于起步階段,國產替代進口將會成為日后的趨勢。干式真空泵對于制程的良率會產生較大的效果。干泵替代現有的水泵、油泵也是一個趨勢。1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。VP0140真空泵供應商判定真空泵中被抽物體的成分,被抽物體是氣體、液體還是顆粒,如果被抽氣體中含有水汽或少量顆粒性和粉塵...
爪形真空泵為多級串聯結構,每級泵均應嚴格控制端面間隙,即四級泵需嚴格控制8個端面間隙,泵在運行時的熱膨脹及抽除粉未等時容易造成泵的故障,另外爪式泵的多級串聯的結構特性決定了其裝配的復雜性,一般人員很難達到裝配要求;因爪形真空泵為多級串聯結構,排氣通道復雜,在抽除可凝性氣體時(例如:水蒸汽,有機溶劑氣體等),在泵腔內壓縮時會產生較多的液體,這部分液體進入泵的端面造成泵的負載明顯變大,四級爪形真空泵有8個端面,不宜抽除大量可凝性氣體。抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。微型真空泵定制費用通常總是不加區分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統稱為微型真空泵,但從技術角度二者是有區別的,選型時更要特...
真空泵的維護檢查油的位置。經常檢查油質情況,發現油變質應及時更換新油。換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。一般情況下,真空泵工作2000小時后應進行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件,如轉子、旋片、彈簧等真空泵要停止使用時,先關閉閘閥、壓力表,然后停止電機。往復真空泵活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥關閉。深圳VP0625真空泵羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,分子增壓泵有極高的壓縮比,這除了使它能獲得清潔真空外還具有優異...
冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用,冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝,真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有必要高于其所對應的飽滿蒸汽壓,因此冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度,才能保證泵體的正常作業。對真空泵系統密封要求的研究:真空泵處于極限狀態時,第1級排出的水很少,有時甚至沒有。因此,第1級泵有大量水排出,可以認為是系統有泄漏。通常的漏氣原因有:墊片沒裝、裝錯或損壞,螺栓未擰緊,法蘭面損壞,焊縫有沙眼,接頭(壓力表、真空表等)未裝好。對于較大型的高真空應用設備,也可適當加強前級泵的預抽能力,進一步縮短抽氣時間。往復式真空泵廠商環境對真空泵的影響,主要是指被抽氣體對體系的污染,在鋼液處置過程中,鋼...
擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內保持不變,但在壓強較高或很低時,抽速下降很快。當泵入口壓強很低時,氣體從前級通過射流的反擴散會增加,同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時,大量氣體分子進入射流與蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰減較大,增大了前級的反流,抽速降低;油擴散泵的極限壓強與前級側氣體的反擴散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關,當泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時,泵的入口壓強不受出口壓強的影響,氣體的反擴散對泵的極限壓強影響不大。油擴散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態,與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流...
羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。往復真空泵活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥關閉。耐腐真空泵廠家直銷在現代設計制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵...