干法刻蝕種類很多,包括光揮發、氣相腐蝕、等離子體腐蝕等。按照被刻蝕的材料類型來劃分,干法刻蝕主要分成三種:金屬刻蝕、介質刻蝕和硅刻蝕。介質刻蝕是用于介質材料的刻蝕,如二氧化硅。干法刻蝕優點是:各向異性好,選擇比高,可控性、靈活性、重復性好,細線條操作安全,易實現自動化,無化學廢液,處理過程未引入污染,潔凈度強。干法刻蝕主要形式有純化學過程(如屏蔽式,下游式,桶式),純物理過程(如離子銑),物理化學過程,常用的有反應離子刻蝕RIE,離子束輔助自由基刻蝕ICP等。熱處理是簡單地將晶圓加熱和冷卻來達到特定結果的工藝。海南MEMS半導體器件加工方案氮化鎵是一種相對較新的寬帶隙半導體材料,具有更好的開關...
微納加工技術是先進制造的重要組成部分,是衡量國家高級制造業水平的標志之一,具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點,在推動科技進步、促進產業發展、拉動科技進步、保障**安全等方面都發揮著關鍵作用。微納加工技術的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種。很顯然,微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類。“自上而下”是從宏觀對象出發,以光刻工藝為基礎,對材料或原料進行加工,較小結果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環節的分辨力決定。“自下而上”技術則是從微觀世界出發,通過控制原子、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構建在一起,形成微納結構與器件。刻蝕...
GaN材料系列具有低的熱產生率和高的擊穿電場,是研制高溫大功率電子器件和高頻微波器件的重要材料。目前,隨著MBE技術在GaN材料應用中的進展和關鍵薄膜生長技術的突破,成功地生長出了GaN多種異質結構。用GaN材料制備出了金屬場效應晶體管(MESFET)、異質結場效應晶體管(HFET)、調制摻雜場效應晶體管(MODFET)等新型器件。調制摻雜的AlGaN/GaN結構具有高的電子遷移率(2000cm2/v·s)、高的飽和速度(1×107cm/s)、較低的介電常數,是制作微波器件的優先材料;GaN較寬的禁帶寬度(3.4eV)及藍寶石等材料作襯底,散熱性能好,有利于器件在大功率條件下工作。芯片封裝是利...
表面硅MEMS加工技術是在集成電路平面工藝基礎上發展起來的一種MEMS工藝技術。它利用硅平面上不同材料的順序淀積和選擇腐蝕來形成各種微結構。表面硅MEMS加工技術的基本思路是:先在基片上淀積一層稱為分離層的材料,然后在分離層上面淀積一層結構層并加工成所需圖形。在結構加工成型后,通過選擇腐蝕的方法將分離層腐蝕掉,使結構材料懸空于基片之上,形成各種形狀的二維或三維結構。表面硅MEMS加工工藝成熟,與IC工藝兼容性好,可以在單個直徑為幾十毫米的單晶硅基片上批量生成數百個MEMS裝置。MEMS器件中摩擦表面的摩擦力主要是由于表面之間的分子相互作用力引起的,而不是由于載荷壓力引起。江蘇MEMS半導體器件...
蝕刻是芯片生產過程中重要操作,也是芯片工業中的重頭技術。蝕刻技術把對光的應用推向了極限。蝕刻使用的是波長很短的紫外光并配合很大的鏡頭。短波長的光將透過這些石英遮罩的孔照在光敏抗蝕膜上,使之曝光。接下來停止光照并移除遮罩,使用特定的化學溶液清洗掉被曝光的光敏抗蝕膜,以及在下面緊貼著抗蝕膜的一層硅。然后,曝光的硅將被原子轟擊,使得暴露的硅基片局部摻雜,從而改變這些區域的導電狀態,以制造出N井或P井,結合上面制造的基片,芯片的門電路就完成了。熱處理的第三種用途是通過加熱在晶圓表面的光刻膠將溶劑蒸發掉,從而得到精確的圖形。山西物聯網半導體器件加工批發價刻蝕工藝不只是半導體器件和集成電路的基本制造工藝,...
半導體設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備,屬于半導體行業產業鏈的關鍵支撐環節。半導體設備是半導體產業的技術先導者,芯片設計、晶圓制造和封裝測試等需在設備技術允許的范圍內設計和制造,設備的技術進步又反過來推動半導體產業的發展。以半導體產業鏈中技術難度較高、附加值較大、工藝較為復雜的集成電路為例,應用于集成電路領域的設備通常可分為前道工藝設備(晶圓制造)和后道工藝設備(封裝測試)兩大類。其中的前道晶圓制造中的七大步驟分別為氧化/擴散,光刻,刻蝕,清洗,離子注入,薄膜生長,拋光。每個步驟用到的半導體設備具體如下:微納加工技術是先進制造的重要組成部分,是衡量國家高級制造業水平的標志之一。河南...
半導體硅片生產工藝:首先將多晶硅和摻雜劑放入單晶爐內的石英坩堝中,將溫度升高至1420℃以上,得到熔融狀態的多晶硅。其中,通過調控放入摻雜劑的種類(B、P、As、Sb)及含量,可以得到不同導電類型及電阻率的硅片。待多晶硅溶液溫度穩定之后,將籽晶緩慢下降放入硅熔體中(籽晶在硅融體中也會被熔化),然后將籽晶以一定速度向上提升進行引晶過程。隨后通過縮頸操作,將引晶過程中產生的位錯消除掉。當縮頸至足夠長度后,通過調整拉速和溫度使單晶硅直徑變大至目標值,然后保持等徑生長至目標長度。較后為了防止位錯反延,對單晶錠進行收尾操作,得到單晶錠成品,待溫度冷卻后取出。微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系。遼寧新...
光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。分辨率是對光刻工藝加工可以達到的較細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統、光刻膠和工藝等各方面的限制。對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區域,光源有汞燈,準分子激光器等。廣東省科學院半導體研究所。蝕刻技術把對光的應用推向了極限。江蘇壓電半導體器件加工哪家靠譜MEMS器件體積小,重量輕,耗能低,慣性小,諧振頻率高,響應時間短。MEMS系統與一般的機械系統相比,不只體積縮...
光刻工藝是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結構,然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉移到所在襯底上。這里所說的襯底不只包含硅晶圓,還可以是其他金屬層、介質層。光刻的優點是它可以精確地控制形成圖形的形狀、大小,此外它可以同時在整個芯片表面產生外形輪廓。不過,其主要缺點在于它必須在平面上使用,在不平的表面上它的效果要差一些。此外它還要求襯底具有極高的清潔條件。光刻工藝的基本流程是首先是在晶圓(或襯底)表面涂上一層光刻膠并烘干。黑龍江MEMS半導體器件加工哪家靠譜微機電系統也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電...
在MEMS制程中,刻蝕就是用化學的、物理的或同時使用化學和物理的方法,在光刻的基礎上有選擇地進行圖形的轉移。刻蝕技術主要分為干法刻蝕與濕法刻蝕。干法刻蝕主要利用反應氣體與等離子體進行刻蝕;以FATRIUTC為例,在MEMS制造中的ICP刻蝕機主要用來刻蝕Si、Si3N4、SiO2等。濕法刻蝕主要利用化學試劑與被刻蝕材料發生化學反應進行刻蝕;以FATRIUTC的MEMS制程為例,在濕法槽進行濕法刻蝕的對象有SiO2、Si3N4、金屬、光刻膠等,晶圓作業中的清洗步驟也需在濕法槽中進行。半導體器件是導電性介于良導電體與絕緣體之間,利用半導體材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件。湖南超表面半導體器件...
硅片在進入每道工序之前表面必須是潔凈的,需經過重復多次的清洗步驟,除去表面的污染物。芯片制造需要在無塵室中進行,在芯片的制造過程中,任何的沾污現象都將影響芯片上器件的正常功能。沾污雜質具體指半導體制造過程中引入的任何危害芯片成品率以及電學性能的物質。具體的沾污物包括顆粒、有機物、金屬和自然氧化層等,此類污染物包括從環境、其他制造工藝、刻蝕副產物、研磨液等。上述沾污雜質如果不及時清理均可能導致后續工藝的失敗,導致電學失效,較終會造成芯片報廢。半導體芯片封裝是指利用膜技術及細微加工技術。安徽新材料半導體器件加工設計單晶硅片是單晶硅棒經由一系列工藝切割而成的,制備單晶硅的方法有直拉法(CZ法)、區熔...
蝕刻是芯片生產過程中重要操作,也是芯片工業中的重頭技術。蝕刻技術把對光的應用推向了極限。蝕刻使用的是波長很短的紫外光并配合很大的鏡頭。短波長的光將透過這些石英遮罩的孔照在光敏抗蝕膜上,使之曝光。接下來停止光照并移除遮罩,使用特定的化學溶液清洗掉被曝光的光敏抗蝕膜,以及在下面緊貼著抗蝕膜的一層硅。然后,曝光的硅將被原子轟擊,使得暴露的硅基片局部摻雜,從而改變這些區域的導電狀態,以制造出N井或P井,結合上面制造的基片,芯片的門電路就完成了。制備單晶硅的方法有直拉法(CZ法)、區熔法(FZ法)和外延法。山西半導體器件加工流程半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在集成電路、消費電子...
半導體器件加工設備分類:單晶爐設備功能:熔融半導體材料,拉單晶,為后續半導體器件制造,提供單晶體的半導體晶坯。氣相外延爐設備功能:為氣相外延生長提供特定的工藝環境,實現在單晶上,生長與單晶晶相具有對應關系的薄層晶體,為單晶沉底實現功能化做基礎準備。氣相外延即化學氣相沉積的一種特殊工藝,其生長薄層的晶體結構是單晶襯底的延續,而且與襯底的晶向保持對應的關系。分子束外延系統:設備功能:分子束外延系統,提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設備;分子束外延工藝,是一種制備單晶薄膜的技術,它是在適當的襯底與合適的條件下,沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜。表面硅MEMS加工技術是在集成電路平面工藝基礎上發展起來...
半導體設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備,屬于半導體行業產業鏈的關鍵支撐環節。半導體設備是半導體產業的技術先導者,芯片設計、晶圓制造和封裝測試等需在設備技術允許的范圍內設計和制造,設備的技術進步又反過來推動半導體產業的發展。以半導體產業鏈中技術難度較高、附加值較大、工藝較為復雜的集成電路為例,應用于集成電路領域的設備通常可分為前道工藝設備(晶圓制造)和后道工藝設備(封裝測試)兩大類。其中的前道晶圓制造中的七大步驟分別為氧化/擴散,光刻,刻蝕,清洗,離子注入,薄膜生長,拋光。每個步驟用到的半導體設備具體如下:單晶硅是從大自然豐富的硅原料中提純制造出多晶硅,再通過區熔或直拉法生產出區熔單...
蝕刻是芯片生產過程中重要操作,也是芯片工業中的重頭技術。蝕刻技術把對光的應用推向了極限。蝕刻使用的是波長很短的紫外光并配合很大的鏡頭。短波長的光將透過這些石英遮罩的孔照在光敏抗蝕膜上,使之曝光。接下來停止光照并移除遮罩,使用特定的化學溶液清洗掉被曝光的光敏抗蝕膜,以及在下面緊貼著抗蝕膜的一層硅。然后,曝光的硅將被原子轟擊,使得暴露的硅基片局部摻雜,從而改變這些區域的導電狀態,以制造出N井或P井,結合上面制造的基片,芯片的門電路就完成了。微機電系統是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米級。福建集成電路半導體器件加工公共服務平臺傳感MEMS技術是指用微電子微機械加工出來的、...
硅片在進入每道工序之前表面必須是潔凈的,需經過重復多次的清洗步驟,除去表面的污染物。芯片制造需要在無塵室中進行,在芯片的制造過程中,任何的沾污現象都將影響芯片上器件的正常功能。沾污雜質具體指半導體制造過程中引入的任何危害芯片成品率以及電學性能的物質。具體的沾污物包括顆粒、有機物、金屬和自然氧化層等,此類污染物包括從環境、其他制造工藝、刻蝕副產物、研磨液等。上述沾污雜質如果不及時清理均可能導致后續工藝的失敗,導致電學失效,較終會造成芯片報廢。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。福建5G半導體器件加工平臺半導體器件是導電性介于良導電體與絕緣體之間,利用半導體材料特...
半導體器件通常利用不同的半導體材料、采用不同的工藝和幾何結構,已研制出種類繁多、功能用途各異的多種晶體二極,晶體二極管的頻率覆蓋范圍可從低頻、高頻、微波、毫米波、紅外直至光波。三端器件一般是有源器件,典型表示是各種晶體管(又稱晶體三極管)。晶體管又可以分為雙極型晶體管和場效應晶體管兩類。根據用途的不同,晶體管可分為功率晶體管微波晶體管和低噪聲晶體管。除了作為放大、振蕩、開關用的一般晶體管外,還有一些特殊用途的晶體管,如光晶體管、磁敏晶體管,場效應傳感器等。這些器件既能把一些環境因素的信息轉換為電信號,又有一般晶體管的放大作用得到較大的輸出信號。此外,還有一些特殊器件,如單結晶體管可用于產生鋸齒...
微流控技術是以微管道為網絡連接微泵、微閥、微儲液器、微電極、微檢測元件等具有光、電和流體輸送功能的元器件,較大限度地把采樣、稀釋、加試劑、反應、分離、檢測等分析功能集成在芯片上的微全分析系統。目前,微流控芯片的大小約幾個平方厘米,微管道寬度和深度(高度)為微米和亞微米級。微流控芯片的加工技術起源于半導體及集成電路芯片的微細加工,但它又不同于以硅材料二維和淺深度加工為主的集成電路芯片加工技術。近來,作為微流控芯片基礎的芯片材料和加工技術的研究已受到許多發達國家的重視。熱處理是簡單地將晶圓加熱和冷卻來達到特定結果的工藝。天津化合物半導體器件加工報價MOS場效應管的制作流程是:1.將硅單晶切成大圓片...
半導體行業技術高、進步快,一代產品需要一代工藝,而一代工藝需要一代設備。半導體工藝設備為半導體大規模制造提供制造基礎。很多半導體器件,如光碟機(CD、VCD和DVD)和光纖通信中用的半導體激光器,雷達或衛星通信設備中的微波集成電路,甚至許多普通的微電子集成電路,都有相當部分的制作工序是在真空容器中進行的。真空程度越高,制作出來的半導體器件的性能也就越好。現在,很多高性能的半導體器件都是在超高真空環境中制作出來的。廣東省科學院半導體研究所。傳感MEMS技術是指用微電子微機械加工出來的。云南5G半導體器件加工報價光刻過程:首先,通過金屬化過程,在硅襯底上布置一層只數納米厚的金屬層。然后在這層金屬上...
光刻是集成電路制造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上,形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術。隨著半導體技術的發展,光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個數量級(從毫米級到亞微米級),已從常規光學技術發展到應用電子束、X射線、微離子束、激光等新技術;使用波長已從4000埃擴展到0.1埃數量級范圍。光刻技術成為一種精密的微細加工技術。光刻也是平面型晶體管和集成電路生產中的一個主要工藝。是對半導體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進行開孔,以便進行雜質的定域擴散的一種加工技術。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯...
半導體設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備,屬于半導體行業產業鏈的關鍵支撐環節。半導體設備是半導體產業的技術先導者,芯片設計、晶圓制造和封裝測試等需在設備技術允許的范圍內設計和制造,設備的技術進步又反過來推動半導體產業的發展。以半導體產業鏈中技術難度較高、附加值較大、工藝較為復雜的集成電路為例,應用于集成電路領域的設備通常可分為前道工藝設備(晶圓制造)和后道工藝設備(封裝測試)兩大類。其中的前道晶圓制造中的七大步驟分別為氧化/擴散,光刻,刻蝕,清洗,離子注入,薄膜生長,拋光。每個步驟用到的半導體設備具體如下:用硅片制造晶片主要是制造晶圓上嵌入電子元件(如電晶體、電容、邏輯閘等)的電路。...
半導體器件生產工藝流程主要有4個部分,即晶圓制造、晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。晶圓制造是指在硅晶圓上制作電路與電子元件如電晶體、電容體、邏輯閘等,整個流程工藝復雜,主要有晶圓清洗,熱氧化,光刻(涂膠、曝光、顯影),蝕刻,離子注入,擴散,沉積和機械研磨等步驟,來完成晶圓上電路的加工與制作。晶圓測試是指對加工后的晶圓進行晶片運收測試其電氣特性。目的是監控前道工藝良率,降低生產成本。芯片封裝是利用陶瓷或者塑料封裝晶粒及配線形成集成電路;起到固定,密封和保護電路的作用。封裝后測試則是對封裝好的芯片進行性能測試,以保證器件封裝后的質量和性能。二極管就是由一個PN結加上相應的電極引線及管殼封裝而成的。...
硅片在進入每道工序之前表面必須是潔凈的,需經過重復多次的清洗步驟,除去表面的污染物。芯片制造需要在無塵室中進行,在芯片的制造過程中,任何的沾污現象都將影響芯片上器件的正常功能。沾污雜質具體指半導體制造過程中引入的任何危害芯片成品率以及電學性能的物質。具體的沾污物包括顆粒、有機物、金屬和自然氧化層等,此類污染物包括從環境、其他制造工藝、刻蝕副產物、研磨液等。上述沾污雜質如果不及時清理均可能導致后續工藝的失敗,導致電學失效,較終會造成芯片報廢。區熔硅單晶的較大需求來自于功率半導體器件。北京新材料半導體器件加工公共服務平臺微機械是指利用半導體技術(特別是平板印制術,蝕刻技術)設計和制造微米領域的三維...
射頻MEMS技術傳統上分為固定的和可動的兩類。固定的MEMS器件包括本體微機械加工傳輸線、濾波器和耦合器,可動的MEMS器件包括開關、調諧器和可變電容。按技術層面又分為由微機械開關、可變電容器和電感諧振器組成的基本器件層面;由移相器、濾波器和VCO等組成的組件層面;由單片接收機、變波束雷達、相控陣雷達天線組成的應用系統層面。MEMS工藝以成膜工序、光刻工序、蝕刻工序等常規半導體工藝流程為基礎。硅基MEMS加工技術主要包括體硅MEMS加工技術和表面MEMS加工技術。體硅MEMS加工技術的主要特點是對硅襯底材料的深刻蝕,可得到較大縱向尺寸可動微結構。表面MEMS加工技術主要通過在硅片上生長氧化硅、...
微流控技術是以微管道為網絡連接微泵、微閥、微儲液器、微電極、微檢測元件等具有光、電和流體輸送功能的元器件,較大限度地把采樣、稀釋、加試劑、反應、分離、檢測等分析功能集成在芯片上的微全分析系統。目前,微流控芯片的大小約幾個平方厘米,微管道寬度和深度(高度)為微米和亞微米級。微流控芯片的加工技術起源于半導體及集成電路芯片的微細加工,但它又不同于以硅材料二維和淺深度加工為主的集成電路芯片加工技術。近來,作為微流控芯片基礎的芯片材料和加工技術的研究已受到許多發達國家的重視。半導體芯片封裝是指利用膜技術及細微加工技術。河北功率器件半導體器件加工供應商單晶硅,作為IC、LSI的電子材料,用于微小機械部件的...
氧化爐為半導體材料進氧化處理,提供要求的氧化氛圍,實現半導體設計預期的氧化處理,是半導體加工過程不可或缺的一個環節。退火爐是半導體器件制造中使用的一種工藝設備,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激發摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。從硅圓片制成一個一個的半導體器件,按大工序可分為前道工藝和后道工藝。江西新結構半導體器件加工哪家有半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在集成電路、消費電子...
半導體器件的生產,除需要超凈的環境外,有些工序還必須在真空中進行。在我們生活的大氣環境中,充滿了大量的氮氣、氧氣和其他各種氣體分子,這些氣體分子時時刻刻都在運動著。當這些氣體分子運動到物體的表面時,就會有一部分黏附在該物體的表面。這在日常生活中,不會產生多大的影響。但在對周圍環境要求極高的半導體器件的生產工序中,這些細微的變化就會給生產帶來各種麻煩。每一半導體器件都包含著許多層各種各樣的材料,如果在這些不同的材料層之間混入氣體分子,就會破壞器件的電學或光學性能。比如,當希望在晶體層上再生長一層晶體時(稱為外延),底層晶體表面吸附的氣體分子,會阻礙上面的原子按照晶格結構進行有序排列,結果在外延層...
從硅圓片制成一個一個的半導體器件,按大工序可分為前道工藝和后道工藝。前道工藝的目的是“在硅圓片上制作出IC電路”,其中包括300~400道工序。按其工藝性質可分為下述幾大類:形成各種薄膜材料的“成膜工藝”;在薄膜上形成圖案并刻蝕,加工成確定形狀的“光刻工藝”;在硅中摻雜微量導電性雜質的“雜質摻雜工藝”等。前道工藝與后道工藝的分界線是劃片、裂片。后道工藝包括切分硅圓片成芯片,把合格的芯片固定(mount)在引線框架的中心島上,將芯片上的電極與引線框架上的電極用細金絲鍵合連接(bonding)。干法刻蝕種類很多,包括光揮發、氣相腐蝕、等離子體腐蝕等。江蘇半導體器件加工公司半導體器件的生產,除需要超...
微納加工技術是先進制造的重要組成部分,是衡量國家高級制造業水平的標志之一,具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點,在推動科技進步、促進產業發展、拉動科技進步、保障**安全等方面都發揮著關鍵作用。微納加工技術的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種。很顯然,微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類。“自上而下”是從宏觀對象出發,以光刻工藝為基礎,對材料或原料進行加工,較小結果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環節的分辨力決定。“自下而上”技術則是從微觀世界出發,通過控制原子、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構建在一起,形成微納結構與器件。區熔...
二極管就是由一個PN結加上相應的電極引線及管殼封裝而成的。采用不同的摻雜工藝,通過擴散作用,將P型半導體與N型半導體制作在同一塊半導體(通常是硅或鍺)基片上,在它們的交界面就形成空間電荷區稱為PN結。各種二極管的符號由P區引出的電極稱為陽極,N區引出的電極稱為陰極。因為PN結的單向導電性,二極管導通時電流方向是由陽極通過管子內部流向陰極。二極管的電路符號:二極管有兩個電極,由P區引出的電極是正極,又叫陽極;由N區引出的電極是負極,又叫陰極。三角箭頭方向表示正向電流的方向,二極管的文字符號用VD表示。光刻的優點是它可以精確地控制形成圖形的形狀、大小,此外它可以同時在整個芯片表面產生外形輪廓。上海...