傳統的研磨采用粒度為W28微粉進行研磨，在一定狀態下研磨粗糙度可達到，采用差值法，在其基礎上磨料粒度尺寸上升4倍要求，具體粒度選用如表1所示。(2)研磨機濕式研磨對液態研磨劑組成要求較高，而研磨液在研磨過程中主要使磨料均勻分散懸浮在研磨劑中，并起稀釋、潤滑和冷卻等作用。錠子油具有較好散熱性能和良好的防銹性及防腐蝕性，而石蠟具有一定的粘度，使得磨料能懸浮在液體中，將錠子油和石蠟、磨料按照一定比例加熱調和，可滿足超精研磨需要。但隨著環境溫度差異配比也存在一定差異，具體以研磨過程中研磨劑有著良好的流動性，短時內磨料無明顯沉淀現象為準。研具球墨鑄鐵因含有球狀石墨組織，提高了塑性和韌性等機械性...

粗光的加方法通常是采用經過校正后的嵌好沙的研磨盤研具，敷涂上，需要將洗凈了的粗研過的工件放在輻板孔中，然后以適當壓力進行研磨加工、精密研磨。通過本工序的加工，工件的幾何形狀的精度和表面的光潔度獲得的較明顯的提高，這也為下一道工序做好了準備，工序中所預留的加工余量為。003毫米左右。進行半精研磨時，其加工方法與上一道工序相類似，所不同的是采用的金剛石粉研磨膏為W1，通常加工中預留量為1到。平面研磨機中的精研磨的加工方法與第三道工序有所不同的是研具嵌砂粒度為W1~，所采用的研磨劑是，這道工序又分為去余量的研磨和精密研磨兩個分工加工，其中，去余量的研磨的分工序其加工留量一般為，所達到的工...

對外延片以Lapping的方式雖然加工品質較好。但是移除率太低，比較高也只能達到3um/min左右，如果全程使用Lapping的話，此加工就需耗時約2h，時間成本過高。目前的解決方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通過鉆石砂輪與減薄機的配合來達到快速減薄的目的。，既能達到較高的移除率，又能修復Grinding制程留下的較深刮傷。一般來說切割過程中發生裂片都是由于Grinding制程中較深的刮傷沒有去除，因此此時對鉆石液的要求也比較高。除了裂片之外，有些芯片廠家為了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后還會在外延片背面鍍銅，此時對Lapping之后的表面提出了更...

金銀飾品等具有相當不錯拋光效果.拋后紋路光滑細膩!不會燒傷工件,一般配合粗布輪使用!2)塑膠黃蠟:其內含豐富有的油脂,因選材講究,更具有超卓的光澤度及切削力.對于一些高級的塑膠制品,塑料制品,如:壓克力(亞克力,PMMA,波麗,有機玻璃),ABS等具有相當不錯拋光效果.拋后紋路光滑細膩!不會燒傷工件,一般配合粗布輪使用!三、綠色拋光蠟(綠蠟或青蠟)。由硬脂酸、單甘脂、蜂蠟、石蠟、羊毛脂、適量氧化鉻綠和出光較好的氧化鋁粉等配合而成。主要成分是氧化鉻綠和氧化鋁。適用于任何工件的鏡面拋光。用途：本品用于后序上光精拋光，適合于各類不銹鋼、銅、鋁及貴重金屬、精密儀器等的精細拋光。特點：深度鏡...

國內可以生產多晶鉆石微粉的廠家有北京國瑞升和四川久遠，而國瑞升同時可以自己生產鉆石液，因此在品質與成本上具有較大優勢。美國的DiamondInnovation近推出了“類多晶鉆石”，實際是對普通單晶鉆石的一種改良，雖然比較堅固的結構能提供較高的切削力，但是同時也更容易造成較深的刮傷。拋光：多晶鉆石雖然造成的刮傷明顯小于單晶鉆石，但是仍然會在藍寶石表面留下明顯的刮傷，因此還會經過一道CMP拋光，去除所有的刮傷，留下完美的表面。CMP工藝原本是針對矽基板進行平坦化加工的一種工藝，現在對藍寶石基板同樣適用。經過CMP拋光工藝的藍寶石基板在經過層層檢測，達到合格準的產品就可以交給外延廠進行...

根據螺旋槽間距不同設置不同的磨盤轉速(假如要加工2mm間距螺旋槽，則磨盤轉速調整為40rpm)，然后依次啟動磨盤與修面機，建議加工螺旋槽時修面機由磨盤中心向磨盤外圓方向運行。“磨盤啟動”鍵，界面將會跳回可視化運行狀態窗口。1：選擇“自動參數”進入配方編輯界面，依次輸入配方名，磨盤速度，研磨時間，壓力，磨液型號，然后點擊下載，參數將會自動保存并下載到PLC中，按下“磨盤啟動”鍵，界面跳回可視化運行狀態窗口，加工到達設定的研磨時間，磨盤停止工作并報警，同時3個工位的砝碼裝置將自動上升。2攪拌滴液系統：由有機玻璃桶、有機玻璃蓋、減速機和攪拌桿、滴液管組成，它的工作原理是攪拌啟動研磨液會自...

對外延片以Lapping的方式雖然加工品質較好。但是移除率太低，比較高也只能達到3um/min左右，如果全程使用Lapping的話，此加工就需耗時約2h，時間成本過高。目前的解決方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通過鉆石砂輪與減薄機的配合來達到快速減薄的目的。，既能達到較高的移除率，又能修復Grinding制程留下的較深刮傷。一般來說切割過程中發生裂片都是由于Grinding制程中較深的刮傷沒有去除，因此此時對鉆石液的要求也比較高。除了裂片之外，有些芯片廠家為了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后還會在外延片背面鍍銅，此時對Lapping之后的表面提出了更...

研磨速度研磨速度是控制余量去除速度和研磨表面質量的重要工藝參數。圖5為工件余量去除、研磨便面粗糙度與研磨速度的關系曲線。為了獲得規定的表面粗糙度而必須耗費的研磨時間大于去除余量所需的時間，就應適當降低研磨速度，反之一樣，而平面研磨時速度可參照表2選取研磨速度。研磨速度對余量去除和表面粗糙度的影響對研具的磨損影響很大。研磨速度過快時，研具急劇磨損，可能引起工件的熱變形，直接影響加工精度。因此，為了避免研磨磨損過快，可根據實際情況，在表2基礎上選取1/3~1/2范圍進行研磨。研磨時間通常密封面在研磨前，通過其他加工方式獲得預加工精度，研磨開始階段，因研磨劑磨粒鋒利，微切削作用強，零件研...

平面研磨機進行粗拋、精拋和拋光的工藝流程1、加溫/上蠟：把粘貼板放上控溫爐，溫度100℃上下，等溫度達到時，在粘貼板上涂上蠟(粘貼板中間位盲區不用涂)接著把要研磨的產品擺在粘貼板上面，擺完后，產品不能露出粘貼板邊緣。2、冷卻：產品粘完之后，戴上放熱手套或手柄，把產品放置冷水壓力機下。然后，在產品上放上一層保護紙層或其他保護層，保護好產品，免被壓力機上的技術壓板弄壞，接下來，把氣壓手柄慢慢降下，知道壓到產品，氣閥開關打到下降位置，打到自來水冷卻。等5分鐘左右產品冷卻氣閥開關打到上升位置后取下產品。3、采用治具：如果產品是采用治具研磨生產，就不必加溫冷卻這道程序。4、修面磨盤：主軸底盤...

平面拋光機在使用磨料進行加工的各道研磨工序中，被研表面光潔度主要是大量磨粒切削刃尖在被研表面上所形成的無數切痕互相重迭的結果。從總的方面來說，被研表面光潔度的高低，取決于磨粒的粗細，或者說取決于磨粒壓下工件表面的深度及通過工件單位橫截表面的有效磨粒數量。但在實際研磨過程中，并不僅是選擇了細的磨料(如)，就能研出理想的表面光潔度來(如▽14)，還有很多因素影響工件在平面拋光機中的研磨質量。試作如下分析：選擇合適的磨料粒度磨料的粒度愈小，獲得的表面光潔度就愈高。如要進一步提高表面光潔度，可對使用的磨料再次分選，這樣使磨粒的大小均勻程度及基本顆粒的數量比，都可以得到改善。對一般的敷砂研磨...

首先對于藍寶石基板來說，它在成為一片合格的襯底之前大約經歷了從切割、粗磨、精磨、以及拋光幾道工序。以2英寸藍寶石為例：1.切割：切割是從藍寶石晶棒通過線切割機切割成厚度在500um左右。在這項制程中，金剛石線鋸是主要的耗材，目前主要來自日本、韓國與中國臺灣地區。2.粗拋：切割之后的藍寶石表面非常粗糙，需要進行粗拋以修復較深的刮傷，改善整體的平坦度。這一步主要采用50~80um的B4C加Coolant進行研磨，研磨之后表面粗糙度Ra大約在1um左右。3.精拋：接下來是較精細的加工，因為直接關系到成品的良率與品質。目前標準化的2英寸藍寶石基板的厚度為430um，因此精拋的總去除量約在3...

為防止研磨過程中磨料鑲嵌密封面表面，采用羊毛氈拋光輪上沾一定金屬拋光膏進行拋光，以達到表面殘余磨料，并在密封面表面形成氧化膜提高密封面質量。研磨過程工藝要點(1)磨前先將零件加工表面和平板清洗干凈，將研磨劑均勻涂于零件待修表面上，并放于研磨板上。(2)研磨時用手輕按住零件，使磨痕交叉以提高表面粗糙度等級，研磨一段時間后，將零件轉動一定角度再繼續研磨。同時適時、適量添加研磨劑，保證研磨劑流動連續性。工件研磨千基礎技術要求為提高工件超精研磨質量和效率，對研磨前工件平面形位公差、光潔度及研磨余量進行定義：形位公差平面度保證在，超精研磨主要功能提高工件表面光潔度，對形位公差其輔助修正作用。...

往盤面開始滴入研磨液(粗拋液)，主軸速度調至50-60轉之間，把操作板面的計時器設好時間后，點啟動按鈕，產品研磨時間按實際而定。磨盤面要定期清洗。粗拋后清洗：粗拋完成后，取出來用自來水把產品清洗干凈，待下一步精拋或拋光。精拋：研磨操作程序和粗拋的一樣，但研磨液是精拋液。精拋后清洗，精拋完成后清洗干凈研磨產品。拋光：拋光有白墊粗拋，白布拋光，還有白墊加白布一起拋光，先舉三種。白墊一般在背面粘有膠紙直接貼在底盤后就可以使用。白布要用抱箍勒緊才能使用，操作工序和上面差不多，就是主軸速度要調至70到80左右，時間要有所調整，拋光液要以產品的種類來匹配。拋光后清洗：拋光后是一道加工，所以清洗...

研磨機是用涂上或嵌入磨料的研具對工件表面進行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內外圓柱面、圓錐面、球面、螺紋面和其他型面。用于材料的單面研磨、拋光。產品簡介編輯研磨機是用涂上或嵌入磨料的研具對工件表面進行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內外圓柱面、圓錐面、球面、螺紋面和其他型面。2主要用途編輯平面研磨機廣用于LED藍寶石襯底、光學玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、模具、導光板、光扦接頭等各種材料的單面研磨、拋光。3工作原理編輯平面研磨機為精密研磨拋光設備，被磨、拋材料放于平整的研磨盤上，研磨盤逆時鐘轉動，修正輪帶動工件自轉，重力加壓或其它方式對工件施壓，工件與研...

為防止研磨過程中磨料鑲嵌密封面表面，采用羊毛氈拋光輪上沾一定金屬拋光膏進行拋光，以達到表面殘余磨料，并在密封面表面形成氧化膜提高密封面質量。研磨過程工藝要點(1)磨前先將零件加工表面和平板清洗干凈，將研磨劑均勻涂于零件待修表面上，并放于研磨板上。(2)研磨時用手輕按住零件，使磨痕交叉以提高表面粗糙度等級，研磨一段時間后，將零件轉動一定角度再繼續研磨。同時適時、適量添加研磨劑，保證研磨劑流動連續性。工件研磨千基礎技術要求為提高工件超精研磨質量和效率，對研磨前工件平面形位公差、光潔度及研磨余量進行定義：形位公差平面度保證在，超精研磨主要功能提高工件表面光潔度，對形位公差其輔助修正作用。...

研磨運動應該保證工件能夠均勻地接觸帶研磨拋光盤的全部表面。這樣可使其能夠表面均勻受載、均勻磨損，因而還才可以長久地保持研具本身的表面精度。在研磨運動中，研具與工件之間應處于還處于浮動的狀態，而不應是強制的限位狀態。這樣可以使工件與研磨拋光盤的表面能夠更好地接觸，把研具表面的幾何形狀能夠準確有效地傳遞給工件，從而不會受到研磨拋光機本身精度的過多影響。研磨運動應保證工件受到均勻研威即被研工件表面上的每一點所運動的路程應相等。這就需要研磨運動比較好能夠作平面平行運動，而這種運動是能夠可使工件表面上任意兩點的連成線，在整個研磨運動中，都能夠始終保持平行，這對于保證工件的幾何形狀的精度以及尺寸均...

對外延片以Lapping的方式雖然加工品質較好。但是移除率太低，比較高也只能達到3um/min左右，如果全程使用Lapping的話，此加工就需耗時約2h，時間成本過高。目前的解決方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通過鉆石砂輪與減薄機的配合來達到快速減薄的目的。，既能達到較高的移除率，又能修復Grinding制程留下的較深刮傷。一般來說切割過程中發生裂片都是由于Grinding制程中較深的刮傷沒有去除，因此此時對鉆石液的要求也比較高。除了裂片之外，有些芯片廠家為了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后還會在外延片背面鍍銅，此時對Lapping之后的表面提出了更...

不同號碼或不同類型的潤滑油相混合使用。在換油過程中，應先將減速箱內部的油清理干凈（用風吹干凈內的油），再注入新油。在使用期間，如發現油溫超過80℃以上時，應停機檢查，等溫度降低后更換潤滑油，才可以正常使用。推薦用油。2天必須檢查一次機油的油量，對少機油的減速箱要及時補加機油（機油深度在油鏡錢的中心即可）。減速箱的注油孔不能堵死，必須要起到吐氣作用。減速箱的工作環境必須要通風。減速箱的最高轉速一般不能超過轉/分。電機1、電機的使用電壓是380V，要確保在正常電壓下使用。2、電機的使用比較高頻率是50HZ，不能超過50HZ使用。3、電機的電流強度比較高不超過15A，如發現不正常要及時停...

對外延片以Lapping的方式雖然加工品質較好。但是移除率太低，比較高也只能達到3um/min左右，如果全程使用Lapping的話，此加工就需耗時約2h，時間成本過高。目前的解決方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通過鉆石砂輪與減薄機的配合來達到快速減薄的目的。，既能達到較高的移除率，又能修復Grinding制程留下的較深刮傷。一般來說切割過程中發生裂片都是由于Grinding制程中較深的刮傷沒有去除，因此此時對鉆石液的要求也比較高。除了裂片之外，有些芯片廠家為了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后還會在外延片背面鍍銅，此時對Lapping之后的表面提出了更...

電機是一種將電脈沖信號轉換成相應角位移或線位移的電動機。每輸入一個脈沖信號，轉子就轉動一個角度或前進一步，其輸出的角位移或線位移與輸入的脈沖數成正比，轉速與脈沖頻率成正比平面研磨機是用涂上或嵌入磨料的研具對工件表面進行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內外圓柱面、圓錐面、等其他加工面是平面面的工件。1、平面研磨機的電機使用電壓是380V，要確保在正常電壓下使用。2、平面研磨機電機的使用頻率是50HZ，不能超過50HZ使用。3、電機的電流強度不超過15A，如發現不正常要及時停機檢查。4、平面研磨機電機的開關啟動后，如發現電機瞬間沒有起動反應，應立即停機檢查，排出故障后才可正...

金銀飾品等具有相當不錯拋光效果.拋后紋路光滑細膩!不會燒傷工件,一般配合粗布輪使用!2)塑膠黃蠟:其內含豐富有的油脂,因選材講究,更具有超卓的光澤度及切削力.對于一些高級的塑膠制品,塑料制品,如:壓克力(亞克力,PMMA,波麗,有機玻璃),ABS等具有相當不錯拋光效果.拋后紋路光滑細膩!不會燒傷工件,一般配合粗布輪使用!三、綠色拋光蠟(綠蠟或青蠟)。由硬脂酸、單甘脂、蜂蠟、石蠟、羊毛脂、適量氧化鉻綠和出光較好的氧化鋁粉等配合而成。主要成分是氧化鉻綠和氧化鋁。適用于任何工件的鏡面拋光。用途：本品用于后序上光精拋光，適合于各類不銹鋼、銅、鋁及貴重金屬、精密儀器等的精細拋光。特點：深度鏡...

超精密平而研磨是超精密加工中重要的方法之一，在制造業占有非常重要的地位且有著廣闊的市場需求，光學鏡而、計算機芯片、量塊等都是使用超精密平而研磨加工出來的。超精密平而研磨過程中，如果研磨工藝參數配置不合理，如研磨壓力選用不合適、磨盤硬度選用不合理、磨料尺寸分散性較大等，都會影響工件的加工效率及加工質量。研磨壓力是影響研磨加工的效率的主要因素，同時對加工質量也有影響。其它條件一致的前提下，如果研磨壓力在一定范圍內增大，工件表面磨粒劃痕相對深一些，表而粗糙度也會變大，但當研磨壓力增加到一定程度后，表而粗糙度不再隨壓力增加發生變化而基木保持不變。研磨效率隨著研磨壓力地增大而基木成正比地提高...

平面研磨機怎么加工鉸孔平面研磨機加工中的孔加工是工件研磨加工的重要的造成內容之一，對加工孔的方法主要有兩個分類，一個是用鉆頭在實心材料上加工出孔，另一個是用孔孔鉆對工件上已經有的孔進行再加工。使用鉆頭在實體材料上加工出孔的工作成為鉆孔，鉆孔的時候，工件固定在工作臺上不動，依靠著鉆頭運動來進行切削，其切削的過程中由于兩個運動的合成，主運動主要是鉆頭的旋轉運動和進給運動這種運動主要沿著孔的方法的直線進行的移動。采用精密研磨機進行加工，目前這種對孔進行加工的方法研磨機目前還不是很發達，需要進一步進行這方面的研究。對工件中，孔加工與工件的平面加工有一定的區別，相同之處在于，都是固定在一個工...

修整的方法有兩種：1是采用基準平面電鍍金剛石修整輪來修面，由于電鍍金剛石修整輪基本不磨損，可得到較高的平面度。2是通過修整機構修面后，也可獲得較好的平面度，這種修整的原理與車床原理一致，研磨盤旋轉，一個可前后運動的刀在刀桿的帶動對研磨進行切削獲得平面。研磨機的主要類型有圓盤式研磨機、轉軸式研磨機和各種研磨機。研磨機控制系統以PLC為控制，文本顯示器為人機對話界面的控制方式。人機對話界面可以就設備維護、運行、故障等信息與人對話；操作界面直觀方便、程序控制、操作簡單。安全考慮，非正常狀態的誤操作無效。實時監控，故障、錯誤報警，維護方便研磨，是利用涂敷或壓嵌在研具上的磨料顆粒，通過研具與...

電機是一種將電脈沖信號轉換成相應角位移或線位移的電動機。每輸入一個脈沖信號，轉子就轉動一個角度或前進一步，其輸出的角位移或線位移與輸入的脈沖數成正比，轉速與脈沖頻率成正比平面研磨機是用涂上或嵌入磨料的研具對工件表面進行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內外圓柱面、圓錐面、等其他加工面是平面面的工件。1、平面研磨機的電機使用電壓是380V，要確保在正常電壓下使用。2、平面研磨機電機的使用頻率是50HZ，不能超過50HZ使用。3、電機的電流強度不超過15A，如發現不正常要及時停機檢查。4、平面研磨機電機的開關啟動后，如發現電機瞬間沒有起動反應，應立即停機檢查，排出故障后才可正...

高精密平面研磨機可以實現鏡面效果,光潔度可以比較高達到，加工范圍很廣，可以對藍寶石襯底，水晶，硅片，光電材料，光學玻璃，手機玻璃，手機觸摸屏，陶瓷片，石英片，石墨密封環，硅晶圓等非金屬材質進行雙面研磨，還能對銅材，鐵，鋁材，不銹鋼，模具鋼，塑料，鋁合金，鋅合金，鈦合金，鎳合金，錫合金，硬質合金，碳鋼，鎢鋼等各種金屬材質進行雙面研磨加工。高精密平面研磨機采用獨特的安全鎖緊機構,防止意外斷氣、斷電而“掉盤”傷人的意外發生,主要用于各類型的鋁材面拋光，有平面、斜面、圓面、圓弧面以及凹槽面及其他。根據所加工的要求可以選用適合要求的拋光輪來滿足工件所需要的高速有效的去除掉擠壓痕、自然氧化膜，...

首先對于藍寶石基板來說，它在成為一片合格的襯底之前大約經歷了從切割、粗磨、精磨、以及拋光幾道工序。以2英寸藍寶石為例：1.切割：切割是從藍寶石晶棒通過線切割機切割成厚度在500um左右。在這項制程中，金剛石線鋸是主要的耗材，目前主要來自日本、韓國與中國臺灣地區。2.粗拋：切割之后的藍寶石表面非常粗糙，需要進行粗拋以修復較深的刮傷，改善整體的平坦度。這一步主要采用50~80um的B4C加Coolant進行研磨，研磨之后表面粗糙度Ra大約在1um左右。3.精拋：接下來是較精細的加工，因為直接關系到成品的良率與品質。目前標準化的2英寸藍寶石基板的厚度為430um，因此精拋的總去除量約在3...

超精密雙面拋光加工應用化學機械拋光(cNrn)技術，靠工件、磨粒、拋光液及拋光盤的力學作用，在工件的拋光過程中，產生局部的高溫和高壓，從而使直接的物理化學變化直接發生在工件與磨粒、拋光液及拋光盤之間，導致工件的表面產生物理化學變化的反應物。由于力學作用與化學作用的重迭，使得工件表面的反應物不斷被磨去，從而使工件表面平滑化。雙面拋光技術是在單面拋光加工技術的基礎上發展起來的，由于它在薄片工件的加工過程中能有效地避免應力差與粘結誤差引起的變形問題。因此與單面拋光加工相比，雙面拋光具有加工效率高，表面變形小，易獲得超光滑加工表面的優點。一般的超精密雙面拋光系統是由承載工件和下拋光盤的工作...

超精密雙面拋光加工應用化學機械拋光(cNrn)技術，靠工件、磨粒、拋光液及拋光盤的力學作用，在工件的拋光過程中，產生局部的高溫和高壓，從而使直接的物理化學變化直接發生在工件與磨粒、拋光液及拋光盤之間，導致工件的表面產生物理化學變化的反應物。由于力學作用與化學作用的重迭，使得工件表面的反應物不斷被磨去，從而使工件表面平滑化。雙面拋光技術是在單面拋光加工技術的基礎上發展起來的，由于它在薄片工件的加工過程中能有效地避免應力差與粘結誤差引起的變形問題。因此與單面拋光加工相比，雙面拋光具有加工效率高，表面變形小，易獲得超光滑加工表面的優點。一般的超精密雙面拋光系統是由承載工件和下拋光盤的工作...

超精密加工，是一種固結磨粒壓力進給的一種精整加工方法，這種超精密加工，能夠將微細磨粒以及低強度結合劑制成油石加壓在需要加工的工件表面。在工件與油石所接觸的表面，加注大量的適當粘度的油液，在超精密加工中的軌跡是正弦曲線，是有利于保持磨粒的尖銳，降低表面的形狀誤差，一般能夠在較短的時間內達到鏡面效果，在平面研磨拋光機低速進給加工中，由于變質層較小，能夠獲得工件表面比較高的耐蝕性以及耐磨性表面。適當的組合不同的油石形狀以及相對運動的形式，能夠適用于各種外圓、平面等加工。超精密加工的機理有幾個階段。對超精密加工油石的時候加壓大多數的壓力以及空氣壓力，超精密加工表面一般會經過精密磨削，達到一...