干式真空泵的種類特征 螺桿式:利用螺桿型Rotor進行排氣輸送的容積移送式干式真空泵。 羅茨式:在3片式Rotor和Casing之間的空間運送氣體的容積移送式干式真空泵。 爪式:復數的爪型Rotor以軸平行排列,進行相互逆回轉來移送氣體的干式真空泵。 渦旋式:利用渦旋型的Stage及Rotor的運動組合來進行排氣的真空泵。 隔膜式:藉由利用氣缸內的隔膜的來回運動來進行排氣的容積移送式真空泵。 活塞式:利用氣缸內的活塞的來回運動來進行排氣壓縮以及排氣的容積移送式真空泵。 干式真空泵的系列有:多級羅茨干式真空泵、渦旋干式真空泵、螺桿干式真空泵、爪式...
干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。 2013年止,真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴...
近期很多朋友咨詢反饋自己生產中的液環式真空泵由于夏天溫度高,真空度上不去,葉輪也由于腐蝕和氣蝕經常換,用的無油螺桿泵、爪泵轉子經常被卡死盤不動車,而且由于腐蝕真空度上不去,排氣口還有噴油現象。種種現象維修雖然花不了多少錢,但是影響生產,一個班組的人都等著泵修好,下面的人瞪著眼看著,上面領導臉色又不好,很是尷尬難受!因此我們這一輯內容就來為大家介紹干式真空泵,干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用于發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,提高了產品的性能...