常州智能氦質譜檢漏儀注意事項

在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜，內部有很多管道和傳動機構，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數百立方米，連接管道和內部管道的總長度可達幾公里，焊縫、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數十公里，必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏，所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。常州智能氦質譜檢漏儀注意事項

氦質譜檢漏儀操作注意事項：1、產品放入加壓罐中加壓時，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進行重氟油檢漏時，產品不能直接放進油箱中，而應把油箱中的托盤拿出，把產品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。金華小型氦質譜檢漏儀技術指導氦質譜檢漏儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。

氦質譜檢漏儀的日常維護：1.定期檢查機械泵的油位，如不足足應及時添加；如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經惡化了。此時，應釋放泵中的油，必要時，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質譜泄漏檢測器中取出，然后清洗，然后用熱風吹干或自然晾干。使用氦質譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用。常州小型氦質譜檢漏儀廠家

氦檢儀自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。常州智能氦質譜檢漏儀注意事項

影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？穩定時間對檢測的影響，在充氣的時候，壓縮空氣會因為受壓狀態而進入一個密閉容器后，引起一系列的熱力學-動力學變化。即當一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會發生降低，若此時進行測量，則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結果的準確性。這種“沖氣效應”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當充氣壓力或測試容積增加時，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩定時間來消除這種影響。常州智能氦質譜檢漏儀注意事項

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