安徽高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

無氧烘箱與普通工業烘箱的比較

      無氧烘箱應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。

一、無氧烘箱與普通工業烘箱在結構上的區別

      無氧烘箱會對內箱進行滿焊，同時做密封處理，這樣充入的惰性氣體就不會泄露，同時保證了內部的無氧環境。而普通烘箱內箱雖然也是滿焊，但是沒有做密封處理。

二、無氧烘箱與普通工業烘箱在控制系統上的區別

      無氧烘箱需要增加氮氣控制系統，同時需要有延時加熱功能，就是說在加熱之前進行延時充氮，以此來保證加熱時箱內已經形成無氧環境，避免高溫氧化。當然，一些其他的控制技術包括雙流量充氮省能源控制等方式也被許多用戶采納，即雙流量+延時加熱，大流量氮氣充入，延時加熱，當箱內充滿氮氣后，自動切換為小流量以此節省氮氣。 而普通烘箱則沒有這些功能。 浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫無氧烘箱，有需要可以聯系我司哦！安徽高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

DNN630C厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格（YAMATO）

1、方式：氮氣置換+ 強制送風循環

2、性能：

①使用溫度范圍：室溫+50～360℃

②溫度調節精度：±0.5℃（at360℃）

③溫度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX溫度到達時間：約80分鐘

⑤氧濃度：20ppm 以下

⑥氧濃度到達時間：≤ 25分（250L/min 氮氣）

3、構成：

①內裝：不銹鋼板

②外裝：冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝

③斷熱材：硅酸鋁棉

④加熱方式：不銹鋼加熱管

⑤加熱功率：主加熱器9KW

⑥N2預熱：1KW

⑦冷卻機構：不銹鋼冷卻水換熱器

4、控制器：

①溫度控制方式：PID控制

②溫度控制器：液晶觸摸屏+PLC

③運行功能：手動定值運行、自動程序運行

④程序模式：程序運行9個，每個程序可設置9步（可擴展）

⑤附加功能：操作員等級認證

⑥加熱器回路控制：SSR驅動

⑦傳感器：K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）

5、安全裝置：門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、風機過載檢測、過電流漏電保護開關等 雅瑪拓高溫無氧烘箱高溫烘烤高溫無氧烘箱，就選浚和(上海)儀器有限公司，用戶的信賴之選，歡迎您的來電！

烘箱安裝要求及檢查調整

1、安置地點要求：

①地面須水平

②通風須良好，落塵量較少

③不要放置在潮濕地方

④不要暴露在易燃或腐蝕性氣體下（特殊烤箱除外）

⑤盡可能使可燃物遠離

⑥環境溫度匆過高

2、安置間隔要求：

①理想操作環境機身各方距墻60公分以上

②理想操作環境機身與機身間隔60公分以上

3、電源安裝要求：

①請依電器銘板上所訂之電源規格接電

②電壓變動率必須在額定值±5%內

③為避免電擊意外發生，機臺本身必須接地（依電工法規第三種接地法實施對地電阻100Ω以下）

④不可將有漏電斷路器烤箱與無此裝置烤箱共用接線線路

4、水平調整：

①機臺定位后，須調整水平

5、電源接線：

機臺定位完成后，可由機臺后方電源電纜線，并依接線端子板上之標示規格完成電源接線之工作

6、送風馬達調整

C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO）

●用途：電子元器件高溫處理工藝。

●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。

●程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式。

●快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等。

●在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異

●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。

室溫+30～360℃ 規格參數：

溫度范圍室溫：+30～360℃

溫度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

溫度上升時間：60min（室溫→360℃）

溫度下降時間：90min（360℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時間：約45分鐘

運轉功能：定值運轉、程序運轉

裝備：氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

內尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

室溫+50～600℃ 規格參數：

溫度范圍室溫：室溫+50～600℃

溫度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

溫度上升時間：90min（室溫→600℃）

溫度下降時間：120min（600℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時間：約45分鐘

運轉功能：定值運轉、程序運轉

裝備：氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

內尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

浚和(上海)儀器有限公司是一家專業提供高溫無氧烘箱的公司，有想法可以來我司咨詢！

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)

規格：

①內尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（寬×深×高mm）：1300×1000×1750

③內容積：216L

④棚板層數/層間距：19層/30mm

⑤排氣口：40KF法蘭

⑥氮氣入口：Rc1/2

⑦冷卻水入口：Rc3/4

⑧熱水出口：Rc3/4，2個

⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 19A

⑩重量：約1100kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網通信功能

------------- 浚和(上海)儀器有限公司高溫無氧烘箱值得用戶放心。天津高溫無氧烘箱DTN450C

浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫無氧烘箱，歡迎您的來電哦！安徽高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)

規格：

①內尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（寬×深×高mm）：1450×1060×1960

③內容積：216L

④棚板層數/層間距：19層/30mm

⑤排氣口：40KF法蘭

⑥氮氣入口：Rc1/2

⑦冷卻水入口：Rc3/4

⑧熱水出口：Rc3/4，2個

⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 27A

⑩重量：約1100kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網通信功能

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安徽高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業供應商和服務商，致力于為客戶提供專業的定制化解決方案。多年來，持續為醫藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業提供先進的產品和專業的服務。

浚和在不斷引進國內外先進儀器設備的同時，結合行業和市場需求，加強和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設備制造商保持著長期穩定的合作關系，不定期地與合作商進行技術交流，努力加強自身技術力量。公司配備了數名有著多年行業經驗的技術人員，依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業的安裝調試和周到的售后服務，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經營產品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業的技術服務，如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業特點為立足點，以客戶需求為導向，不斷地提高自身專業技術能力，不停地完善客戶服務質量，在發展中保持創新的精神，力求與客戶共同進步，為行業的發展作出不懈的努力。