對于混合氣而言,配比的精度是參數,隨著產品組分的增加、配制精度的上升,客戶常要求氣體供應商能夠對多種ppm(partpermillion,百萬分之)乃至ppb(partperbillion,十億分之)級濃度的氣體組分進行精細操作,其配制過程的難度與復雜程度也增大。此外,氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環節亦對生產企業提出了較高的技術要求作為關鍵性材料,特種氣體的產品質量對下游產業的正常生產影響巨大。如果晶圓加工環節所使用的氣體發生質量問題,將導致整條生產線產品報廢,造成巨額損失或四氯化碳與氟化氫反應,都能生成四氟化碳。上海四氟化碳高性價比的選擇
電子特氣在半導體制造材料中占比僅次于硅片。半導體材料包括晶圓制造材料和封裝材料。其中晶圓制造材料包括硅片、光掩模、光刻膠、光刻膠輔助材料、工藝化學品、電子特氣、靶材、CMP 拋光材料及其他材料。2018 年全球半導體晶圓材料市場規模為322.0 億美元,同比增長 15.8%,全球半導體封裝測試材料市場規模為 197.0 億美元,同比增長 3.1%。根據 SEMI 的數據,2018 年電子氣體在晶圓制造材料市場中占比達到12.9%,僅次于占比 36.6%的硅片,市場規模巨大。
常州節能四氟化碳廠家供貨四氟化碳又稱四氟甲烷,被視為一種無機化合物。
四氟化碳是目前微電子工業中用量比較大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,鋁合金門窗制造、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態,印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。同時,由于四氟化碳的化學穩定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業;如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
質量指標純度(%)≥99.99水份(PPm)≤10酸度(PPm)≤0.3蒸發殘留物(PPm)≤100%物理性質分子量88.0沸點(1atm),℃-128臨界溫度,℃-45.67臨界壓力,kPa3740飽和蒸氣壓(25℃),kPa3650(-45.6℃)汽化熱/蒸發潛熱(沸點下,1atm),kJ/kg-破壞臭氧潛能值(ODP)0全球變暖潛能值(GWP,100yr)5700ASHRAE安全級別A1(無毒不可燃)化學性質相對分子量88.00。在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發性較高,是**穩定的有機化合物之一,不易溶于水。在900℃時,不與銅、鎳、鎢、鉬反應,*在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物。然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生氟化物。
四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體,微溶于水;在25℃,,水中溶解度為(重量),有輕微的水解作用。四氟化碳應用廣,可廣泛應用于電子工業、制冷空調、電力工業、太陽能工業、航天工業、金屬冶煉和塑料工業等。四氟化碳對大多數金屬及合金均不腐蝕,可用鋼瓶或鋁合金容器包裝和運輸,充瓶壓力通常低于MPa,充裝前應經過清洗、干燥、檢驗、抽真空后再充裝,貯存于陰涼、通風的庫房,遠離火。四氟化碳因為擁有良好的溶氧性,且溶解度和空氣中的氧氣含量相當,所以即便生物完全浸在其中也能夠很好地呼吸,不會出現溺水狀況。 常溫常壓下比較穩定,但是需要避免接觸強氧化劑、易燃或可燃物。上海市***四氟化碳
四氟化碳是目前微電子工業中用量比較大的等離子蝕刻氣體。上海四氟化碳高性價比的選擇
四氟化碳是目前微電子工業中用量的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池生產、激光技術、低溫制冷、泄漏檢驗、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。淄博迪嘉5N四氟化碳氣體常用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術, 四氟化碳又稱四氟甲烷,分子量為88.01,無色無味氣體.微溶于水,在25℃、1大氣壓時,溶解度為0。0015%(重量)。常溫下是壓縮氣體。 上海四氟化碳高性價比的選擇
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