金屬層310可以代換為金屬層510。圖6所示剖面600的**是晶圓層320。該結構300所形成的芯片可以是矩形，也可以是正方形。在該晶圓層320的中間是該金屬層310。該金屬層310的上下軸長度611與左右軸長度612可以是相同，也可以不同。當兩者相同時，該金屬層310的剖面是正方形。該金屬層310剖面與該晶圓層320外緣之間，是該晶圓層320用于包圍該金屬層310的四個邊框。該四個邊框的厚度可以相同，也可以不同。舉例來說，相對于上下外緣的厚度621與623可以相同，相對于左右外緣的厚度622與624可以相同。但厚度621與622可以不同。本領域普通技術人員可以透過圖6理解到，本申請并不限定該晶圓層320外緣的形狀。換言之，本申請不限定該芯片的形狀。本申請也不限定該金屬層310的形狀。除此之外，當該晶圓層320與該金屬層310都是矩形時，本申請也不限定該晶圓層320用于包圍該金屬層310的四個邊框的厚度。在一實施例當中，這四個邊框的厚度621~624可以相同，以簡化設計與制作的問題。在另一實施例當中，這四個邊框當中兩組邊框的厚度可以相同，以簡化設計與制作的問題。在更一實施例當中，這四個邊框的厚度621~624可以完全不同，以便適應芯片設計的需要。請參考圖7所示。浙江12英寸半導體晶圓代工。汕頭半導體晶圓誠信互利
因此晶圓1010須旋轉以在整個晶圓1010上接收均勻的聲波能量。雖然在圖1a及圖1b中*示意了一個聲波裝置1003，但是在其他實施例中，也可以同時或間歇使用兩個或多個聲波裝置。同理，也可以使用兩個或多個噴頭1012以更均勻的輸送清洗液1032。參考圖2a至圖2g所示的不同形狀的超聲波或兆聲波換能器。圖2a示意了三角形或餅形的傳感器；圖2b示意了矩形的傳感器；圖2c示意了八邊形的傳感器；圖2d示意了橢圓形的傳感器；圖2e示意了半圓形的傳感器；圖2f示意了1/4圓形的傳感器；圖2g示意了圓形的傳感器。這些形狀中的每一個聲波換能器可以用于代替圖1所示的聲波裝置1003中的壓電式傳感器1004。參考圖3揭示了在晶圓清洗過程中的氣泡內爆。當聲能作用于氣泡3012上時，氣泡3012的形狀逐漸從球形a壓縮至蘋果形g。**終氣泡3012到達內爆狀態i并形成微噴射。如圖4a至圖4b所示，微噴射很猛烈(可達到上千個大氣壓和上千攝氏度)，會損傷晶圓4010上的精細圖案結構4034，尤其是當特征尺寸t縮小到70nm或更小時。圖4a至圖4b揭示了在晶圓清洗過程中不穩定的氣穴振蕩損傷晶圓上的圖案結構。參考圖4a所示，由于聲波空化在半導體晶圓4010的圖案結構4034上方形成氣泡4040,4042，4044。江門半導體晶圓銷售價格開封怎么樣半導體晶圓?
在清洗過程中晶圓24010浸沒在清洗液24070中。在上述實施例中，在晶圓清洗工藝中，如果聲波電源的所有關鍵工藝參數，例如功率水平、頻率、通電時間(τ1)、斷電時間(τ2)都預設在電源控制器中，而不是實時監測，在晶圓清洗過程中，由于一些異常情況，仍然可能發生圖案結構損傷。因此，需要一種實時監測聲波電源工作狀態的裝置和方法，如果參數不在正常范圍，則聲波電源應該關閉且需要發出警報信號并報告。圖25揭示了本發明的一實施例的使用超聲波或兆聲波清洗晶圓過程中監測聲波電源運行參數的控制系統。該控制系統包括主機25080、聲波發生器25082、聲波換能器1003、檢測電路25086和通信電纜25088。主機25080發送聲波的參數設定值到聲波發生器25082，例如功率設定值p1、通電時間設定值τ1、功率設定值p2、斷電時間設定值τ2、頻率設定值和控制指令，例如電源開啟指令。聲波發生器25082在接收到上述指令后產生聲波波形，并發送聲波波形到聲波換能器1003來清洗晶圓1010。同時，主機25080發送的參數設定值和聲波發生器25082的輸出值被檢測電路25086讀取。檢測電路25086將聲波發生器25082的輸出值和主機25080發送的參數設定值進行比較后。
圖11b為根據本申請一實施例的半導體基板的結構的剖面的一示意圖。圖12為根據本申請一實施例的半導體基板的結構的剖面的一示意圖。圖13為根據本申請一實施例的晶圓的一示意圖。圖14為根據本申請另一實施例的晶圓的一示意圖。圖15為根據本申請一實施例的晶圓制作方法的前列程示意圖。圖16a~16j為根據本申請實施例的晶圓制作過程的各階段的剖面示意圖。具體實施方式本發明將詳細描述一些實施例如下。然而，除了所揭露的實施例外，本發明的范圍并不受該些實施例的限定，是以其后的申請專利范圍為準。而為了提供更清楚的描述及使該項技藝的普通人員能理解本發明的發明內容，圖示內各部分并沒有依照其相對的尺寸進行繪圖，某些尺寸或其他相關尺度的比例可能被凸顯出來而顯得夸張，且不相關的細節部分并沒有完全繪出，以求圖示的簡潔。請參考圖1所示，其為現有半導體基板的結構100的一剖面示意圖。在該結構100當中，依序包含一金屬層110、一晶圓層120與一半導體組件層130。晶圓層120夾在該金屬層110與半導體組件層130之間。在圖1當中，該半導體組件層130可以包含垂直型設計的半導體元器件，例如包含至少一個金氧半導體場效晶體管器件(mosfet。什么才可以稱為半導體晶圓？
目的是使得氣泡內氣體和/或蒸汽的溫度降至接近室溫t0。圖12a-12b揭示了根據本發明的另一個實施例的聲波晶圓清洗工藝。本實施例的聲波晶圓清洗工藝與圖10a-10c所示的實施例的差異*在步驟10050。在本實施例的聲波晶圓清洗工藝中，在時間段τ2內，電源的頻率增至f2，功率水平p2基本上等于功率水平p1。圖13a-13b揭示了根據本發明的另一個實施例的聲波晶圓清洗工藝。本實施例的聲波晶圓清洗工藝與圖10a-10c所示的實施例的差異*在步驟10050。在本實施例的聲波晶圓清洗工藝中，在時間段τ2內，電源的頻率增至f2，功率水平從p1降至p2。圖14a-14b揭示了根據本發明的另一個實施例的聲波晶圓清洗工藝。本實施例的聲波晶圓清洗工藝與圖10a-10c所示的實施例的差異*在步驟10050。在本實施例的聲波晶圓清洗工藝中，在時間段τ2內，電源的頻率從f1增至f2，功率水平從p1增至p2。由于頻率f2高于頻率f1，因此，聲波能量對氣泡的加熱不那么強烈，功率水平p2可略高于功率水平p1，但是不能太高，以確保在時間段τ2內，氣泡內氣體和/或蒸汽的溫度降低，如圖14b所示。圖15a至圖15c揭示了在聲波清洗晶圓的過程中，穩定的氣穴振蕩損傷晶圓上的圖案結構。參考圖15a所示。國內半導體晶圓廠家哪家好？北京半導體晶圓廠家現貨
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13)v3＝v2-△v＝v1+δv-△v＝v0-△v+δv-△v＝v0+δv-2△v(14)其中，△v是由超/兆聲波產生的正壓使氣泡壓縮一次后氣泡的體積減量，δv是由超/兆聲波產生的負壓使氣泡膨脹一次后氣泡的體積增量，(δv-△v)是一個周期后由方程式(5)計算出的溫度增量(△t-δt)導致的體積增量。氣穴振蕩的第二個周期完成后，在溫度的持續增長過程中，氣泡的尺寸達到更大。氣泡內的氣體和/或蒸汽的體積v4為：v4＝v3+δv＝v0+δv-2△v+δv＝v0+2(δv-△v)(15)第三次壓縮后，氣泡內的氣體和/或蒸汽的體積v5為：v5＝v4-△v＝v0+2(δv-△v)-△v＝v0+2δv-3△v(16)同理，當氣穴振蕩的第n個周期達到**小氣泡尺寸時，氣泡內的氣體和/或蒸汽的體積v2n-1為：v2n-1＝v0+(n-1)δv-n△v＝v0+(n-1)δv-n△v(17)當氣穴振蕩的第n個周期完成后，氣泡內的氣體和/或蒸汽的體積v2n為：v2n＝v0+n(δv-△v)(18)為了將氣泡的體積限制在所需體積vi內，該所需體積vi是具有足夠物理活動的尺寸或者是氣泡狀態低于氣穴振蕩或氣泡密度的飽和點，而不會阻塞通孔、槽或其他凹進區域內的清洗液交換路徑。周期數ni可以表示為：ni＝(vi–v0-△v)/(δv-△v)+1(19)根據公式(19)，達到vi所需的時間τi可以表示為：τi＝nit1＝t1(。汕頭半導體晶圓誠信互利
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