等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發出輝光,故稱之為輝光放電處理。觸摸屏操作界面簡化參數設置,降低人工操作門檻。湖南在線真空等離子清洗機
等離子的作用:清洗:去除材料表面物/顆粒/臟污去除材料表面物/顆粒/臟污去除材料表面物/顆粒/臟污貼力;活化:將活性基團加入材料表面分子鏈中提高材料表面能,增加親水性與活性;改性:保持材料或制品原性能的前提下,賦予其表面新的性能,如親水性、生物相容性等;去膠:去除光刻膠、電路板去膠,除膠渣,提升材料表面的親水性、附著力、粘接力;涂覆:在材料的表面形成一層保護膜,給材料進行保護,可以改良具有不同涂層的工件;蝕刻:ICP硅刻蝕、CCP介質刻蝕、金屬刻蝕,實現各向異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。浙江在線真空等離子清洗機等離子清洗過程無廢水排放,符合綠色制造環保要求。
等離子體是如何發揮作用的?在低壓等離子體技術中,通過提供能量激發真空中的氣體。會產生高能量的離子和電子,以及其他活性粒子,并形成等離子體。從而極其有效的對表面作出改變。共分為三種 等離子效應:微噴砂處理:通過離子沖擊剝蝕表面。化學反應:離子化氣體與表面發生化學反應。紫外線輻射:紫外線輻射分解了長鏈碳化合物。通過諸如,壓力、功率、工藝時間、氣體流量和氣體成分 之類的工藝參數的變化 ,等離子體的作用方式也會隨之發生改變。這樣,便可以在一個單獨的工藝步驟中實現多種效果。
等離子涂鍍:聚合,在涂鍍中兩種氣體同時進入反應艙,氣體在等離子環境下匯聚合。這種應用比活化和清潔的要求要嚴格一些。典型的應用是保護層的形成,應用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE材質的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄,通常為幾個微米,此時表面的親和力非常好。等離子清洗機在半導體領域的應用,半導體器件制造過程中需要進行多次清洗處理,等離子清洗機能夠在高效清洗的同時,不損傷器件表面,從而保證其電子性能和壽命。等離子清洗機在半導體器件的凈化、回收、防腐、去膠等方面應用普遍。等離子清洗機無需化學試劑,環保高效等離子清洗機處理金屬、玻璃等表面。
等離子清洗機操作步驟:1.打開清洗機的電源開關,確保清洗機的電源供應正常。2.打開清洗機的控制面板,設置清洗工藝參數,如清洗時間、溫度、功率等。3.將待清洗的工件放置在清洗機的夾具或工件固定裝置上,并確保固定牢固。4.關閉清洗機的門,確保密封良好,避免泄漏,5.按下清洗機的啟動按鈕,清洗機開始工作6.在清洗過程中,根據需要監控清洗機的工藝參數,如溫度、壓力等,確保符合清洗要求。7.清洗結束后,關閉清洗機的電源開關,停止供電。等離子清洗機工作原理基于活性粒子與污染物反應,適用于精密電子元件清洗。浙江在線真空等離子清洗機供應
等離子清洗機配備緊急排氣閥,防止腔體壓力異常引發安全問題。湖南在線真空等離子清洗機
低壓等離子設備是如何設計的,以及其是如何工作的?在低壓等離子體技術中,通過提供能量激發真空中的氣體。會產生高能量的離子和電子,以及其他活性粒子,并形成等離子體。從而極其有效的對表面作出改變。共分為三種等離子效應:微噴砂處理: 通過離子沖擊剝蝕表面,化學反應: 離子化氣體與表面發生化學反應,紫外線輻射: 紫外線輻射分解了長鏈碳化合物,通過諸如,壓力、功率、工藝時間、氣體流量和氣體成分之類的工藝參數的變化,等離子體的作用方式也會隨之發生改變。這樣,便可以在一個單獨的工藝步驟中實現多種效果。湖南在線真空等離子清洗機