真空腔體是保持內部為真空狀態的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統的主要結構材料。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%——20%的低碳鋼,具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270——900℃工作等優點,在高真空和超高真空系統中,應用普遍。
近年來,為了降低真空腔體的制作成本,采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外,采用鈦合金來制作特殊用途真空腔體的例子也不少。
為了減小腔體內壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體,更多的是利用電解拋光來進行表面處理。焊接是真空腔體制作中非常重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應從而影響焊接質量,通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣,以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。超高真空腔體的氬弧焊接,原則上必須采用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而發生虛漏。 真空腔體安裝好后,通入相應量的氮氣保壓30分鐘,檢查有無泄漏。江西真空腔體銷售
不銹鋼真空腔體功能劃分集中,主要為生長區,傳樣測量區,抽氣區三個部分。對于分子束外延生長腔,重要的參數是其中心點A的位置,即樣品在生長過程中所處的位置。所以蒸發源,高能電子衍射(RHEED)元件,高能電子衍射屏,晶體振蕩器,生長擋板,CCD,生長觀察視窗的法蘭口均對準中心點。蒸發源:由鎢絲加熱盛放生長物質的堆塌,通過熱偶絲測量溫度,堆鍋中的物質被加熱蒸發出來,在處于不銹鋼真空腔體中心點的襯底上外延形成薄膜。每個蒸發源都有其各自的蒸發源擋板控制源的開閉,可以長出多成分或成分連續變化的薄膜樣品。江西半導體真空腔體加工整個反應過程,盡量保持真空腔體垂直,避免傾倒,一旦傾倒,須重新裝料。
真空腔體進行檢漏工作:
真空腔體檢漏主要有三種:氦質譜檢漏,真空封泥檢測法,真空計檢漏法。
氦質譜檢漏是一項很重要的技能,因檢漏效率高,操作簡單,儀器反應靈敏,精度高,不容易受到其他氣體干擾,在真空腔體檢漏中得到了很多應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規、收集器組成的質譜室和抽氣系統及電氣等部分組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進入磁場,在洛倫茲力的作用下偏轉,進而形成了圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測到。其中,噴氦法和吸氦法是真空腔體氦質譜檢漏常用的兩種方法。
在科技飛速發展的現在,很多科學儀器與設備都需要在一定的真空環境下工作,真空腔體為敏感的元器件提供真空環境,保證其正常工作,因此,真空腔體的設計成為了整個真空系統設計非常重要的部分?,F有的高真空度真空腔體設計形狀多種多樣,材料以不銹鋼、鋁合金、鈦合金為主。鋁合金重量輕、加工成本低,但由于其質地較軟無法使用刀口密封方式,只能使用橡膠圈密封的方式;鋁合金材質的真空腔體優點是拆裝方便,不足之處是只能使用橡膠圈密封,密封方式單一,鋁合金材質和橡膠圈都有很大的放氣率,溫度適應性差,無法使用熔融焊工藝,因此適用范圍窄。鈦合金重量輕但加工成本高,焊接難度大、焊接方式受限,無法用于方形真空腔體加工。不銹鋼材料出氣率低、機械性能好,并且熔融焊接性能好,加工成本低,在高真空度真空腔體設計中被普遍應用。實驗室小型不銹鋼真空腔體的功能劃分集中,主要為生長區,傳樣測量區,抽氣區三個部分。
真空腔體操作前的準備工作:
1、檢查水沖泵(前級泵)水箱液位是否達水箱的3/4以上,若不足則補足。
2、檢查水箱內所使用的水是否清潔,不允許用含有泥沙的污水,以免堵塞管路,真空腔體增加水泵葉輪磨損、增加電機負荷造成故障,影響水沖泵使用壽命。
3、檢查中間泵及主泵泵體內的潤滑油油面高,須達油窗的3/4以上,同時檢查潤滑油的顏色,出現乳白色或黑色雜質較多則通知機修替換潤滑油。
4、真空腔體檢查中間泵及主泵循環冷卻水水路是否完好,打開循環冷卻水進出口閥門,檢查循環冷卻進出水是否正常。
5、檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關閉。
6、檢查機組電路完好及控制柜各項指示等是否正常。
7、檢查機組觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常(中級泵啟動入口壓力為0.065Mpa以上,主泵啟動入口壓力為0.085Mpa以上)。
8、待以上事項檢查完畢確認無誤后方可啟動真空腔體機組。 特殊性質使得真空腔在許多實驗和加工中只有獨特的優勢。湖南真空烘箱腔體生產廠家
特材真空腔體設備主要應用于中、真空及高真空,如今已經成為我國腔體行業中頗具競爭力和影響力設備之一。江西真空腔體銷售
真空腔體一般是指通過真空裝置對反應釜進行抽真空,讓物料在真空狀態下進行相關物化反應的綜合反應容器,可實現真空進料、真空脫氣、真空濃縮等工藝??筛鶕煌墓に囈筮M行不同的容器結構設計和參數配置,實現工藝要求的真空狀態下加熱、冷卻、蒸發、以及低高配的混配功能,具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環境污染小、自動加熱、使用方便等特點,是食品、生物制藥、精細化工等行業常用的反應設備之一,用來完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應過程。
真空腔體的結構特征如下:
1、結構設計需能在真空狀態下不失穩,因為真空狀態下對鋼材厚度和缺陷要求很嚴格;
2、釜軸的密封采用特殊衛生級機械密封設計,也可采用填料密封和磁力密封,密封程度高,避免外部空氣進入影響反應速度,同時使得物料不受污染;
3、采用聚氨酯和巖棉作為保溫材料,并配備衛生級壓力表;
4、真空腔體反應過程中可采用電加熱、內外盤管加熱、導熱油循環加熱等加熱方式,以滿足耐酸、耐堿、抗高溫、耐腐蝕等不同工作環境的工藝需求。
5、真空系統包括真空泵、循環水箱、緩沖罐、單向閥等組成,是一個連鎖系統,配合使用。 江西真空腔體銷售
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