由于掃描電子顯微鏡具有上述特點和功能,所以越來越受到科研人員的重視,用途日益普遍。掃描電子顯微鏡已普遍用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。在電子掃描中,把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描,把電子束從上到下方向的掃描運動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度完全不同,行掃描的速度比幀掃描的速度快,對于1000條線的掃描圖象來說,速度比為1000。掃描電子顯微鏡具有辯率高、景深大、成像立體感強的特點。四川專門做掃描電鏡推薦
掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學信息等優(yōu)點。掃描電子顯微鏡已被普遍應用于生命科學、物理學、化學、司法、地球科學、材料學以及工業(yè)生產(chǎn)等領域的微觀研究,*在地球科學方面就包括了結(jié)晶學、礦物學、礦床學、沉積學、地球化學、寶石學、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。重慶整體掃描電鏡推薦英瀚斯生物組織樣本、細胞樣本、材料掃描電鏡檢測!
掃描電鏡樣品制備簡單,只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理,就可直接放到掃描電鏡中進行觀察,因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài)。 5可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量,如亮度及反差自動保持,試樣傾斜角度校正,圖象旋轉(zhuǎn),或通過Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度,以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器,可在熒光屏上同時觀察放大倍數(shù)不同的圖象。 6 可進行綜合分析。裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴大應用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時,對樣品任選微區(qū)進行分析;裝上半導體試樣座附件,通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實現(xiàn)了電子計算機自動和半自動控制,因而明顯提高了定量分析的速度。
掃描電鏡離子濺射鍍膜法 在低真空(0.1~0.01托)狀態(tài)下,在陽極與陰極兩個電極之間加上幾百至上千伏的直流電壓時,電極之間會產(chǎn)生輝光放電。在放電的過程中,氣體分子被電離成帶正電的陽離子和帶負電的電子,并在電場的作用下,陽離子被加速跑向陰極,而電子被加速跑向陽極。如果陰極用金屬作為電極(常稱靶極),那么在陽離子沖擊其表面時,就會將其表面的金屬粒子打出,這種現(xiàn)象稱為濺射。此時被濺射的金屬粒子是中性,即不受電場的作用,而靠重力作用下落。如果將樣品置于下面,被濺射的金屬粒子就會落到樣品表面,形 成一層金屬膜,用這種方法給樣品表面鍍膜,稱為離子濺射鍍膜法。 和真空鍍膜法比較,離子濺射鍍膜法具有以下優(yōu)點:(1)由于從陰極上飛濺出來的金屬粒子的方向是不一致的,因而金屬粒子能夠進入到樣品表面的縫隙和凹陷處,使樣品表面均勻地鍍上一層金屬膜,對于表面凹凸不平的樣品,也能形成很好的金屬膜,且顆粒較細。(2)受輻射熱影響較小,對樣品的損傷小。(3)消耗金屬少。(4)所需真空度低,節(jié)省時間。 掃描電鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品。
掃描電鏡可以進行材料斷口的分析。掃描電子顯微鏡的另一個重要特點是景深大,圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大,故所得掃描電子象富有立體感,具有三維形態(tài),能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息,這個特點對使用者很有價值。掃描電子顯微鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì),在教學、科研和生產(chǎn)中,有不可替代的作用,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。英瀚斯專業(yè)承接掃描電鏡檢測。專業(yè)的掃描電鏡價格
掃描電子顯微鏡在其微觀結(jié)構(gòu)分析研究方面同樣顯示出極大的優(yōu)勢。四川專門做掃描電鏡推薦
掃描電鏡在化學中的應用 掃描電鏡技術(shù)在材料學的應用十分普遍,比如,可用掃描電鏡觀察研究薄膜傳感器壓阻的靈敏度,用于觀測碳化硅顆粒增強的鋁基復合材料的界面反應產(chǎn)物的形貌。 五、在工業(yè)中的應用 1)在半導體工業(yè)中的應用 由于半導體器件體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機械性能鈔好,因而適用的范圍廣。然而半導體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。 一般半導體器件試制和生產(chǎn)過程中包括了切割、研磨,拋光以及各種化學試劑處理等一系列序,正是在這些過程中,會造成表而的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化,所以幾乎每一 個步驟都需對擴散區(qū)的深度進行測量或者直接看到擴散區(qū)的實際分布情況,而生產(chǎn)大型集成電路更是如此。因此,掃描電鏡被普遍應用于半導體工業(yè)中,比如,用于質(zhì) 量監(jiān)控與公益診斷、器件分析、失效分析和可靠性研究、電子材料研制分析等。四川專門做掃描電鏡推薦
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