17-4PH鋼表面Ti/TiN多層復合薄膜進行了研究,應用電弧離子鍍技術分析不同Ti層與TiN層厚度比值和不同復合層數對表面形貌、斷面形貌、成分、顯微硬度、相結構、致密性、厚度均勻性、耐磨性、結合力等涂層性能的影響。通過研究確認,在Ti單層沉積3min、TiN單層沉積17min條件下制備的Ti/TiN六層復合薄膜具有極好的力學性能,可以使基體材料的表面硬度提高5倍以上,并使膜基結合力達到56N以上。可以有效的提高涂層的結合力,進而提高產品的表面性能。調整氮化鈦中氮元素的百分含量,可以改變氮化鈦薄膜的顏色,從而達到理想的美觀效果。蘇州耐磨氮化鈦產品介紹
在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中,后段工藝日趨重要,為降低阻容遲滯(RCDelay),保證信號傳輸,減小功耗,有必要對后段工藝進行改進,Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析,從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質,重點是等離子體處理(PlasmaTreatment,PT)下的晶體生長,制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響,不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律,超薄TiN薄膜(<5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低,同時晶體生長,薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度,較厚薄膜需多循環制備以充分處理,發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm),增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度,但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性,真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部,這導致側壁薄膜在PT后更厚。鎮江潤滑氮化鈦鍍黑鈦改善鈦雙極板在質子交換膜(PEM)水電解槽環境中耐腐蝕和導電性能,在鈦基底表面制備碳摻雜氮化鈦復合涂層。
TiN涂層的耐腐蝕性能進行了試驗研究。除采用幾種較弱的腐蝕介質外,還在H2SO4溶液、HCl溶液中對TiN涂層樣品做了浸泡試驗。所有結果表明:涂層后的樣品。其耐腐蝕性能比未涂層樣品提高幾倍至十幾倍。同時,在NaCl溶液、人工汗液和酸溶液中,分別測定了涂層和未涂層樣品的電化學行為。TiN涂層表現出較高的溶解電位,說明它在熱力學上對上述化學介質是比較穩定的。致密TiN涂層的耐腐蝕能力優于不銹鋼,但是如果涂層有貫穿的孔洞或涂展太薄時,則涂層試樣也會被腐蝕。
自20世紀80年代以來,氮化鈦的研究受到了重視。氮化鈦化學性能穩定,具有較強的耐磨損、耐腐蝕性及良好的生物相容性。在口腔醫學中主要應用于切削及旋轉器械、種植體和義齒等表面鍍膜,以增強其耐磨損性及生物安全性。氮化鈦涂層作為一種新型陶瓷涂層,由于具有高熔點、高硬度、高溫化學穩定性、高耐磨性及高耐腐蝕性能等優點,已被廣泛應用于切削刀具、高溫結構材料和抗磨抗蝕部件上。在不銹鋼表面制備一層氮化鈦涂層來進行表面改性,可有效提高其表面力學性能、耐蝕性能和生物兼容性能,有利于不銹鋼在航空航天、艦船兵器、石油化工、生物醫學等領域應用。氮化鈦的熔點高于大多數過渡金屬氮化物,密度低于大多數金屬氮化物,從而成為一種獨特的耐火材料。
TiN薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性,因此它是非常理想的醫用金屬材料,可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外,氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。用TiN薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二鉬化硫潤滑劑的耐磨性。用TIN薄膜涂覆在IF—MS2上,因為它具有的高硬度、高熔點、高磨損抵抗力,優良的化學穩定性等特點,因此可以在提高飛機和航天器的發動機等零件的潤滑性能的同時,又可以保證航天零件的耐高溫和耐摩擦性能。氮化鈦涂層可降低牙科鑄造合金,尤其是賤金屬合金的腐蝕傾向,提高其耐蝕性。舟山防銹氮化鈦服務電話
TiN有著誘人的金黃色、熔點高、硬度大、化學穩定性好、與金屬的潤濕小的結構材料、并具有導電性和超導性。蘇州耐磨氮化鈦產品介紹
1.氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結構,屬面心立方點陣,晶格常數a=0.4241nm,其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學計量化合物其穩定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16,氮的含量可以在一定的范圍內變化而不引起TiN結構的變化。TiN粉末一般呈黃褐色超細TiN粉末呈黑色,而TiN晶體呈金黃色。TiN熔點為2950℃,密度為5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗熱沖擊性好。氫化鈦的理化性質由氫元素的含量來決定,當氨元素含量減少時氮化鈦的晶格參數反而增大,硬度也會有顯微的增大,但氮化鈦的抗震性隨之降低。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高,而密度卻比大多數金屬氨化物低,因此是一種很有特色的耐熱材料。蘇州耐磨氮化鈦產品介紹
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